Gasanalyse
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Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
 - Mehrdruck-Probenahmeeinlass
 - Nachweisgrenze unter 10 ppb
 - Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
 

Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
 - Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
 - Nachweisgrenze unter 10 ppb
 - Branchenführendes Saugvermögen
 

Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
- HexBlock-Mehrdruck-Probenahmeeinlass
 - Nachweisgrenze unter 200 ppb
 - Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
 - 30% weniger Systemvolumen
 

Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
 - Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
 - Scannt bis zu 100 amu
 

Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
 - Branchenführende Datenerfassungsrate
 - Auswechselbare Sensoren und Elektronik
 - Scannt bis zu 300 amu
 

Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
 - Auswechselbare Sensoren und Elektronik
 - Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
 - Scannt bis zu 200 amu
 

Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
 
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
 - Steigerung von Produktivität und Ertrag
 - Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
 

Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
 - Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
 - Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
 - Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
 

Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
 - Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
 - Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
 - QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App
 

Einfachere und schnellere Gasanalysen
- Analysenzeit minimieren
 - Verfügbarkeit maximieren
 - Lizenzfreier Zugang
 - Einfache Anbindung
 

Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
- Easily attaches to Micro GC Fusion
 - Side door for easy filter replacement
 - Use a quick connect fitting for easy sampling
 - Can be taken into the field for on-site sampling
 

Webbasierte Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
 - Lizenzfrei
 - Integriert in jedes Instrument
 - Keine Installation erforderlich