Sensor CrystalSix®
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El sensor CrystalSix de INFICON es crucial para procesos largos que requieren un control continuo de la velocidad. Ya sea con recubrimiento óptico, solar, MBE, OLED o mediante otros procesos con ventilación de cámara espaciada, el sensor CrystalSix ofrece la seguridad de seis cristales de monitor de cuarzo en una sola cabeza. Cuando se utiliza con un controlador de película delgada de INFICON, el sensor CrystalSix gira automáticamente para colocar un cristal nuevo cuando el cristal actual falla o es inestable. Los cristales se sustituyen automáticamente sin interrumpir el proceso de seguimiento continuo de la velocidad de deposición.
Los cristales se indexan mediante un mecanismo de acción neumática. Este motor de acción neumática proporciona una estabilidad térmica del cristal mejor que las unidades de la competencia que utilizan caros motores eléctricos de generación de calor en vacío. Los tubos de refrigeración por agua de 1,8 pulgadas preservan la estabilidad térmica de la cabeza del sensor y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor.
Cuando se utilizan con determinados controladores de película delgada de INFICON, el sensor proporciona retroalimentación de posición, de modo que se pueden utilizar posiciones específicas con materiales específicos.
Características
- Soporta 6 cristales con una función de sustitución resistente y automática para maximizar el tiempo de actividad del proceso
- Temperatura estable de los cristales, ya que la sustitución se acciona por neumáticos (las unidades de la competencia utilizan motores de generación de calor)
- Los tubos de 1,8" mantienen la estabilidad térmica y ofrecen flexibilidad para la instalación del sensor
- Obturador de cristal opcional disponible
Especificaciones
| Temperatura máxima de cocción sin agua | 130°C |
| Temperatura de entorno isotérmico operativo máximo con flujo de agua mínimo | 400° C |
| Cambio de cristal | Front-loading, extraction tool required (supplied with unit) |
| Tubos de agua y aire | S-304, 0.125 in. (0.32 cm) O.D. x 0.016 in. (0.04 cm) Wall Thickness 30 in. Long (76 cm) seamless stainless steel tubing |
Accesorios
| Número de parte | Descripción |
| 750-446-G1 | CrystalSix sensor (sensor only, no feedthrough included) |
| Nombre | Descripción |
| QCM Sensor Feedthroughs | QCM Sensor Feedthroughs |
| Nombre | Descripción |
| Quartz Monitor Crystals | Quartz Monitor Crystals |
| Número de parte | Descripción |
| 007-007 | Retainer spring (for crystal holder) |
| 007-023 | Ceramic Retainer |
| 070-0170 | #2 Lockwasher (part of heat shield assembly) |
| 070-0398 | Retaining ring (secures bearing located next to pawl and actuator stem) |
| 070-0777 | Compression spring (on carousel shaft) |
| 070-0778 | Ball bearing (underneath carousel) |
| 070-0779 | Ball bearing |
| 070-0870 | Teflon washer (on carousel shaft) |
| 070-0877 | Shim spacer (part of heat shield assembly) |
| 070-0879 | Bearing (at center of top plate weld assembly) |
| 073-114 | Wire .022 in. x 1.06 in (clamps heat shield retaining pin) |
| 082-026 | # 2-56 Nut (part of heat shield assembly) |
| 750-048-P1 | Retainer spring for 007-048 and 751-619-G1 sputtering head bodies |
| 750-175-P1 | Insulator (underneath leaf spring) |
| 750-188-P3 | Leaf Spring |
| 750-249-P2 | Retaining pin (part of heat shield assembly) |
| 750-250-G1 | Deposition Shield, CrystalSix Sensor |
| 750-256-P2 | Extension spring |
| 750-257-P3 | Corrugated spring 4.40 in. (11.2 cm) |
| 750-261-G1 | Carousel assembly (includes resistor network and electrical contacts) |
| 750-262-G1 | Crystal holder |
| 750-265-G1 | Top plate weld assembly |
| 750-276-P2 | Actuator cover |
| 750-278-P2 | Water line |
| 750-286-P2 | Pneumatic actuator |
| 750-290-P3 | Carousel electrical contacts (set of eight) |
| 750-901-G1 | Crystal 6 Kit |
| 750-293-P2 | Ratchet |
| 750-294-P2 | Stop ratchet |
| 750-295-G1 | Pawl and actuator |
| 750-336-G1 | Resistor network assembly |
| 750-338-P1 | Contact insulator (underneath carousel electrical contacts) |
| In-vacuum cables | |
| 321-039-G12 | In-vacuum cable, 15.2 cm (6 in.) |
| 007-252 | In-vacuum cable, 30.5 cm (12 in.) |
| 321-039-G11 | In-vacuum cable, 61.0 cm (24 in.) |
| 007-044 | In-vacuum cable, 78.1 cm (30.75 in.) |
| 007-059 | In-vacuum cable, 91.4 cm (36 in.) |
| 007-061 | In-vacuum cable, 121.9 cm (48 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G13 | In-Vacuum Cable, 154.2 cm (60 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G14 | In-vacuum cable, 182.9 cm (72 in.) - Requires ModeLock controller |
| 321-039-G15 | In-vacuum cable, 3.5 m (137.8 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
| 321-039-G16 | In-vacuum cable, 4 m (157.5 in.) - Requires ModeLock controller and 4 m XIU |
