Espectrómetros de masas
Los espectrómetros de masas de alto rendimiento de INFICON ofrecen análisis precisos de gases para procesos de fabricación de semiconductores, procesos industriales de revestimiento y vacío, investigación y control medioambiental. Nuestra avanzada tecnología permite la detección en tiempo real de gases traza para mejorar el control de calidad y la eficiencia de los procesos, minimizando al mismo tiempo el tiempo de inactividad de los equipos.
Reajuste los filtros para obtener resultados.
Espectrómetro de masas analítico QMG 800 - Supere los límites de detección y eleve su proceso a nuevas cotas de innovación
- La plataforma digital avanzada permite la comunicación a través de OPC UA
- Perfecta integración OEM
- Opciones de fuentes de iones para diversas aplicaciones
- Totalmente compatible con el paquete completo de software FabGuard® para un diagnóstico sin precedentes
- SEM de 90° fuera del eje para minimizar el ruido de radicales y partículas no ionizadas
- Precisión y sensibilidad incomparables con capacidad de detección de un solo ion
Advanced Process Expert for Multi-Pressure ALD/CVD and Etch
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y grabado a una presión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de presión única a alta temperatura
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Detectar compuestos orgánicos volátiles en entornos de fabricación industrial.
- Detección en tiempo real
- Sensibilidad superior
- Fácil interpretación de los datos
- Integración perfecta de las herramientas
Experto en procesos compacto para la supervisión avanzada de procesos
- Entrada de muestreo multipresión HexBlock
- Límite de detección inferior a 200 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
- Reducción del 30% del volumen del sistema
Espectrómetro de masas cuadrupolar de control de procesos PVD extremo
- Presión máxima de funcionamiento líder en la industria
- Enclavamiento opcional de la válvula de aislamiento de sobrepresión
- Escanea hasta 100 amu
Espectrómetro de masas cuadrupolar de alto rendimiento
- Rango dinámico de nueve décadas
- Velocidad de recogida de datos líder en el sector
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Exploraciones de hasta 300 amu
Espectrómetro de masas cuadrupolar polivalente
- Rango dinámico de nueve décadas
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Multiplicador de electrones de dinodo continuo opcional
- Escanea hasta 200 amu