Pirani-Messgeräte

PSG50x & PSG51x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Preise und Verfügbarkeit

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
Platzsparendes, robustes Design
Aluminiumgehäuse
Montage in beliebiger Position
Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
Bei 250 °C ausheizbare Version
Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
Optionale Sollwerte
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
Vorvakuum-Drucküberwachung
Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PSG500 tungsten

PSG500-S tungsten, setpoints

PSG502-S nickel, setpoints

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	±15%
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading	±50%
100 … 1000 mbar	% of reading	±50%

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte		none
Einstelungsbereich	mbar	‒
Hysterese	% of reading	‒
Relaiskontakt		‒
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	‒

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

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PSG50x & PSG51x Datasheet

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PSG50x & PSG51x Datasheet

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PSG50x & PSG51x Datenblatt

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PSG50x & PSG51x Ficha técnica

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PSG50x & PSG51x データシート

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PSG50x & PSG51x 数据表

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PSG50x & PSG51x 데이터시트

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Handbücher

PSG50x & PSG51x Gebrauchsanleitung

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PSG50x & PSG51x Operating Manual

pdf • 1.018,1 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

PSG50x & PSG51x Gebrauchsanleitung

pdf • 274,1 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

PSG50x & PSG51x Installationsanleitung

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PSG50x & PSG51x Operating Manual

pdf • 270,9 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

3D Dateien

PSG500 3D 1/2" Tube

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PSG500 3D 1/8" NPT

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PSG500 3D 16CF-R

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PSG500 3D 16CF-R Long Tube

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PSG500 3D 16KF

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PSG500 3D 16KF Long Tube

zip • 281,0 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 4-VCR

zip • 278,4 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 7/16-20 UNF

zip • 277,9 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 8-VCR

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PSG500 3D G1/8"

stp • 2,2 MB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 1/2" Tube

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PSG500-S 3D 1/8" NPT

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PSG500-S 3D 16CF-R

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PSG500-S 3D 16CF-R Long Tube

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PSG500-S 3D 16KF

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PSG500-S 3D 16KF Long Tube

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PSG500-S 3D 4-VCR

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PSG500-S 3D 7/16-20 UNF

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PSG500-S 3D 8-VCR

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PSG502-S 3D 1/2" Tube

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PSG502-S 3D 1/8" NPT

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PSG502-S 3D 16CF-R

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PSG502-S 3D 16CF-R Long Tube

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PSG502-S 3D 16KF

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PSG502-S 3D 16KF Long Tube

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PSG502-S 3D 4-VCR

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PSG502-S 3D 7/16-20 UNF

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PSG502-S 3D 8-VCR

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