Sensores SemiQCM™ CR para el control de precursores
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Gemini™ MxG5xx
Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor
El sensor SemiQCM™ CR es un sensor químicamente inerte que puede instalarse en algunas de las cámaras de CVD o ALD más duras. SemiQCM CR es uno de los componentes de un sistema para la supervisión de precursores, siendo los otros componentes un IMM-200 y FabGuard (versión 19.12.00-a o superior).
La monitorización de semiprocesos puede utilizarse en aplicaciones de semiconductores para la detección de puntos finales y la eliminación de fallos mediante la monitorización de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara. El uso de un QCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
El fallo de suministro de precursor a una oblea puede detectarse en tan sólo una oblea.
Características
- Datos de QCM supervisados a 10 Hz
- FabGuard correlaciona los datos de QCM con el estado de la herramienta y el paso del proceso
- Medición precisa de las velocidades de deposición o grabado
- Sensibilidad y precisión para la medición del espesor de submonocapas
Ventajas
- Monitorización del proceso in situ y en tiempo real
- Prevención de sobregrabado, identificación del punto final de limpieza de la cámara
- Identificación de fallos en el equipo o en el estado del proceso
Aplicaciones típicas
- Fabricación de semiconductores
Especificaciones
| Temperatura máxima | 200°C |
| Tamaño del cabezal del sensor (envolvente máxima) | 15 mm O.D. x 39.2 mm (0.59 in. O.D. x 1.54 in.) |
| Materiales | |
| Cuerpo y soporte SemiQCM CR | Aluminio 6061 |
| Muelles SemiQCM CR | Níquel berilio |
| SemiQCM Tuerca CR y tubo conductor | Inconel 625 |
| SemiQCM CR Otras piezas mecánicas | Níquel 200, aluminio o Inconel 625 |
| Aisladores | >99% Al2O3 en vacío: Teflon® utilizado en otros lugares |
| Alambre | 1. Ni (en vacío) 2. Cu niquelado (en otros lugares) |
Consumibles
| Número de parte | Descripción |
| 750-7053-G1S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alloy Crystal Installed |
| 750-7053-G2S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Alumina Crystal Installed |
| 750-7053-G3S | 8 mm CR Crystal Holder Assembly with Yttria Crystal Installed |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
| 750-1089-G10 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, ALLOY, 8 mm, 10 crystals |
| 750-1127-G5 | SENSOR CRYSTALS, 6 MHz, ALUMINA, 8 mm, 5 crystals |
| 750-1128-G5 | SENSOR CRYSALS, 6 MHZ, YTTRIA, 8 mm, 5 crystals |
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 750-7055-G1S | Crystal Holder, Finger Spring, and Retainer Spring Spare Assembly |
