Espectrómetros de masas
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Espectrometría de masas
Transpector APX Multipresión
Advanced Process Expert for Multi-Pressure ALD/CVD and Etch
Transpector APX Multipresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrometría de masas
Transpector® APX ALD Monopresión
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y grabado a una presión
Transpector® APX ALD Monopresión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de presión única a alta temperatura
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Espectrómetros de masas
Transpector® CPX
Experto en procesos compacto para la supervisión avanzada de procesos
Transpector® CPX
- Entrada de muestreo multipresión HexBlock
- Límite de detección inferior a 200 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
- Reducción del 30% del volumen del sistema
Espectrómetros de masas
Transpector® XPR 3+
Espectrómetro de masas cuadrupolar de control de procesos PVD extremo
Transpector® XPR 3+
- Presión máxima de funcionamiento líder en la industria
- Enclavamiento opcional de la válvula de aislamiento de sobrepresión
- Escanea hasta 100 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPH
Espectrómetro de masas cuadrupolar de alto rendimiento
Transpector® MPH
- Rango dinámico de nueve décadas
- Velocidad de recogida de datos líder en el sector
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Exploraciones de hasta 300 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® MPS
Espectrómetro de masas cuadrupolar polivalente
Transpector® MPS
- Rango dinámico de nueve décadas
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Multiplicador de electrones de dinodo continuo opcional
- Escanea hasta 200 amu
Espectrómetros de masas
Transpector® SPS
Supervisión del proceso en el rango de presión objetivo
Transpector® SPS
- Procesos de alta presión específicos
- Entrada de muestreo de presión única
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Sistema de bombeo diferencial integrado