Sensores y pasamuros
Sensor Crystal 12®
La sustitución de cristales automática maximiza el tiempo de producción
El sensor Crystal 12 de INFICON sustituye a los cristales de forma automática sin interrumpir el proceso cuando está emparejado con el controlador de deposición de película delgada IC6 de INFICON. Cuando un cristal es inestable o falla, IC6 indica al carro del sensor Crystal 12 que haga rotar de inmediato un nuevo cristal a su posición para controlar continuamente la velocidad de deposición. Para reducir aún más el tiempo de inactividad, los cristales se pueden precargar en un segundo carro opcional, que después se puede sustituir rápida y fácilmente por el carro que contiene los cristales gastados, reduciendo así al mínimo el tiempo que el sistema permanece abierto.
Características
- Soporta 12 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Carro fácil de extraer que permite una sustitución rápida de los 12 cristales
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
- La pantalla de deposición delantera es fácil de extraer y protege los cristales y el carro de la acumulación de material, lo que minimiza la necesidad de extraer todo el sensor para el mantenimiento
- El usuario puede modificar el kit de montaje opcional para alojar el hardware métrico
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Especificaciones
| Temperatura máxima de cocción sin agua | 130°C |
| Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo | 300° C |
| Tamaño (envolvente máximo) | 4.0 in. (102 mm) dia. x 3.3 in. (84 mm) high 4.75 in. (121 mm) dia. x 3.46 in. (88 mm) with optional mounting posts installed |
| Cambio de cristal | Front-loading |
Accesorios
Consumibles
Piezas de repuesto
| Nombre | Descripción |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Nombre | Descripción |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Número de parte | Descripción |
| 750-276-P3 | Actuator cover |
| XL12-000100 | Deposition Shield, Crystal 12 Sensor |
| 750-286-P2 | Pneumatic actuator |
| 750-291-P1 | Detent |
| 750-902-G1 | Crystal 12 Kit |
| 750-294-P2 | Stop ratchet |
| 750-293-P2 | Ratchet |
| 750-256-P2 | Extension spring |
| 750-252-P2 | Spring post |
| 750-649-G1 | Electrical connection |
| 750-295-G1 | Pawl and actuator |
| 070-0779 | Ball bearing |
| XL12-001000 | Carousel Assembly, Crystal 12 Sensor |
| 750-651-P1 | Resistor network support |
| 750-655-P1 | Resistor network insulator |
| 750-642-G1 | Resistor Network |
| 750-661-P1 | Contact terminal (carousel component) |
| 750-656-P1 | Crystal insulator (carousel component) |
| 321-038-P6 | Leaf spring (carousel component) |
| 750-657-P1 | Grounding leaf spring |
| 750-671-P1 | Torsion spring |
| 750-626-P1 | Spring for sputtering head cover |
| 750-660-P1 | Location screw (spindle component) |
| 007-126 | 0.125 in. x 30 in. (3.175 mm x 762 mm) seamless tubing |
| 070-201 | #4 Split lockwasher |
| 084-004 | #4-40 X .187 Hex socket head screw |
| 070-398 | Retaining ring |
| 070-0867 | Shaft spacer |
| 070-170S | #2 Split Lockwasher SS Spare |
| 070-177 | #4-40 X 3.12 Hex head screw |
| 080-038S | Screw 0-80 x.375 LG Phil Pan HD SS Spare |
| 082-032S | Lock Washer #2 Stainless Steel Spare |
| 082-045 | #2-56 x .187 Phillips screw |
| 084-054 | #4 Split lock washer |
| 080-013 | #0-80 Split washer |
| 080-007-P1 | #0-80 x .170 Flat washer |
| 080-009-P1 | #0-80 X .188 Socket head screw |
| 084-048 | #4-40 x .250 Flat head screw |
| 750-665-P1 | #2-56 Torsion spring shoulder screw |
| 084-093S | Screw Socket HD 4-40 x 1.125 in Spare |
| 086-084-P2S | Screw Socket HD Set 6-32 x 0.125in Spare |
| 086-041 | #6 Flat washer |
| 086-038 | #6 Split lock washer |
| 086-036 | #6-32 x 3/8 socket head screw |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
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