Medidores de ionización en caliente
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Vacío de medio a ultra alto Monogrueso
- Sistema de medición Bayard-Alpert puro para un amplio rango de medición UHV y HV
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
- Electrónica aislada galvánicamente para evitar corrientes parásitas eléctricas
- Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión
ATM a TripleGauge® de ultra alto vacío
- 3 + 1 elementos sensores para un rango de medición extremadamente amplio, reducción de costes y ahorro de espacio.
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert.
- Medición de la presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr para un control fiable del bloqueo de la carga.
- La medición de la presión diferencial elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica.
ATM a ultra alto vacío DualGauge
- DualGauge (2 elementos sensores) para un amplio rango de medición, reducción de costes y ahorro de espacio
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
- Protección de enclavamiento Pirani para evitar el quemado prematuro del filamento
- Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión
El indicador único de iones calientes Bayard-Alpert de INFICON BAG402 cubre una amplia gama de medidas desde 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr).
- Las medidas oscilan entre 5×10-10 mbar y 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
- La detección de presión excesiva protege el filamento del desgaste prematuro
Medidor de cátodo caliente ATM a ultra alto vacío
Compatible con los medidores de cátodo caliente PBR 260 Pirani/Bayard-Alpert de otros fabricantes
- El número de referencia IGG27000 coincide con el
PT R27 000 - El número de referencia IGG27001 coincide con
PT R27 001 - El número de referencia IGG27002 coincide con
PT R27 002
El indicador combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG400, funciona como dos indicadores en una sola unidad compacta y realiza mediciones desde los 5×10-10 mbar hasta 1 atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera).
- Rango de mediciones extremadamente amplio, desde los 5×10-10 mbar hasta una atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta 1 atmósfera)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
- El interbloqueo Pirani protege el sistema Bayard-Alpert del desgaste prematuro de los filamentos y de un exceso de contaminación causado por el funcionamiento a alta presión
El medidor combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG402-S, funciona como dos medidores en una sola unidad compacta que mide de 5×10-10 mbar a atmósfera (3,8×10-10 Torr a atmósfera).
- Rango de medición extremadamente amplio desde 5×10-10 mbar hasta la atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5%.
El medidor de diafragma de capacitancia (TripleGauge®) Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450, combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un único paquete compacto y económico para medir la presión de proceso y de base de 5×10-10 a 1500 mbar (3,75×10-10 a 1125 Torr).
- El BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración de la medición de vacío
- La medición de presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases
El medidor Pirani de alta presión por ionización en caliente de INFICON, HPG400, combina sensores de alta presión por ionización en caliente y Pirani en un único paquete compacto y económico para medir la presión desde 2×10-6 mbar hasta la atmósfera (1,5×10-6 Torr hasta la atmósfera).
- El HPG400 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración del sistema de vacío
- El medidor de iones calientes de alta presión proporciona mediciones de presión precisas y fiables de 1×10-5 ... 1 mbar para mejorar el control del proceso
El vacuómetro único de iones de cátodo caliente con tecnología Bayard-Alpert INFICON BAG302 abarca un amplio rango de mediciones, de 1,3 × 10-9 a 6.7×10-2 mbar (1 × 10-9 a 5 × 10-2 Torr).
- Amplio rango de medición de 1,3 × 10-9 a 6,7×10-2 mbar(1 × 10-9 a 5 × 10-2 Torr)
- Dos filamentos de iridio con revestimiento de óxido de itrio de larga duración estándar
- Vacuómetro activo todo en uno con pantalla integrada, punto de ajuste, salida analógica e interfaz digital RS485 integrada estándar
Los cabezales de vacuómetro pasivo Bayard-Alpert INFICON BAG050, BAG051, BAG052 y BAG053 se han diseñado para su uso con los controladores de vacuómetros INFICON VGC083A y VGC083B.
- Diseño de cabeza de indicador fiable y probado
- En descenso para la mayoría de las cabezas desnudas de indicadores de iones calientes
- Amplia gama de corrientes de emisión (100 μA a 10 mA)
El nuevo estándar del vacuómetro de ionización.
- Desarrollado para aplicaciones que requieren una alta precisión de medición en el rango de alto y ultra alto vacío
- Configuración del sistema de electrodos según ISO/TS 6737
- Presión verdadera para todas las especies de gas gracias a una sensibilidad relativa predecible del gas con una incertidumbre pequeña