Gasanalyse
Entdecken Sie unsere Reihe fortschrittlicher Gasanalysatoren, die für präzise und zuverlässige Gasanalysen in verschiedenen industriellen Anwendungen entwickelt wurden, unter anderem in den Bereichen Halbleiter, Batterien, Displays, Energie, Pharma und Medizin, Forschung und Wissenschaft sowie allgemeine Vakuumbeschichtung. Erkunden Sie unsere Lösungen, um den richtigen Gasanalysator zu finden, der auf Ihre Bedürfnisse zugeschnitten ist.
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Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit

Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen

Kompakter Prozessexperte für erweiterte Prozessüberwachung
- HexBlock-Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 200 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
- 30% weniger Systemvolumen

Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu

Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu

Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu

Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen

Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss

Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
- Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
- Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
- QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App

Einfachere und schnellere Gasanalysen
- Analysenzeit minimieren
- Verfügbarkeit maximieren
- Lizenzfreier Zugang
- Einfache Anbindung

Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
- Easily attaches to Micro GC Fusion
- Side door for easy filter replacement
- Use a quick connect fitting for easy sampling
- Can be taken into the field for on-site sampling

Webbasierte Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
- Lizenzfrei
- Integriert in jedes Instrument
- Keine Installation erforderlich
Fortschrittliche Gasanalysatoren und industrielle Gasanalyse-Lösungen
INFICON bietet fortschrittliche Gasanalysatoren, die eine genaue Gasanalyse für kritische industrielle Anwendungen ermöglichen. Unsere Geräte sind für eine genaue Gasdetektion und -überwachung unerlässlich und helfen der Industrie, Sicherheit, Compliance und betriebliche Effizienz in einer Vielzahl von Bereichen aufrechtzuerhalten, darunter die Optimierung von Halbleiterherstellungsprozessen und die Umweltkontrolle.
Ein eindrucksvolles Beispiel ist das Transpector® APX Multi-Pressure Mass Spectrometer, das sich durch Echtzeitüberwachung bei mehreren Drücken in der Restgasanalyse auszeichnet. Dieses Analysegerät ist ideal für die Halbleiterfertigung, wo es schnelle und genaue Daten über die Gaszusammensetzung liefert und eine präzise Kontrolle der Produktionsumgebung ermöglicht. Seine Vielseitigkeit und Genauigkeit machen es für die Einhaltung von Qualitätsstandards und die Minimierung von Prozessunterbrechungen unentbehrlich.
Die industriellen Gasanalyselösungen von INFICON stellen sicher, dass sich Unternehmen auf die Zuverlässigkeit ihrer Gasdetektions- und Überwachungssysteme verlassen können. Mit den Geräten von INFICON können Branchen die gesetzlichen Standards sicher erfüllen, die Sicherheit verbessern und die Prozesseffizienz steigern, was sie zu wesentlichen Bestandteilen moderner Industrieunternehmen macht.