Gasanalyse
Technologie
Massenspektrometrie
Optische Spektroskopie
Prozess
PVD
CVD
ALD
Etch
Lithographie
Druck
< E-5 Torr
> E-4 Torr to 1E-2 Torr
1E-2 Torr to 1 Torr
> 1 Torr
Grenzwerte für den Nachweis
1-10 ppm
< 1 ppm
< 10 ppb
Markt
HVAC/R
Industrielle Fertigung
Vakuumbeschichtung
Sicherheit
Energie
Halbleiterhersteller
Halbleiter Maschinenbauer
Display
Pharma & Medizin
Mobilität & Automobilindustrie
Forschung & Ausbildung
Analytische Instrumente
Batterien
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Optische Gasanalysatoren
Augent™ OPG550
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
Augent™ OPG550
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen

Massenspektrometer
Gerätewagen für Transpector® CPM
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
Gerätewagen für Transpector® CPM
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird

Massenspektrometer
QMG 700
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
QMG 700
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar

Optische Gasanalysatoren
Quantus® HP100
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
Quantus® HP100
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss

Optische Gasanalysatoren
Quantus® LP100
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
Quantus® LP100
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss

Massenspektrometer
Transpector® CPM 3
Vielseitige Prozessüberwachung von der Basislinie bis zum Prozessdruck
Transpector® CPM 3
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe

Massenspektrometer
Transpector® MPH
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPH
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu

Massenspektrometer
Transpector® MPS
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® MPS
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu

Massenspektrometer
Transpector® SPS
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
Transpector® SPS
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem

Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
Transpector® XPR 3+
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu