Gasanalyse
Technologie
Massenspektrometrie
Optische Spektroskopie
Verbrennungsanalyse
Gaschromatographen
Prozess
PVD
CVD
ALD
Etch
Lithographie
Druck
< E-5 Torr
> E-4 Torr to 1E-2 Torr
1E-2 Torr to 1 Torr
> 1 Torr
Grenzwerte für den Nachweis
1-10 ppm
< 1 ppm
< 10 ppb
>10 ppm
Markt
HVAC/R
Industrielle Fertigung
Vakuumbeschichtung
Sicherheit
Energie
Halbleiterhersteller
Halbleiter Maschinenbauer
Display
Pharma & Medizin
Mobilität & Automobilindustrie
Forschung & Ausbildung
Analytische Instrumente
Batterien
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Massenspektrometer
Transpector® APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
Transpector® APX mit Multi-Pressure-Inlet-System
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Massenspektrometrie
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
Transpector® APX ALD für spezialisierten Prozessdruck Bereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Massenspektrometer
Transpector® CPX
Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
Transpector® CPX
- HexBlock-Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 200 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
- 30% weniger Systemvolumen
Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPH
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPH
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Massenspektrometer
Transpector® MPS
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPS
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Dual Gauge für optische Gas Analyse und Totaldruck Messung
Augent® OPG550
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
Augent® OPG550
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
Optische Gasanalysatoren
Quantus® HP100
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
Quantus® HP100
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Abgasmessgerät und Rauchgasprüfer
FLUE-Mate
Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
FLUE-Mate®
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
- Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
- Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
- QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App
Gaschromatographen
Micro GC Fusion® Gasanalysator
Einfachere und schnellere Gasanalysen
Micro GC Fusion® Gasanalysator
- Analysenzeit minimieren
- Verfügbarkeit maximieren
- Lizenzfreier Zugang
- Einfache Anbindung
Gaschromatographen
Micro GC Fusion® Externer Probenaufbereiter
Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
Micro GC Fusion® Externer Probenaufbereiter
- Easily attaches to Micro GC Fusion
- Side door for easy filter replacement
- Use a quick connect fitting for easy sampling
- Can be taken into the field for on-site sampling
Gaschromatographen
Micro GC Fusion® Benutzeroberfläche
Webbasierte Benutzeroberfläche
Micro GC Fusion® Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
- Lizenzfrei
- Integriert in jedes Instrument
- Keine Installation erforderlich