Trigon™ BCG552
ATM a TripleGauge® de ultra alto vacío
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El TripleGauge® BCG552 combina 3 elementos sensores de vacío en una sola brida sensora. Este buque insignia de la nueva familia TrigonTM ofrece un rango de medición extremadamente amplio, desde UHV (5 x10-10) hasta ATM (1500 mbar). Con su sensor ATM añadido, el BCG552 está predestinado a la medición de presión diferencial y al uso como vacuostato en diversas aplicaciones.
El doble filamento Bayard-Alpert soportado ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores en el rango UHV y HV, mientras que el medidor de diafragma de capacitancia miniaturizado es de una precisión superior en el rango ATM e independiente del tipo de gas.
Ventajas
- 3 + 1 elementos sensores para un rango de medición extremadamente amplio, reducción de costes y ahorro de espacio.
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert.
- La medición de la presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases.
- La medición de la presión diferencial elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica.
- El ajuste automático del Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario.
- Electrónica con aislamiento galvánico para evitar corrientes parásitas eléctricas.
- Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar la corriente de emisión.
- Relés de punto de consigna.
- Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario.
- Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT.
- Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x.
- Compatible con TripleGauge® BCG450.
- Conformidad con RoHS.
Aplicaciones tipicas
- Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores.
- Recubrimiento industrial.
- Medición y control del vacío en general en sistemas de bajo a ultra alto vacío.
Especificaciones
| Campo de medida (aire, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1500 mbar |
| Precisión | |
| 950 ... 1050 mbar | ±2.5% de lectura |
| 50 ... 950 mbar | ±5% de lectura |
| 1 × 10-8 … 50 mbar | ±15 de lectura |
| Repetibilidad | 5% de lectura, 1 × 10-8 … 1050 mbar (tras 10 min. de estabilización). |
| Materiales expuestos al vacío | Acero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno. |
Número de parte
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 354-423 | BCG552 Cabezal sensor de repuesto, KF25 |
| 354-424 | BCG552 Cabezal sensor de repuesto, CF40 |
