Pirani-Messgeräte

PSG50x & PSG51x

Messgerät für den Bereich von Atmosphärendruck bis mittelhohes Vakuum

Drop-in-Optionen

Revolutionieren Sie Ihre Vakuummessgeräte-Erfahrung mit uns!

Die Pirani-Standardmessgeräte PSG500, PSG502-S, PSG510-S und PSG512-S von INFICON sind mit der fortschrittlichsten Pirani-Digitaltechnologie ausgestattet, die auf dem Markt erhältlich ist. Die robuste Sensorzelle aus Edelstahl und das kompakte Design sind ideal für den Einsatz in Halbleitersystemen und für Standardanwendungen wie z. B. Vorvakuumleitungen.

Vorteile

Einfache Anpassung von ATM und HV über Drucktasten
Platzsparendes, robustes Design
Aluminiumgehäuse
Montage in beliebiger Position
Messzelle aus Edelstahl mit metallversiegelter Durchführung
Logarithmischer Signalausgang für einfache Integration
10 bar absoluter Überdruck mit Gewindeanschlüssen
Bei 250 °C ausheizbare Version
Optionale Ausführung mit Nickelfilament für korrosive Anwendungen
Keramische Durchführung für extrem korrosive Anwendungen (PSG510 und PSG512)
Optionale Sollwerte
RoHS-Konformität

Typische Anwendungen

Steuern von Hochvakuum-Ionisierungsmessröhren
Vorvakuum-Drucküberwachung
Sicherheitsstromkreise in Vakuumsystemen
Allgemeine Vakuummessung und -steuerung im Fein- und Grobvakuumbereich

Technische Daten

PSG500 tungsten

PSG500-S tungsten, setpoints

PSG502-S nickel, setpoints

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	±15%
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading	±50%
100 … 1000 mbar	% of reading	±50%

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte		none
Einstelungsbereich	mbar	‒
Hysterese	% of reading	‒
Relaiskontakt		‒
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	‒

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		glass, Ni, NiFe, DIN 1.4301 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

Messbereich	V	+1.9 … +10.0

Genauigkeit (N₂)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading
5 x 10^-4 … 1 x 10^-3 mbar	% of reading
100 … 1000 mbar	% of reading

Wiederholbarkeit (air)
1 x 10^-3 … 100 mbar	% of reading	2%

Zulässige Temperatur
Betrieb	°C	+5 … +60
Vakuumanschluss (1)	°C	80 / 250 ⁽²⁾
Lagerung	°C	-20 … +65

Versorgungsspannung
An der Messröhre	V (dc)	+14 …+30
Ripple	V (p-p)	≤1

Stromverbrauch	W	≤1

Schaltpunkt
Anzahl der Schaltpunkte	Number of setpoints	2
Einstelungsbereich	mbar	2 x 10^-3 … 500
Hysterese	% of reading	10% above lower threshold
Relaiskontakt		30
Relaiskontakt: Schaltzeit	ms	<20

Werkstoffe gegen Vakuum		AI₂O₃, Ni, DIN 1.3981 / 1.4305 / 1.4435

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Artikelnummer

Zubehör

Ersatzteile

PSG500 tungsten

350-060	PSG500 DN 16 ISO-KF.
350-061	PSG500 1/8" NPT
350-062	PSG500 DN 16 CF-R
350-063	PSG500 1/2" Tube
350-064	PSG500 8-VCR (1/2")
350-065	PSG500 4-VCR (1/4")
350-066	PSG500 7/16-20 UNF
350-067	PSG500 DN 16 ISO-KF, ext. body
350-068	PSG500 DN 16 CF-R, ext. body

PSG500-S tungsten, setpoints

350-080	PSG500-S DN 16 ISO-KF
350-081	PSG500-S 1/8" NPT
350-082	PSG500-S DN 16 CF-R
350-083	PSG500-S 1/2" Tube
350-084	PSG500-S 8-VCR (1/2")
350-085	PSG500-S 4-VCR (1/4")
350-086	PSG500-S 7/16-20 UNF
350-087	PSG500-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-088	PSG500-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG502-S nickel, setpoints

350-140	PSG502-S DN 16 ISO-KF
350-141	PSG502-S 1/8" NPT
350-142	PSG502-S DN 16 CF-R
350-143	PSG502-S 1/2" Tube
350-144	PSG502-S 8-VCR (1/2")
350-145	PSG502-S 4-VCR (1/4")
350-146	PSG502-S 7/16-20 UNF
350-147	PSG502-S DN 16 ISO-KF, ext. body
350-148	PSG502-S DN 16 CF-R, ext. body

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

350-200	PSG510-S DN 16 ISO-KF

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

350-300	PSG512-S DN 16 ISO-KF

PSG500 tungsten

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG500-S tungsten, setpoints

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG502-S nickel, setpoints

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

211-001	Clamping ring DN 10-16 ISO-KF
350-050	Power Supply, PxG5xx,G-Cable FCC,1.8m

PSG500 tungsten

350-920	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921	PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923	PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924	PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925	PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926	PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG500-S tungsten, setpoints

350-920	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF
350-921	PSG500 Spare Sensor 1/8" NPT
350-922	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-923	PSG500 Spare Sensor 1/2" Tube
350-924	PSG500 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-925	PSG500 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-926	PSG500 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-927	PSG500 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-928	PSG500 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG502-S nickel, setpoints

350-900	PSG502 Spare Sensor DN 16 KF
350-901	PSG502 Spare Sensor 1/8" NPT
350-902	PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R
350-903	PSG502 Spare Sensor 1/2" Tube
350-904	PSG502 Spare Sensor 8-VCR (1/2")
350-905	PSG502 Spare Sensor 7/16-20 UNF
350-906	PSG502 Spare Sensor 4-VCR (1/4")
350-907	PSG502 Spare Sensor DN 16 KF,ext.body
350-908	PSG502 Spare Sensor DN 16 CF-R,ext.body

PSG510-S tungsten, setpoints, ceramic feedthroughs

350-930	PSG510 Spare Sensor DN 16 KF

PSG512-S nickel, setpoints, ceramic feedthroughs

350-940	PSG512 Spare Sensor DN 16 KF

Downloads

Brochüren

Pirani Broschüre

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Datenblätter

PSG50x & PSG51x Datasheet

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PSG50x & PSG51x Datenblatt

pdf • 367,2 KB • Deutsch • Datenblätter

PSG50x & PSG51x Ficha técnica

pdf • 362,4 KB • Spanisch • Datenblätter

PSG50x & PSG51x データシート

pdf • 446,4 KB • Japanisch • Datenblätter

PSG50x & PSG51x 数据表

pdf • 421,7 KB • Chinesisch • Datenblätter

PSG50x & PSG51x 데이터시트

pdf • 355,0 KB • Koreanisch • Datenblätter

Handbücher

PSG50x & PSG51x Gebrauchsanleitung

pdf • 274,1 KB • Deutsch • Bedienungsanleitungen

PSG50x & PSG51x Installationsanleitung

pdf • 230,5 KB • Französisch, Deutsch, Englisch

PSG50x & PSG51x Operating Manual

pdf • 270,9 KB • Englisch • Bedienungsanleitungen

3D Dateien

PSG500 3D 1/2" Tube

zip • 265,9 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 1/8" NPT

zip • 271,2 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 16CF-R

zip • 284,1 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 16CF-R Long Tube

zip • 295,4 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 16KF

zip • 195,3 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 16KF Long Tube

zip • 281,0 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 4-VCR

zip • 278,4 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 7/16-20 UNF

zip • 277,9 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D 8-VCR

zip • 279,6 KB • 3D Dokumente

PSG500 3D G1/8"

stp • 2,2 MB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 1/2" Tube

zip • 337,7 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 1/8" NPT

zip • 342,8 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 16CF-R

zip • 355,3 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 16CF-R Long Tube

zip • 367,1 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 16KF

zip • 319,0 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 16KF Long Tube

zip • 281,0 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 4-VCR

zip • 350,3 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 7/16-20 UNF

zip • 349,7 KB • 3D Dokumente

PSG500-S 3D 8-VCR

zip • 351,4 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 1/2" Tube

zip • 337,7 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 1/8" NPT

zip • 342,8 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 16CF-R

zip • 355,3 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 16CF-R Long Tube

zip • 367,1 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 16KF

zip • 295,4 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 16KF Long Tube

zip • 281,0 KB • 3D Dokumente

PSG502-S 3D 4-VCR

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PSG502-S 3D 7/16-20 UNF

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PSG502-S 3D 8-VCR

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Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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Vorteile

Typische Anwendungen

Technische Daten

Artikelnummer

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