Vacuómetro de ionización en caliente
Trigon™ BPG552
ATM a ultra alto vacío DualGauge
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Para aplicaciones que requieren un rango de medida desde UHV (5 x10-10) hasta ATM (1000 mbar) la familia Trigon™ contiene el medidor de doble tecnología BPG552. El BPG552 consta tanto de un elemento sensor de ionización en caliente Bayard-Alpert como de un elemento sensor Pirani clásico, robusto y fiable. El filamento dual Bayard-Alpert compatible ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores.
Ventajas
- DualGauge (2 elementos sensores) para un amplio rango de medición, reducción de costes y ahorro de espacio
- 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
- Protección de enclavamiento Pirani para evitar el quemado prematuro del filamento
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- Electrónica aislada galvánicamente para evitar corrientes parásitas eléctricas
- Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar el flujo de emisión
- Horneabilidad ampliada gracias a los chips de datos de calibración extraíbles
- Relés de punto de consigna
- Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario
- Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT
- Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x
- Compatible con BPG402
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones tipicas
- Medición de la presión en procesos de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control general del vacío en sistemas de vacío bajo a ultraalto
Especificaciones
| Campo de medida (aire, O2, CO, N2) | 5 × 10-10 … 1000 mbar |
| Precisión | |
| 1 × 10-8 … 1 x 10-2 mbar | ±15 de lectura |
| 1 x 10-2 mbar … 1000 mbar | ±30% de lectura |
| Repetibilidad | 5% de lectura, 10-8 … 10-2 mbar (tras 10 min. de estabilización) |
| Materiales expuestos al vacío | acero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno |
Número de parte
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 354-420 | BPG552 Cabezal sensor de repuesto, KF25 |
| 354-421 | BPG552 Cabezal sensor de repuesto, CF40 |
Descargas
Folletos
El producto se utiliza en los siguientes mercados
