Sensor Giratorio RSH-800
Monitoreo continuo de la deposición que maximiza el tiempo de actividad para las aplicaciones más exigentes.
Los procesos PVD prolongados exigen equipos que puedan permanecer estables, precisos y fiables durante cada minuto de funcionamiento. Un control de velocidad inestable puede afectar al rendimiento, la uniformidad y el valioso tiempo de producción.
El Sensor Giratorio RSH‑800 de INFICON está diseñado para largas series de deposición que deben completarse sin interrupciones. Fabricado para la supervisión continua en entornos difíciles, ayuda a que los procesos exigentes se ejecuten de principio a fin con estabilidad y consistencia.
Diseñado para procesos exigentes
Los procesos prolongados de PVD pueden llevar los equipos al límite. El calor, los recubrimientos gruesos, los recubrimientos multicapa de precisión y los ciclos largos requieren una monitorización fiable que no falle bajo presión.
El RSH‑800 está diseñado con tecnología avanzada de seis cristales para funcionar de forma constante en condiciones exigentes. Su carcasa refrigerada por agua y con protección térmica mantiene la estabilidad hasta 300 grados Celsius, lo que ayuda a garantizar que las mediciones sigan siendo precisas durante todo el proceso de deposición.
Mantiene una supervisión estable
Una medición fiable del espesor es esencial para obtener películas uniformes y un rendimiento predecible. Con una tecnología diseñada para mantener estable la velocidad de deposición durante largos ciclos de recubrimiento, el RSH‑800 proporciona una señal constante e ininterrumpida incluso en aplicaciones en las que la temperatura cambia y el espesor de la deposición aumenta continuamente.
Una carcasa con protección térmica ayuda a eliminar los choques térmicos, lo que contribuye a mantener la precisión durante todo el proceso.
Diseñado para un mantenimiento rápido y un alto tiempo de actividad
El RSH-800 ayuda a mantener las operaciones en marcha con un diseño que permite un mantenimiento rápido in situ. La sustitución del cristal es sencilla, gracias a un embalaje que simplifica su manipulación durante la instalación.
La indexación neumática ofrece un avance suave del cristal, mientras que las opciones de retroalimentación integradas facilitan el seguimiento de la posición del cristal por parte de los sistemas.
Ventajas de un vistazo
- Mayor rendimiento y precisión de la película gracias a una ingeniería de alta calidad
- Mayor eficiencia de producción gracias a un mayor tiempo de actividad
- Mayor rendimiento con un rápido intercambio de cristales
- Mejor optimización de la película con retroalimentación de posición
- Ahorro de tiempo gracias a la fácil manipulación e instalación in situ
- Acceso a experiencia en aplicaciones a nivel mundial para la optimización de procesos
Configuraciones flexibles para la integración en cámaras
Cada sistema de vacío tiene su propia geometría y limitaciones. El RSH-800 se adapta fácilmente gracias a sus múltiples opciones de montaje, incluidas las configuraciones de cabeza plana para instalaciones de montaje superior que utilizan un pasamuro tórico o una brida CF63. Hay disponibles accesorios de brida ajustables para colocar el sensor exactamente donde se necesita dentro de la cámara.
Especificaciones
| Número de cristales | Seis |
| Tamaño de los cristales | 14 mm (0,550 pulgadas) de diámetro |
| Apertura de instalación | 50,8 mm (2,0 pulgadas) de diámetro |
| Requisitos de alimentación | 24 V (CC) Válvula solenoide 21,6-26,4 V (CC), 40 mA |
| Válvula solenoide de 115 V (CA) 90-132 V (CA), 36/32 mA rms (50/60 Hz) | |
| Método de cambio de cristales | Accionado por aire a 55 psi (4 kg/cm2) regulado |
| Método de refrigeración | Refrigerado por agua a 5 L/m a 2 kg/cm2 (28 psi) (no permitir que se congele) |
| Conexiones de aire y agua | Una conexión rápida de 6 mm (0,25 pulgadas) para aire, dos accesorios de compresión de 1/8 pulgadas para agua. |
| Temperatura máxima de calentamiento sin agua | 130 °C |
| Temperatura de funcionamiento | 300 °C máx. con refrigeración por agua y cubierta de acero inoxidable. |
| Peso | 3,8 kg (8,5 lb), varía según la longitud total. |
| Materiales | Acero inoxidable 304, PEEK, níquel-berilio. |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 784-553-G1S | Conjunto de retenedor de resorte – Plano |
| 031-0214S | Conjunto de válvula solenoide de 24 V (CC) |
| 031-0215S | Conjunto de válvula solenoide de 115 V (CA) |
| 784-544-G1S | Conjunto de retenedor de cristal, plano |
| 070-2266S | Tornillo de retención para retenedor de cristal plano |
| 784-501-P1S | Soporte de cristal, plano |
| 784-545-P1S | Cubierta de acero inoxidable |
| 784-554-G1S | Conjunto de soporte de señal |
| 784-555-G1S | Kit de contactos de retenedor de resorte – Plano (juego de seis) |
| 784-524-P1S | Contacto de retenedor de resorte |
| 784-552-G1S | Contacto de resorte para conjunto de retenedor de cristal |
| 051-2558S | Conector macho de 7 pines |
| 070-2324S | Eje y microdot Junta tórica de 6 mm de diámetro |
| 784-542-P1S | Conjunto de cable de señal de 200 mm (7,9 pulgadas) |
| 784-542-P2S | Conjunto de cable de señal de 350 mm (13,8 pulgadas) |
| 784-542-P3S | Conjunto de cable de señal de 450 mm (17,7 pulgadas) |
| 784-542-P4S | Conjunto de cable de señal de 540 mm (21,3 pulgadas) |
| 784-542-P5S | Conjunto de cable de señal de 650 mm (25,6 pulgadas) |
| 784-506-G1S | Rejilla de resistencia |
| 059-0857S | Accesorios de aire del actuador |
| 059-0856S | Accesorios de aire del solenoide |
| 069-0201S | Tubo de aire de 6 mm |
| 059-0859S | Accesorios de agua |
| 070-2326S | Junta tórica de brida ajustable |
| 784-556-G1S | Conjunto de cableado del microinterruptor |
| Número de parte | Descripción |
| 784-600-G1S | Brida ajustable, redonda |
| 784-600-G2S | Brida ajustable, CF63 |
