Controladores

Cygnus® 2

La máxima precisión posible en las mediciones para aplicaciones OLED

El controlador de deposición de película delgada Cygnus 2 proporciona un valor excepcional mediante la combinación del rendimiento demostrado de los controladores de película delgada de INFICON con características exclusivas diseñadas para que saque el máximo rendimiento al proceso OLED. Cygnus 2 utiliza nuestro sistema de medición de frecuencia ModeLock para ofrecer mediciones de grosor y velocidad estables y de alta resolución con un excelente estándar de 0,00433 /s cada 1/10 segundos. No existe ningún controlador de cristal de cuarzo que iguale en rendimiento, calidad y características al Cygnus 2, que le permite convertir la excelencia en una cualidad constante.

Características

La tecnología ModeLock de INFICON garantiza la medición de grosor y velocidad más estable y con la mayor resolución posible, incluso a velocidades muy bajas.
Auto Z (coeficiente de impedancia acústica) mejora la precisión del grosor al determinar automáticamente el coeficiente de impedancia acústica cuando se coloca el material
Permite controlar hasta seis fuentes de forma simultánea, independientemente o en cualquier combinación, con un solo Cygnus 2, por lo que ya no necesitará dos o tres controladores
La pantalla TFT LCD en color facilita la visualización del proceso
Medición de 10 Hz
+/-0,0035 Hz en muestras de 100 ms
Almacenamiento de datos USB para instantáneas, fórmulas y registro de datos
Recopilación de grosor de varias fuentes
Media de tasas de medición para materiales de densidad baja y velocidad muy baja (hasta 30 segundos en fuentes estables para la deposición de materiales impurificadores OLED de velocidad muy baja)
Resolución de velocidad de visualización máxima de 0,001Å
La opción XIU de 4 metros permite utilizar cables largos de sensor de vacío para sistemas grandes
El control sin depósito permite controlar las fuentes continuamente, a medida que se colocan sustratos en la cámara de deposición
6 salidas DAC estándar, 6 salidas opcionales adicionales para el control de fuentes y el seguimiento de grosor o velocidad
Comunicación Ethernet opcional
Cumplimiento de la normativa RoHS

Especificaciones

Rendimiento de medición
Medición/resolución de velocidad y grosor (1)	±0.00433 Å
Rango de frecuencia de medición	6.0 to 4.5 MHz (fixed)

Fórmula de proceso y gestión de datos
Programas de materiales	6 independent materials

Número de fuentes (2)	up to 6

(1) Herramientas / densidad = 100/1, frecuencia fundamental = 6 MHz (2) Cygnus 2 tiene 6 salidas DAC estándar y se pueden añadir 6 más de forma opcional. Cualquiera de las 12 se puede configurar como voltajes de control de fuente o salidas del registrador; no obstante, solo se pueden controlar seis fuentes de forma simultánea

Número de parte

Accesorios

Accesorios y piezas de repuesto

Consumibles

Nombre	Descripción
Front Load Single Sensor	Front Load Single Sensor
Front Load Dual Sensor	Front Load Dual Sensor
Cool Drawer Single Sensor	Cool Drawer Single Sensor
Cool Drawer Dual Sensor	Cool Drawer Dual Sensor
Low Profile Single Sensor	Low Profile Single Sensor
Easy Rate Dual Sensor	Easy Rate Dual Sensor
Low Profile Dual Sensor	Low Profile Dual Sensor
ALD Sensor	ALD Sensor
UHV Bakeable Sensor	UHV Bakeable Sensor
Sputtering Sensor	Sputtering Sensor
CrystalSix® Sensor	CrystalSix® Sensor
Crystal 12® Sensor	Crystal 12® Sensor
Easy Rate Single Sensor	Easy Rate Single Sensor
RSH-600 Rotary Sensor	RSH-600 Rotary Sensor

Número de parte	Descripción
779-220-G1	CrystalTwo® Switch, 15.2 cm (6 in.) BNC Cables
779-220-G2	CrystalTwo® Switch, 50.8 cm (20 in.) BNC Cables
Oscillator kits	(Includes oscillator and cables)
781-611-G15	XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G30	XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G50	XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-611-G100	XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G50	4 m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-612-G100	4m XIU with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 4 m in-vacuum cable and 6 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G15	4m XIU PKG with 4.6 m (15 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G30	4m XIU PKG with 9.1 m (30 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G50	4m XIU PKG with 15.2 m (50 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-613-G100	4m XIU PKG with 30.5 m (100 ft.) XIU cable - Includes 3.5 m in-vacuum cable and 20 in. BNC (XIU to feedthrough) cable - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
Oscillator Only	(No cables included)
781-600-G1	XIU (oscillator) - For XIU to sensor head cable lengths of 15 to 183 cm (6 to 72 in.) - For use with Cygnus 2, IC6, or XTC/3
781-600-G2	XIU (oscillator) - for XIU to sensor head cable lengths of 3 to 4 m (118 to 157 in.) - For use with Cygnus 2 or IC6
Cables
755-257-G6	15.2 cm (6 in.) BNC cable, XIU to vacuum feedthrough
600-1261-P15	4.6 m (15 ft.) cable, Cgynus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P30	9.1 m (30 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P50	15.2 m (50 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU
600-1261-P100	30.5 (100 ft.) cable, Cygnus 2, IC6 or XTC/3 controller to XIU