Vacuómetro de ionización en caliente
BPG402-Sx
ATM a vacuómetro de ultra alto vacío
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El medidor combinado Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BPG402-S, funciona como dos medidores en una sola unidad compacta que mide de 5×10-10 mbar a atmósfera (3,8×10-10 Torr a atmósfera).
La combinación de tecnologías reduce la complejidad de la instalación, la configuración y la integración. Elija el BPG402-S con dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio para obtener mediciones de presión de proceso a base asequibles y repetibles en un paquete económico. Los elementos sensores con datos de calibración incorporados garantizan una alta reproducibilidad al intercambiar los sensores.
También disponible con interfaz digital EtherCAT.
Ventajas
- Rango de medición extremadamente amplio desde 5×10-10 mbar hasta la atmósfera (3,8×10-10 Torr hasta la atmósfera)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de proceso de 10-8 ... 10-2 mbar del 5%.
- El enclavamiento Pirani protege el filamento de un quemado prematuro
- Dos filamentos de iridio recubiertos de óxido de itrio de larga duración
- Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración incorporados que garantizan una alta reproducibilidad
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones típicas
- Medición de la presión en cámaras de proceso y transferencia de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control del vacío general en el rango de vacío bajo a ultraalto
Especificaciones
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1000 3.8×10-10 … 750 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-S | °C | 80 |
| Bakeout at flange without electronics BPG402-SL | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Pt, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, stainless steel, glass |
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 353-570 | BPG402-S DN 25 ISO-KF |
| 353-571 | BPG402-S DN 40 CF-R |
| 353-572 | BPG402-S LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-573 | BPG402-S LCD, DN 40 CF-R |
| 353-578 | BPG402-SL long tube DN 40 CF-R |
| 353-574 | BPG402-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-575 | BPG402-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-576 | BPG402-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-577 | BPG402-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-590 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-591 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-596 | BPG402-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-597 | BPG402-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| Número de parte | Descripción |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| Número de parte | Descripción |
| 354-494 | Spare sensor head BPG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-495 | Spare sensor head BPG402 DN 40 CF-R |
Descargas
Folletos
Manuales
TIRB53e1_BPG402_Communication protocol EtherCAT_New Generation
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Manual de instrucciones
TIMA46D1_BPG402 Gebrauchsanleitung_kurz
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Manual de instrucciones
TIMA47D1_BPG402 Gebrauchsanleitung (Feldbus Versionen)_kurz
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Alemán
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Manual de instrucciones
TINA46D1_BPG402 (alle Versionen) Gebrauchsanleitung_lang
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Alemán
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Manual de instrucciones
TIMA46E1_BPG402 Operating manual_short.pdf
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Manual de instrucciones
TIMA47E1_BPG402 Operating manual (Fieldbus Versions)_short
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Inglesa
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Manual de instrucciones
TINA46E1_BPG402 (all versions) Operating manual_long
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1,3 MB
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Manual de instrucciones
TIRA46E1_BPG402 Communication Protocol DeviceNET
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Manual de instrucciones
TIRA47E1_BPG402 Communication Protocol ProfiBUS
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Manual de instrucciones
TIRA93E1_BPG402_Comunication protocol EtherCAT
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Manual de instrucciones
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353-570 BPG402-S DN 25 ISO-KF
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353-571 BPG402-S DN 40 CF-R
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353-572 BPG402-S LCD DN 25 ISO-KF
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353-573 BPG402-S LCD DN 40 CF-R
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353-574 BPG402-SP PROFIBUS DN 25 ISO-KF
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353-575 BPG402-SP PROFIBUS DN 40 CF-R
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353-576 BPG402-SD DNET DN 25 ISO-KF
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353-577 BPG402-SD DNET DN 40 CF-R
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353-578 BPG402-SL long-tube DN 40 CF-R
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353-590 BPG402-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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353-591 BPG402-SE EtherCAT 40 CF-R
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