Espectrómetros de masas
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Espectrometría de masas
Transpector APX Multipresión
Advanced Process Expert for Multi-Pressure ALD/CVD and Etch
Transpector APX Multipresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrometría de masas
Transpector® APX ALD Monopresión
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y grabado a una presión
Transpector® APX ALD Monopresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de presión única a alta temperatura
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrómetros de masas
Transpector® XPR 3+
Espectrómetro de masas cuadrupolar de control de procesos PVD extremo
Transpector® XPR 3+
- Presión máxima de funcionamiento líder en la industria
- Enclavamiento opcional de la válvula de aislamiento de sobrepresión
- Escanea hasta 100 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPH
Espectrómetro de masas cuadrupolar de alto rendimiento
Transpector® MPH
- Rango dinámico de nueve décadas
- Velocidad de recogida de datos líder en el sector
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Exploraciones de hasta 300 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPS
Espectrómetro de masas cuadrupolar polivalente
Transpector® MPS
- Rango dinámico de nueve décadas
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Multiplicador de electrones de dinodo continuo opcional
- Escanea hasta 200 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® CPM 3
Monitorización versátil del proceso, desde la línea de base hasta la presión del proceso
Transpector® CPM 3
- Monitor ideal para procesos de semiconductores
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Bombeo diferencial integrado
Espectrómetros de masas
Transpector® SPS
Supervisión del proceso en el rango de presión objetivo
Transpector® SPS
- Procesos de alta presión específicos
- Entrada de muestreo de presión única
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Sistema de bombeo diferencial integrado
Espectrómetros de masas
Carro móvil para el (CPM) Transpector®
Permite que el Transpector CPM se convierta en un instrumento móvil de localización de averías
Carro móvil para el (CPM) Transpector®
- Suficientemente flexible para llevar un Transpector CPM allí donde lo necesite
- Un tamaño reducido para caber en esos espacios reducidos
- Un sistema completo capaz de albergar todo lo necesario para hacer funcionar el Transpector CPM
Espectrómetros de masas
QMG 700
Espectrómetro de masas analítico QMG 700 para romper las barreras de detección e impulsar su proceso al siguiente nivel de innovación
QMG 700
- Opciones del rango de masas de 1 a 512 uma
- Rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud
- Velocidades de medición extremadamente altas: 0,125 ms/uma
- MDPP < 10E-16 mbar