Kapazitätsmanometer

Edge® CDG045D2

45°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar

Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen.

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle.

Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

PVD, Etch, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar

500 ... 1 Torr / mbar

Genauigkeit (1)	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

Genauigkeit (1)	% of reading	0.15

Auflösung	percent FS	0.003

Ausgangssignal (analog)	V (dc)	0 … +10

Ansprechzeit (2)	ms	30

Werkstoffe gegen Vakuum		Aluminum oxide ceramic (AI₂O₃), stainless steel (AISI 316L ⁽³⁾)
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb (2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts (3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe

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Broschüren

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EtherCAT Brochure

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Datenblätter

Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar

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Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar ES

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Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar JA

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Edge CDG045D2 1 … 1000Torr/mbar KO

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Edge CDG045D2 1 … 1000 托 / 毫巴 ZH

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Edge CDG045D2 1 … 1000Torr / mbar DE

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Maßzeichnungen

CDG045D2 dimension drawing

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Handbücher

Manual Edge CDG045D2 CDG100D2 CN

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Manual Edge CDG045D2 CDG100D2

pdf • 758,2 KB • Englisch

Gebrauchsanleitung Edge CDG045D2 CDG100D2 DE

pdf • 766,1 KB • Deutsch

Communication protocol EtherCAT

pdf • 972,1 KB • Englisch

CDGxxxD Kommunikationsanleitung RS232C

pdf • 188,5 KB • Deutsch

CDGxxxD Communication manual RS232C

pdf • 187,4 KB • Englisch

Communication protocol EtherCAT new generation

pdf • 2,1 MB • Englisch

3D Step Files

CDG045D2_9DSUB_8-VCR female

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CDG045D2_4-VCR female_ECAT_II

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CDG045D2_4-VCR male_ECAT_II

stp • 11,0 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG045D2_9DSUB_16CF

stp • 5,4 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG045D2_9DSUB_tube

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CDG045D2_9DSUB_16KF

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CDG045D2_9DSUB_4-VCR female

stp • 5,4 MB • Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch

CDG045D2_9DSUB_4-VCR male

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CDG045D2_4-VCR male

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CDG045D2_4-VCR female

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Edge CDGxxxD2 16CF

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Edge CDGxxxD2 16CF EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 16KF

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Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 8VCR

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Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT

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Edge CDGxxxD2 tube

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Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT

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Andere

EtherCAT new generation ESI file CDG V2_0_0_0

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EtherCAT ESI file CDG V1_4_0_0

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Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet

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Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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