Vacuómetro de ionización en caliente

BPG402-Sx

ATM a vacuómetro de ultra alto vacío

Pirani-BAG402-BPG400-BPG402

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El medidor combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG402-S, funciona como dos medidores en una sola unidad compacta que mide de 5×10-10 mbar a atmósfera (3,8×10-10 Torr a atmósfera).

La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, la configuración y la integración. Elija el BPG402-S con dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio para obtener mediciones de presión de proceso a base asequibles y repetibles en un paquete económico. Los elementos sensores con datos de calibración incorporados garantizan una alta reproducibilidad al intercambiar los sensores.

También disponible con interfaz digital EtherCAT.

Ventajas

  • Rango de medición extremadamente amplio desde 5×10-10 mbar hasta la atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera)
  • Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5%.
  • El enclavamiento Pirani protege el filamento de un quemado prematuro
  • Dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio de larga duración
  • Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
  • El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
  • Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración incorporados que garantizan una alta reproducibilidad
  • Conformidad con RoHS

Aplicaciones típicas

  • Medición de la presión en cámaras de proceso y transferencia de semiconductores
  • Recubrimiento industrial
  • Medición y control del vacío general en el rango de vacío bajo a ultraalto

Especificaciones

Measurement range (air, O2, CO, N2)mbar
Torr
5×10-10 … 1000
3.8×10-10 … 750
   
Accuracy  
10-8 … 10-2 mbar% of reading±15
   
Repeatability  
10-8 … 10-2 mbar% of reading5
   
Temperature  
Operation (ambient)°C0 … +50
Storage°C-20 … +70
Bakeout at flange without electronics BPG402-S°C80
Bakeout at flange without electronics BPG402-SL°C150
   
Supply voltageV (dc)
A (dc)
+20 … +28
≤0.8
   
Materials exposed to vacuum Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass
Descargue aquí las especificaciones completas
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
Número de parteDescripción
353-570BPG402-S DN 25 ISO-KF
353-571BPG402-S DN 40 CF-R
353-572BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF
353-573BPG402-S LCD, DN 40 CF-R
353-578BPG402-SL long tube DN 40 CF-R
353-574BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF
353-575BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R
353-576BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF
353-577BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R
353-590BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-591BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
353-596BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF
353-597BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R
Número de parteDescripción
353-511Power supply BPG400 24VDC
353-512Baffle for BPG400
211-113Centering ring with baffle DN 25 KF
Número de parteDescripción
354-494Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF
354-495Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R

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