Medidores de ionización en caliente

BPG400

Indicador De Atmósfera A Vacío Ultraelevado 

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
Request
Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El indicador combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG400, funciona como dos indicadores en una sola unidad compacta y realiza mediciones desde los 5×10-10 mbar hasta 1 atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera). La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, de la configuración y de la integración. Seleccione el BPG400 para realizar procesos repetibles y asequibles a fin de realizar mediciones de la presión base en un paquete económico.

Ventaja

  • Rango de mediciones extremadamente amplio, desde los 5×10-10 mbar hasta una atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta 1 atmósfera)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
  • El interbloqueo Pirani protege el sistema Bayard-Alpert del desgaste prematuro de los filamentos y de un exceso de contaminación causado por el funcionamiento a alta presión
  • Filamento de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
  • Están disponibles una interfaz de bus de campo y una pantalla gráfica opcional
  • El ajuste Pirani automático de alto vacío reduce las intervenciones del operador
  • Cumplimiento de la normativa RoHS
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado

Aplicaciones típicas

  • Medición de presión en procesos de semiconductores y cámaras de transferencia
  • Revestimiento industrial
  • Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado

Especificaciones

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange with extension°C150
Bakeout at flange without extension°C80
Bakeout electronics removed°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Descargue aquí las especificaciones completas
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
Número de parteDescripción
353-500BPG400 DN 25 ISO-KF
353-501BPG400 LCD, DN 25 ISO-KF
353-502BPG400 DN 40 CF-R
353-503BPG400 LCD, DN 40 CF-R
353-505BPG400-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-506BPG400-SP PBus, DN 40 CF-R
353-507BPG400-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-508BPG400-SD DNet, DN 40 CF-R
Número de parteDescripción
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-510100 mm sensor extension tube
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Número de parteDescripción
354-490Spare sensor head BPG400, DN 25 ISO-KF
354-491Spare sensor head BPG400, DN 40 CF-R
354-498Spare electronic BPG400 without Display
354-499Spare electronic BPG400 with Display

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