Vacuómetro de ionización en caliente

BPG402-Sx

ATM a vacuómetro de ultra alto vacío

Precios y Disponibilidad
Pirani-BAG402-BPG400-BPG402
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Más Flexibilidad. Mejor estabilidad.

Modo de emisión deslizante, chip de calibración extraíble, electrónica con aislamiento galvánico, pantalla OLED opcional (giratoria 90°) y mucho más.
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El medidor combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG402-S, funciona como dos medidores en una sola unidad compacta que mide de 5×10-10 mbar a atmósfera (3,8×10-10 Torr a atmósfera).

La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, la configuración y la integración. Elija el BPG402-S con dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio para obtener mediciones de presión de proceso a base asequibles y repetibles en un paquete económico. Los elementos sensores con datos de calibración incorporados garantizan una alta reproducibilidad al intercambiar los sensores.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

  • Rango de medición extremadamente amplio desde 5×10-10 mbar hasta la atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5%.
  • El enclavamiento Pirani protege el filamento de un quemado prematuro
  • Dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio de larga duración
  • Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
  • El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
  • Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración incorporados que garantizan una alta reproducibilidad
  • Conformidad con RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en cámaras de proceso y transferencia de semiconductores
  • Recubrimiento industrial
  • Medición y control del vacío general en el rango de vacío bajo a ultraalto

Especificaciones

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S°C80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Descargue aquí las especificaciones completas

Información para pedidos

Producto
Piezas de recambio
Accesorios
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-570
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-571
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-572
BPG402-S BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-573
BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-574
BPG402-SP BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-575
BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-576
BPG402-SD BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R.
353-577
BPG402-SL BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-578
BPG402-SE BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-590
BPG402-SE BA Pirani Gauge; DN 25 ISO-KF
353-596
BPG402-SE BA Pirani Gauge; DN 40 CF-R
353-597
BPG402 Spare measurement system DN25 KF
354-494
BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
354-495
BPG402 Spare measurement system DN25 KF
354-494
BPG402 Spare measurement system DN40CF-R
354-495
Centering ring with baffle DN 25 KF
211-113
15DSub Power Supply for BxG w/RS232
353-511
Baffle for BxG4xx/5xx
353-512

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