Prozesskontrolle

Subfab and Facilities

Smart Subfab Control für umweltfreundlichere Fabriken

FabGuard preview

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Fehlersuche und -kontrolle für die Subfab und Facilities

Unser Edge-Based Computing FabGuard Facilities Monitoring System und HMI ermöglicht die Integration von Anlagen und Subfab-Komponenten mit Prozessinformationen. In Verbindung mit den von der Prozessausrüstung gesammelten Daten ermöglicht INFICON die Verwaltung und Kontrolle mehrerer Komponenten der Fertigungsanlagen.

Vorteile

  • Intelligente Steuerung/Energieeinsparung
  • Umstellung auf zustandsabhängigen Verbrauch
  • Einhaltung gesetzlicher Vorschriften und Berichterstattung
  • Erhöhung der FDC-Tool- und Prozesstreue
  • Intelligente und vorausschauende Wartungsplanung

Verbinden Sie den Prozess mit der Subfab/Facilities

FabGuard ermöglicht es Ingenieuren, Daten von einer Vielzahl von Sensoren, Messgeräten, Anlagen und anderen Geräten zu sammeln, um den umfassendsten Überblick über Prozess-Tools branchenweit zu erhalten. 

  • Pumpen: Stromverbrauch, Temperaturen, Drücke, Spülströme, Vibrationen, Alarme
  • Abgasreinigung: Gasverbrauch, Betriebswerte, Alarme
  • Abluft: Differenzdruck, Temperatur, Ablagerung von Nebenprodukten
  • Heizungen: Heizstrom/Spannung, Temperatur
  • Kältemaschinen: Durchflussmengen, Temperatur
Smart Fault Detection and Classification_Smart Tool Digital Twin
Smart Fault Detection and Classification_Smart Tool Digital Twin

Kombinieren Sie Prozessinformationen mit den Daten der Subfab und der Peripherie-Anlagen, um einen klaren Überblick über potenzielle Prozessauswirkungen zu erhalten und bessere Methoden zur Kontrolle bereitzustellen. INFICON nutzt FabGuard zur Vorhersage von Abweichungen, zur Verwaltung von Wartungsaktivitäten und zur Identifizierung von Möglichkeiten für Kosteneinsparungen.

Kosten senken und grün sein

Während die Hersteller bestrebt sind, die Leerlaufzeiten zu minimieren, bieten die Leerlaufzeiten der Geräte die Möglichkeit, den Abfall zu minimieren, was zu niedrigeren Kosten und einem umweltfreundlicheren Betrieb führt.

Durch die Nutzung von Echtzeit-Informationen über die Fertigungsplanung und den Zustand der Geräte steuert FabGuard die Komponenten der Subfab und Anlagen, um den Verbrauch von Energie und Verbrauchsmaterialien zu minimieren. Dazu gehört auch die Nutzung des grünen Betriebs und des Leerlaufmodus.

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Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, damit wir Ihnen helfen können, Ihre Fertigungsabläufe zu optimieren.

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