Sensoren & Durchführungen
SemiQCM® SR Sensoren für die Überwachung von Vorläuferstoffen
Wiederholbar exzellente Leistungen
Sichern und steigern Sie Ihren Gewinn mit präziser Raten- und Dickenüberwachung
Der SemiQCM SR-Sensor ist eine Komponente eines Systems zur Precursor-Überwachung. Die anderen Komponenten sind ein IMM-200 und FabGuard (Version 19.12.00-a oder höher).
Semi Process Monitoring kann in Halbleiteranwendungen zur Endpunkterkennung und Fehlerbeseitigung eingesetzt werden, indem die Menge an Precursor in der Vorleitung oder im Kammerauslass überwacht wird. Der Einsatz eines in situ QCM ermöglicht eine kostengünstige Prozessüberwachung und eine verbesserte Rentabilität des Halbleiterprozesses.
Das Versagen der Versorgung eines Wafers mit Precursor kann bereits bei einem einzigen Wafer erkannt werden.
Merkmale
- QCM-Daten werden mit 10 Hz überwacht
- FabGuard korreliert die QCM-Daten mit dem Werkzeugzustand und dem Prozessschritt
- Präzise Messung von Abscheide- oder Ätzraten
- Empfindlichkeit und Präzision für die Messung der Sub-Monolayer-Dicke
Vorteile
- Prozessüberwachung in Echtzeit, in situ
- Verhindern Sie Überätzung, identifizieren Sie den Endpunkt der Kammerreinigung
- Identifizieren Sie Fehler in der Ausrüstung oder im Prozess
Typische Anwendungen
- Halbleiterherstellung
Downloads
Sprache auswählen
Anwendungshinweise
Das Produkt wird in folgendem Markt verwendet
