Pirani-Messgeräte

PSG50x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
Platzsparendes, robustes Design
Aluminiumgehäuse
Montage in beliebiger Position
Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
Bei 250 °C ausheizbare Version
Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
Optionale Sollwerte
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
Vorvakuum-Drucküberwachung
Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PSG500 tungsten

PSG500-S tungsten, setpoints

PSG502-S nickel, setpoints

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	±15%
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading	±50%
100 … 1000 mbar	% of reading	±50%

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte		none
Einstelungsbereich	mbar	‒
Hysterese	% of reading	‒
Relaiskontakt		‒
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	‒

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

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Artikelnummer

Zubehör

Ersatzteile

PSG500 tungsten

350-060	PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061	PSG500 1/8" NPT
350-062	PSG500 DN 16 CF-R
350-063	PSG500 1/2" Tube
350-064	PSG500 8-VCR (1/2")
350-065	PSG500 4-VCR (1/4")
350-066	PSG500 7/16-20 UNF
350-067	PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068	PSG500 DN 16 CF-R, ext. body

PSG500-S tungsten, setpoints

350-080	PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081	PSG500-S 1/8" NPT
350-082	PSG500-S DN 16 CF-R
350-083	PSG500-S 1/2" Tube
350-084	PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085	PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086	PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087	PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088	PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG502-S nickel, setpoints

350-140	PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141	PSG502-S 1/8" NPT
350-142	PSG502-S DN 16 CF-R
350-143	PSG502-S 1/2" Tube
350-144	PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145	PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146	PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147	PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148	PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

350-200	PSG510-S DN 16 ISO-KF

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

350-300	PSG512-S DN 16 ISO-KF

PSG500 tungsten

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG500-S tungsten, setpoints

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG502-S nickel, setpoints

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG500 tungsten

350-920	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921	PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923	PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924	PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925	PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926	PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG500-S tungsten, setpoints

350-920	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921	PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923	PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924	PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925	PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926	PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG502-S nickel, setpoints

350-900	PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901	PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902	PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903	PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904	PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905	PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906	PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907	PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908	PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

350-930	PSG510 Spare Sensor DN 16 KF

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

350-940	PSG512 Spare Sensor DN 16 KF

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Brochüren

tibb03e1 Pirani Family Brochure

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Handbücher

TINA44D1_Gebrauchsanleitung_kurz

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TINA44E1_Operating Manual_short

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3D Dateien

350-060 PSG500 DN 16 ISO-KF

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350-061 PSG500 1/8" NPT

zip • 271,2 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-062 PSG500 DN 16 CF-R

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350-063 PSG500 1/2" tube

zip • 265,9 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-064 PSG500 8 VCR®

zip • 279,6 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-065 PSG500 4 VCR®

zip • 278,4 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-066 PSG500 7/16-20 UNF

zip • 277,9 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-067 PSG500 DN 16 ISO-KF long tube

zip • 281,0 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-068 PSG500 DN 16 CF-R long tube

zip • 295,4 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-072 PSG500 G1/8"

stp • 2,2 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-080 PSG500-S DN 16 ISO-KF

zip • 319,0 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-081 PSG500-S 1/8" NPT

zip • 342,8 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-082 PSG500-S DN 16 CF-R

zip • 355,3 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-083 PSG500-S 1/2" tube

zip • 337,7 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-084 PSG500-S 8 VCR®

zip • 351,4 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-085 PSG500-S 4 VCR®

zip • 350,3 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-086 PSG500-S 7/16-20 UNF

zip • 349,7 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-087 PSG500-S DN 16 ISO-KF long tube

zip • 281,0 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-088 PSG500-S DN 16 CF-R long tube

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350-140 PSG502-S DN 16 ISO-KF

zip • 295,4 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-141 PSG502-S 1/8" NPT

zip • 342,8 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-142 PSG502-S DN 16 CF-R

zip • 355,3 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-143 PSG502-S 1/2" tube

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350-144 PSG502-S 8 VCR®

zip • 351,4 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-145 PSG502-S 4 VCR®

zip • 350,3 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-146 PSG502-S 7/16-20 UNF

zip • 349,7 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-147 PSG502-S DN 16 ISO-KF long tube

zip • 281,0 KB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

350-148 PSG502-S DN 16 CF-R long tube

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Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

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Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren.

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Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

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Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie

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Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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Vorteile

Typische Anwendungen

Technische Daten

Downloads

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