FabGuard® FDC
Jetzt ist die Zeit für eine intelligentere Fertigung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
FabGuard® ist ein umfangreiches Engineering-Toolkit, das Echtzeitdaten von Prozessanlagen, fortschrittlichen Sensoren, IoT-Geräten, Messgeräten und Komponenten aus der Fab, Subfab und Facilities nutzt, um das umfassendste Fehlererkennungssystem der Branche zu bieten.
Prozessüberwachung in Echtzeit
Das FabGuard FDC-System von INFICON bietet unvergleichliche Möglichkeiten, Daten zu verbinden, zu sammeln und in aussagekräftige Informationen zu verwandeln. Ingenieure nutzen diese Informationen, um tiefe Einblicke in die Toolkapazität und die Prozessoptimierung zu gewinnen. Zusätzlich zu den bewährten FDC-Techniken ermöglicht das leistungsstarke maschinelle Lernen mit SmartFDC® FabGuard, automatisch zu erkennen, wenn Änderungen auftreten.
Vorteile
- Nahtlose Integration von Prozessausrüstung und Sensordaten
- Edge-Computing
- Vor Ort oder Cloud-basiert
- Echtzeit- und Run-by-Run-Analyse
- Weltklasse-Konnektivität zu Sensoren, Messgeräten, IoT/IIoT, Prozess-Tools
- Automatisches maschinelles Lernen
Intelligente Prozessüberwachung
FabGuard ist ein intelligentes Prozessüberwachungs- und -steuerungssystem, das es Ingenieuren ermöglicht, Daten von einer Vielzahl von Sensoren, Messgeräten, Anlagen und anderen Geräten zu sammeln, um den umfassendsten Überblick über Prozesstools branchenweit zu erhalten.
- Sensoren: RGA, OES, RF/DC, Quarzkristall-Mikrowaage
- Messgeräte: Weitbereichsvakuum, Hochpräzisionsvakuum, Massendurchfluss, Flüssigkeitsdurchfluss
- Anlagen: Pumpen, Abluftreinigung, Heizungen, Kühler, Chemikalienversorgung
- Hohe Geschwindigkeit: Beschleunigungssensor, Arcing-Detection, Hochgeschwindigkeitsanalog
Das Sammeln der richtigen Daten zur richtigen Zeit ist entscheidend für den Aufbau einer umfassenden Fehlererkennung und ermöglicht die Charakterisierung des Prozesses. Die dynamischen Datenerfassungsfunktionen von FabGuard maximieren auch die Bandbreite des Tools, um den Umfang der erfassten Daten zu erhöhen.
Die Datenerfassung wird on-the-fly angepasst, um den Anforderungen des Prozesses, der Sensoren, der unterstützenden Komponenten und des Tools zu entsprechen.
Bringen Sie Prozesserfahrung in die Fabrik
Die Außendienst- und Softwareentwicklungsteams von INFICON sind erfahrene Prozess- und Anlageningenieure, die sich der Lösung von realen Fabrikproblemen verschrieben haben.
INFICONs Fachwissen erstreckt sich auf alle Wafer-Durchmesser, Flat-Panel-Größen, Bauteilgeometrien, Substrattypen und Fabriken aller Automatisierungsgrade.
Interessiert an mehr?
Setzen Sie sich mit uns in Verbindung, damit wir Ihnen helfen können, Ihre Fertigungsabläufe zu optimieren.
