xParts

Servicio de revestimiento ALD

xParts_ALD Coating Service landscape

Los revestimientos xParts son películas finas ALD (deposición de capas atómicas) altamente uniformes y sin partículas que se aplican sobre piezas tridimensionales específicas del cliente para su uso en aplicaciones extremadamente duras, como los procesos de producción de semiconductores.

Los recubrimientos xParts aumentan la vida útil de los componentes críticos y aseguran el tiempo de actividad de las herramientas de producción.

Necesidad del cliente

Característica xParts

Ventaja​

Tiempo de funcionamiento de la herramienta

Alta resistencia a la corrosión

Mayor vida útil de las piezas

Barrera de difusión

Reduce el acondicionamiento

Buen rendimiento

Baja contaminación por metales

Menos defectos/contaminaciones

Buenas obleas

Sin partículas

Menos defectos/recuperación tras la PM

Coste de propiedad

Programa de renovación

Reducción de los costes de propiedad

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