Vacuómetro de ionización en caliente

Trigon™ BPG552

ATM a ultra alto vacío DualGauge

BPG552-Trigon
Opciones Drop-in

¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Para aplicaciones que requieren un rango de medida desde UHV (5 x10-10) hasta ATM (1000 mbar) la familia Trigon™ contiene el medidor de doble tecnología BPG552. El BPG552 consta tanto de un elemento sensor de ionización en caliente Bayard-Alpert como de un elemento sensor Pirani clásico, robusto y fiable. El filamento dual Bayard-Alpert compatible ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores.

VacXplor™ Software

VacXplor, nuestro software de usuario modular, está diseñado para mejorar su experiencia con los medidores Trigon de INFICON. VacXplor ofrece una interfaz unificada, visualización dinámica de datos y opciones avanzadas de personalización, todo ello sin necesidad de derechos de administrador para su instalación.

Descargue VacXplor™ aquí
Icon - VacXplor 1
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Ventajas

  • DualGauge (2 elementos sensores) para un amplio rango de medición, reducción de costes y ahorro de espacio
  • 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
  • Protección de enclavamiento Pirani para evitar el quemado prematuro del filamento
  • El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
  • Electrónica aislada galvánicamente para evitar corrientes parásitas eléctricas
  • Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar el flujo de emisión
  • Horneabilidad ampliada gracias a los chips de datos de calibración extraíbles
  • Relés de punto de consigna
  • Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario
  • Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT
  • Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x
  • Compatible con BPG402
  • Conformidad con RoHS

Aplicaciones tipicas

  • Medición de la presión en procesos de semiconductores
  • Recubrimiento industrial
  • Medición y control general del vacío en sistemas de vacío bajo a ultraalto

Especificaciones

Campo de medida (aire, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 1000 mbar
Precisión 
1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar ±15 de lectura
1 x 10-2 mbar … 1000 mbar           ±30% de lectura
Repetibilidad5% de lectura, 10-8 …  10-2 mbar (tras 10 min. de estabilización)
Materiales expuestos al vacíoacero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno

Número de parte

BPG552 Ordering Information
BPG552 Ordering Information

Número de parte

Número de parteDescripción
354-420  BPG552 Cabezal sensor de repuesto, KF25
354-421BPG552 Cabezal sensor de repuesto, CF40
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

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La industria de semiconductores abarca el diseño, fabricación, montaje y prueba de circuitos integrados para su uso en procesamiento de datos, comunicaciones, electrónica de consumo, automoción y aeroespacial. Los fabricantes de herramientas para semiconductores desarrollan y venden herramientas para la fabricación de componentes microelectrónicos.

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IDM y fundición de semiconductores

Sensores adaptados para una amplia gama de aplicaciones, que garantizan la seguridad del producto, un mayor rendimiento y la máxima productividad.

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Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos. 

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Fabricación industrial

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