Análisis de gases
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Advanced Process Expert for Multi-Pressure ALD/CVD and Etch
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Experto en procesos avanzados de ALD/CVD y grabado a una presión
- xParts recubiertas para prolongar la vida útil en condiciones químicas adversas
- Entrada de presión única a alta temperatura
- Límite de detección inferior a 10 ppb
- Velocidad de bombeo líder del sector
Proporcionan detección de fugas en tiempo real, detección de puntos finales y supervisión de procesos para los procesos de fabricación de semiconductores de vanguardia y otras aplicaciones de análisis de gases.
- Rango de funcionamiento desde 1 Torr hasta 450 Torr
- Límite de detección superior < 1 ppm
- Fiabilidad a largo plazo: no necesita bombas
- Fácil instalación mediante una conexión estándar KF25
Espectrómetro de masas cuadrupolar de control de procesos PVD extremo
- Presión máxima de funcionamiento líder en la industria
- Enclavamiento opcional de la válvula de aislamiento de sobrepresión
- Escanea hasta 100 amu
El medidor óptico de plasma AugentTM de INFICON es una solución compacta e inteligente para el monitoreo del vacío.
- La detección de fugas a alta velocidad permite realizar pruebas de fugas en cámara
- Aumento de la productividad y el rendimiento
- Larga vida útil, sin que el filamento se queme, protección contra entrada de aire
Espectrómetro de masas cuadrupolar de alto rendimiento
- Rango dinámico de nueve décadas
- Velocidad de recogida de datos líder en el sector
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Exploraciones de hasta 300 amu
Espectrómetro de masas cuadrupolar polivalente
- Rango dinámico de nueve décadas
- Sensores y componentes electrónicos intercambiables
- Multiplicador de electrones de dinodo continuo opcional
- Escanea hasta 200 amu
Monitorización versátil del proceso, desde la línea de base hasta la presión del proceso
- Monitor ideal para procesos de semiconductores
- Entrada de muestreo de presión múltiple
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Bombeo diferencial integrado
Supervisión del proceso en el rango de presión objetivo
- Procesos de alta presión específicos
- Entrada de muestreo de presión única
- Límite de detección inferior a 1 ppm
- Sistema de bombeo diferencial integrado
Proporcionan detección de fugas en tiempo real y detección de puntos finales para entornos de procesos críticos
- Rango de funcionamiento de 10 mTorr a 1 Torr
- Excelentes límites de detección hasta niveles bajos de ppm
- Fiabilidad a largo plazo: no necesita bombas
- Fácil instalación mediante una conexión KF25 estándar
Permite que el Transpector CPM se convierta en un instrumento móvil de localización de averías
- Suficientemente flexible para llevar un Transpector CPM allí donde lo necesite
- Un tamaño reducido para caber en esos espacios reducidos
- Un sistema completo capaz de albergar todo lo necesario para hacer funcionar el Transpector CPM
Espectrómetro de masas analítico QMG 700 para romper las barreras de detección e impulsar su proceso al siguiente nivel de innovación
- Opciones del rango de masas de 1 a 512 uma
- Rango dinámico de más de nueve órdenes de magnitud
- Velocidades de medición extremadamente altas: 0,125 ms/uma
- MDPP < 10E-16 mbar