Sensores y pasamuros
Sensores SemiQCM® SR para la monitorización de precursores
Repetir la excelencia
Proteja y aumente sus beneficios con un control preciso de la velocidad y el espesor
El sensor SemiQCM SR es un componente de un sistema para la supervisión de precursores siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
La supervisión de semiprocesos puede utilizarse en aplicaciones de semiconductores para la detección de puntos finales y la eliminación de fallos mediante la supervisión de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara. El uso de un QCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
El fallo de suministro de precursor a una oblea puede detectarse en tan sólo una oblea.
Características
- Datos QCM monitorizados a 10 Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Control del proceso in situ y en tiempo real
- Prevenir el sobregrabado, identificar el punto final de limpieza de la cámara
- Identificar fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
Especificaciones
| Temperatura máxima | 200°C |
| Tamaño del cabezal del sensor (envolvente máxima) | 23,9 mm de diámetro externo × 29,2 mm (0,94 pulg. de diámetro externo × 1,15 pulg.) |
| Longitud del sensor (en vacío) | 50–150 mm (1,97–5,91 pulg.) |
| Paso de montaje | Brida ISO KF/CF |
| Materiales | |
| Cuerpo y soporte | Acero inoxidable 304 |
| Resortes | BeCu chapado en oro (Au) |
| Línea coaxial | 4,8 mm (0,188 pulg.) de diámetro externo, acero inoxidable |
| Otras piezas mecánicas | Acero inoxidable 18-8 o 304, níquel C276 |
| Aislantes | >96 % Al₂O₃ en vacío; se utiliza Teflon® en otras partes |
| Cable | Níquel (Ni) en vacío, cobre (Cu) niquelado en otras partes |
| Soldadura | Aleación de NiCr de alta temperatura, apta para vacío |
| Cristal | 14,0 mm (0,551 pulg.) de diámetro |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 750-1090-G10 | Cristales sensor SC-cut, aleación, paquete de 10 |
| 750-1137-G5 | Cristales sensor SC-cut, itria, paquete de 5 |
| 750-1138-G5 | Cristales sensor SC-cut, alúmina, paquete de 5 |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 007-023 | Retenedor cerámico, sensor de carga frontal |
| 750-7065-G1S | Soporte de cristal de bloqueo SR de 14 mm, repuesto |
| 750-7069-G1S | Cuerpo del sensor de bloqueo SR de 14 mm, conjunto de repuesto |
| 750-7084-G1S | Soporte de cristal SR de 14 mm, conjunto de repuesto, itria |
| 750-7084-G2S | Soporte de cristal SR de 14 mm, conjunto de repuesto, alúmina |
| 750-7084-G3S | Soporte de cristal SR de 14 mm, conjunto de repuesto, aleación |
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Notas de aplicación
El producto se utiliza en los siguientes mercados
