Gasanalyse
Setzen Sie die Filter zurück um Ergebnisse zu erhalten.
Fortgeschrittener Prozessexperte für einen breiten Prozessdruckbereich z.B. für ALD/CVD und ETCH
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Mehrdruck-Probenahmeeinlass
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführende Ansauggeschwindigkeit
Sorgt für eine Druckreduzierung und hält gleichzeitig die Probentemperatur auf >50°C (122°F).
- Easily attaches to Micro GC Fusion
- Side door for easy filter replacement
- Use a quick connect fitting for easy sampling
- Can be taken into the field for on-site sampling
Webbasierte Benutzeroberfläche
- Betriebssystemunabhängig
- Lizenzfrei
- Integriert in jedes Instrument
- Keine Installation erforderlich
Einfachere und schnellere Gasanalysen
- Analysenzeit minimieren
- Verfügbarkeit maximieren
- Lizenzfreier Zugang
- Einfache Anbindung
Fortgeschrittener Prozessexperte ALD/CVD und ETCH mit definierten Prozessdruckbereich
- xParts beschichtete Teile für längere Lebensdauer in rauer Chemie
- Hochdruck-Eindruckeinlass für hohe Temperaturen
- Nachweisgrenze unter 10 ppb
- Branchenführendes Saugvermögen
Echtzeit-Leckerkennung, Endpunkt-Erkennung und Prozessüberwachung für modernste Halbleiterfertigungsprozesse und andere Gasanalyseanwendungen
- Arbeitsbereich von 1 Torr bis zu 450 Torr
- Überlegene Nachweisgrenze < 1 ppm
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Extreme PVD-Prozessüberwachung Quadrupol-Massenspektrometer
- Branchenführender maximaler Betriebsdruck
- Optionale Verriegelung des Überdruckabsperrventils
- Scannt bis zu 100 amu
Hochgeschwindigkeits-Kammerlecktest - Gasanalyse
- Hochgeschwindigkeits-Lecksuche ermöglicht Kammer-Lecktest
- Steigerung von Produktivität und Ertrag
- Lange Lebensdauer, kein brennbares Filament, Schutz vor Lufteinbrüchen
Optimieren Sie Ihre Verbrennungseffizienz
- Zeigt die Messwerte für Wirkungsgrad, O2, CO2, CO und Abgastemperatur auf einem einzigen Bildschirm an
- Leicht ablesbares, beleuchtetes Display
- Überwachung der Systemdrücke mit eingebautem Manometer und Schlauchsatz
- QR-Code für schnelle Analyseberichte mit der mobilen FLUE-Mate-App
Hochleistungs-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Branchenführende Datenerfassungsrate
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Scannt bis zu 300 amu
Mehrzweck-Quadrupol-Massenspektrometer
- Neun Dekaden Dynamikbereich
- Auswechselbare Sensoren und Elektronik
- Optionaler kontinuierlicher Dynoden-Elektronenvervielfacher
- Scannt bis zu 200 amu
Vielseitige Prozessüberwachung von Hochvakuum bis Prozessdruck
- Idealer Halbleiter-Prozessmonitor
- Mehrdruck-Probenahmeeingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integrierte Differenzialpumpe
Prozessüberwachung im Zieldruckbereich
- Gezielte Hochdruckprozesse
- Einzelner Druck-Probenahme-Eingang
- Nachweisgrenze unter 1 ppm
- Integriertes Differenzialpumpsystem
Echtzeit-Leckerkennung und Endpunkt-Erkennung für kritische Prozessumgebungen
- Betriebsbereich von 10 mTorr bis 1 Torr
- Ausgezeichnete Nachweisgrenzen bis hinunter zu niedrigen ppm-Werten
- Langfristige Zuverlässigkeit: keine Pumpen erforderlich
- Einfache Installation über einen Standard KF25-Anschluss
Ermöglicht den Einsatz des Transpector CPM als mobiles Instrument zur Fehlersuche
- Flexibel genug, um einen Transpector CPM dorthin zu bringen, wo Sie ihn brauchen
- Eine kleine Stellfläche, die auch in enge Räume passt
- Ein komplettes System, das alles enthält, was für den Betrieb des Transpector CPM benötigt wird
QMG 700 Analytisches Massenspektrometer zum Durchbrechen von Nachweisgrenzen und zum Vorantreiben Ihres Prozesses auf die nächste Stufe der Innovation
- Massenbereichvarianten von 1-512 AMU
- Dynamischer Bereich über mehr als neun Messdekaden
- Extrem hohe Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
- MDPP < 10E-16 mbar