Medidores de ionización en caliente
BAG402
Indicador De Vacío De Vacío Medio A Ultraelevado
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El indicador único de iones calientes Bayard-Alpert de INFICON BAG402 cubre una amplia gama de medidas desde 5×10-10 mbar a 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr). Seleccione el dispositivo BPG402 de INFICON para llevar a cabo procesos repetibles y asequibles con el fin de realizar mediciones de la presión base en un paquete de indicador activo compacto. Sus filamentos duales exclusivos ofrecen gran precisión, estabilidad y duración.
Ventajas
- Las medidas oscilan entre 5×10-10 mbar y 2,7×10-2 mbar (3,75×10-10 Torr a 5×10-2 Torr)
- Excelente repetibilidad en el rango de presión de procesos desde 10-8 hasta 10-2 mbar del 5%
- La detección de presión excesiva protege el filamento del desgaste prematuro
- Dos filamentos de iridio revestido de óxido de itrio de larga duración
- La selección automática de corriente de emisión reduce la complejidad del control
- Los elementos sensores fáciles de sustituir y con datos de calibración integrados garantizan una reproducibilidad elevada
- Cumplimiento de la normativa RoHS
Aplicaciones típicas
- Medición de presión en procesos de semiconductores y cámaras de transferencia
- Revestimiento industrial
- Medición general de vacío y control en los rangos de vacío bajo y vacío ultra elevado
Especificaciones
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 2.7×10-2 3.75×10-10 5×10-2 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | ±15 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange without electronics | °C | 80 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | +20 … +28 ≤0.8 |
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| 353-600 | BAG402 DSUB9 KF25 |
| 353-601 | BAG402 DSUB9 CF40 |
| 303-333 | Diagnostic cable 1.9m (P3) |
| 354-484 | Spare sensor head BAG402 DN 25 ISO-KF |
| 354-485 | Spare sensor head BAG402 DN 40 CF-R |
Descargas
Manual
El producto se utiliza en los siguientes mercados
