Pirani-Messgeräte

PSG50x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Pirani-PSG5XX

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

  • Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
  • Platzsparendes, robustes Design
  • Aluminiumgehäuse
  • Montage in beliebiger Position
  • Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
  • Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
  • 10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
  • Bei 250 °C ausheizbare Version
  • Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
  • Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
  • Optionale Sollwerte
  • RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

  • Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
  • Vorvakuum-Drucküberwachung
  • Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
  • Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PSG500 tungsten
PSG500-S tungsten, setpoints
PSG502-S nickel, setpoints
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading±15%
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading±50%
100 … 1000 mbar% of reading±50%
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der Schaltpunkte none
Einstelungsbereichmbar
Hysterese% of reading
Relaiskontakt 
Relaiskontakt: Schaltzeitms
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
MessbereichV+1.9 … +10.0
Genauigkeit (N2)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading 
5 x 10-4 … 1 x 10-3 mbar% of reading 
100 … 1000 mbar% of reading 
Wiederholbarkeit (air)  
1 x 10-3 … 100 mbar% of reading2%
Zulässige Temperatur  
Betrieb°C+5 … +60
Vakuumanschluss  (1)°C80 / 250 (2)
Lagerung°C-20 … +65
Versorgungsspannung  
An der MessröhreV (dc)+14 …+30
RippleV (p-p)≤1
StromverbrauchW≤1
Schaltpunkt  
Anzahl der SchaltpunkteNumber of setpoints2
Einstelungsbereichmbar2 x 10-3 … 500
Hysterese% of reading10% above lower threshold
Relaiskontakt 30
Relaiskontakt: Schaltzeitms<20
Werkstoffe gegen Vakuum AI2O3, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435
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Artikelnummer
Zubehör
Ersatzteile
PSG500 tungsten 
350-060PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061PSG500 1/8" NPT
350-062PSG500 DN 16 CF-R
350-063PSG500 1/2" Tube
350-064PSG500 8-VCR (1/2")
350-065PSG500 4-VCR (1/4")
350-066PSG500 7/16-20 UNF
350-067PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068PSG500 DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-080PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081PSG500-S 1/8" NPT
350-082PSG500-S DN 16 CF-R
350-083PSG500-S 1/2" Tube
350-084PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-140PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141PSG502-S 1/8" NPT
350-142PSG502-S DN 16 CF-R
350-143PSG502-S 1/2" Tube
350-144PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-200PSG510-S DN 16 ISO-KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-300PSG512-S DN 16 ISO-KF
PSG500 tungsten 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG502-S nickel, setpoints 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
211-001Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m
PSG500 tungsten 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG500-S tungsten, setpoints 
350-920PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG502-S nickel, setpoints 
350-900PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body
  
PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-930PSG510 Spare Sensor DN 16 KF
  
PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs 
350-940PSG512 Spare Sensor DN 16 KF

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