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IMM-100

Repetir la excelencia

IMM-100

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Proteja y aumente sus beneficios con una supervisión precisa de la velocidad y el espesor

IMM-100 es un monitor de deposición construido con tecnología ModeLock para maximizar la reproducibilidad y uniformidad con la mayor precisión de espesor, la mejor resolución de medición y el menor ruido de tasa.

Con el oscilador incorporado, IMM-100 puede integrarse fácilmente en un sistema EtherCAT con un hardware y una huella mínimos. Este potente y preciso monitor de medición aportará un nuevo nivel de rendimiento a su proceso.

Características

  • La tecnología INFICON ModeLock proporciona la mayor vida útil del cristal y garantiza la medición de espesores más estable y de mayor resolución disponible, incluso a velocidades muy bajas
  • Maximice el rendimiento con la mejor medición de espesor QCM posible
  • Monitor de velocidad y espesor de un solo canal sin funciones añadidas innecesarias para minimizar el coste
  • ±0,0035 Hz en muestras de 100 ms
  • Comunicaciones EtherCAT para una integración perfecta
  • Tamaño compacto para minimizar los costes de integración ahorrando espacio en la herramienta
  • Soporte de aplicación experto, capaz de discutir las necesidades de aplicación únicas y dar mayor soporte que la competencia
  • Cumple la directiva RoHS

Aplicaciones típicas

  • Aplicaciones OLED

Especificaciones

Entradas de sensores1
Rango de frecuencia de medición6,0 a 4,5 MHz (fijo)
Resolución de velocidad y espesor0,0042 Å (cristal nuevo); 0,0076 Å (cristal @ 4,5 MHz) sobre muestra de 100 ms para densidad de material = 1,0, Relación Z = 1,0
Tipo de comunicaciónEtherCAT, 2 tomas RJ45, admite la conexión en cadena de datos. Identificación explícita del dispositivo mediante conmutadores
Número de parte
Accesorios
Consumibles
Número de parteDescripción
785-200-G1IMM-100 Unit
785-600-G1IMM-100 Thin Film Deposition Monitor
Número de parteDescripción
Optional Power SuppliesThe power supplies listed below are rated for an input of 100 to 249 V (ac), 2 A, 50 to 60 Hz with an output of 24V (dc), 3.34 A, 80 W maximum.
961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G7Power Supply Kit IL 240V
961-021-G8Power Supply Kit IL 4.5 M Extension
961-021-G9Power Supply Kit IL 9.0 M Extension
961-021-G10Power Supply Kit UK 240V
961-021-G11Power Supply Kit UK 4.5 M Extension
961-021-G12Power Supply Kit UK 9.0 M Extension
Optional Mounting Bracket 
785-202-G1Mounting bracket with four clean room compatible shock absorbing, female-to-female, stainless steel mounting feet
785-201-G1Mounting bracket with four shock absorbing, male-to-female, black Neoprene rubber mounting feet
Optional Communications Cable 
600-1190-P1ETHERNET COMUNICATION CABLE 1 METER
600-1190-P2SPEC- ETHERNET COMMUNICATION CABLE .3M
600-1190-P4ETHERNET COMUNICATION CABLES 4.3 METER
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
NombreDescripción
Quartz Monitor CrystalsQuartz Monitor Crystals
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