Sensores SemiQCM® CR para el control de precursores
Repetir la excelencia
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
El sensor SemiQCM CR es un sensor químicamente inerte que puede instalarse en algunas de las cámaras de CVD o ALD más duras. SemiQCM CR es uno de los componentes de un sistema para la supervisión de precursores, siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
La monitorización de semiprocesos puede utilizarse en aplicaciones de semiconductores para la detección de puntos finales y la eliminación de fallos mediante la monitorización de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara. El uso de un QCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
El fallo de suministro de precursor a una oblea puede detectarse en tan sólo una oblea.
Características
- Datos de QCM supervisados a 10 Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
Especificaciones
| Temperatura máxima | 200°C |
| Tamaño de la cabeza del sensor (dimensiones máximas) | 23,9 mm diámetro exterior x 29,2 mm (0,94 in. diámetro exterior x 1,15 in.) |
| Longitud del sensor (en vacío) | 50–150 mm (1,97–5,91 in.) |
| Pasamuros de montaje | Brida ISO KF/CF |
| Materiales | |
| Cuerpo y soporte | Aluminio |
| Resortes | Níquel-berilio |
| Línea coaxial | 6,4 mm (0,250 in.) diámetro exterior, níquel 625 |
| Otras piezas mecánicas | Níquel 200, aluminio o níquel C276 |
| Aislantes | >96% Al2O3 en vacío; Teflón® utilizado en otras partes |
| Cable | Níquel en vacío, cobre niquelado en otras partes |
| Soldadura fuerte | Aleación NiCr de alta temperatura, proceso en vacío |
| Cristal | Diámetro de 14,0 mm (0,551 in.) |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 750-1090-G10 | Cristales de sensor con corte SC, aleación, paquete de 10 |
| 750-1137-G5 | Cristales de sensor con corte SC, ytrio, paquete de 5 |
| 750-1138-G5 | Cristales de sensor con corte SC, alúmina, paquete de 5 |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-7046-G1S | Juego de retención de cristal CR de 14 mm, repuesto |
| 750-7074-G1S | Juego de retención de cristal CR de 14 mm, repuesto |
| 750-7075-G1S | Conjunto del cuerpo del sensor CR bloqueable de 14 mm, repuesto |
| 750-7085-G1S | Conjunto de soporte de cristal CR de 14 mm, repuesto, Ytrio |
| 750-7085-G2S | Conjunto de soporte de cristal CR de 14 mm, repuesto, Alúmina |
| 750-7085-G3S | Conjunto de soporte de cristal CR de 14 mm, repuesto, Aleación |
