Vacuómetro de ionización en caliente

Trigon™ BAG552

Vacío de medio a ultra alto Monogrueso

BPG552-Trigon
Opciones Drop-in

¡Revolucione su experiencia de medidores de vacio con nosotros!

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Para aplicaciones que requieren una tecnología de medidor de iones calientes independiente, la familia Trigon™ contiene el medidor de iones calientes Bayard-Alpert BAG552 de tecnología única.

El BAG552 está diseñado para la medición en vacío de gases en el rango de presión de 5 × 10-10 ... 2 × 10-2 mbar. El filamento doble soportado ofrece una precisión, repetibilidad y longevidad superiores. El BAG552 también puede funcionar junto con el controlador de vacuómetros INFICON de las series VGC501, VGC502, VGC503.

VacXplor™ Software

VacXplor, nuestro software de usuario modular, está diseñado para mejorar su experiencia con los medidores Trigon de INFICON. VacXplor ofrece una interfaz unificada, visualización dinámica de datos y opciones avanzadas de personalización, todo ello sin necesidad de derechos de administrador para su instalación.

Descargue VacXplor™ aquí
Icon - VacXplor 1
Icon - VacXplor 1

Ventajas

  • Sistema de medición Bayard-Alpert puro para un amplio rango de medición UHV y HV
  • 2 filamentos para el sistema Bayard-Alpert
  • Electrónica aislada galvánicamente para evitar corrientes parásitas eléctricas
  • Modo de emisión deslizante para evitar saltos de presión y congelaciones al cambiar el flujo de emisión
  • Mayor capacidad de horneado gracias a los chips de datos de calibración extraíbles
  • Relés de punto de consigna
  • Pantalla OLED brillante y grande (giratoria 90°) con interfaz de usuario
  • Salida analógica, interfaz serie RS232C, EtherCAT
  • Utilizable junto con la serie de controladores VGC50x
  • Conformidad con RoHS

Aplicaciones tipicas

  • Medición de la presión en procesos de semiconductores
  • Recubrimiento industrial
  • Medición y control general del vacío en sistemas de alto a ultra alto vacío

Especificaciones

Campo de medida (aire, O2, CO, N2)5 × 10-10 … 2 × 10-2 mbar
Precisión 
1 × 10-8 … 2 × 10-2 mbar±15 de lectura
Repetibilidad5% de lectura, 10-8 … 2 × 10-2 mbar (tras 10 min. de estabilización)
Materiales expuestos al vacíoacero inoxidable, NiFe, niquelado, Hastelloy, vidrio, iridio, óxido de itrio (Y2O3), Ni, tungsteno

Número de parte

BAG552 Ordering Information
BAG552 Ordering Information

Número de parte

Número de parteDescripción
352-420BAG552 Cabezal sensor de repuesto, 25KF
352-421BAG552 Cabezal sensor de repuesto, 40CF
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

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IDM y fundición de semiconductores

Sensores adaptados para una amplia gama de aplicaciones, que garantizan la seguridad del producto, un mayor rendimiento y la máxima productividad.

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Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos. 

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Fabricación industrial

La industria manufacturera se encarga de la fabricación de productos destinados al uso industrial. El vacío se utiliza más a menudo para garantizar un entorno limpio y es necesario para varios procesos, ya que sin vacío no funcionan.

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