Kapazitätsmanometer

Edge® CDG045D2

45°C temperaturgesteuert, Skalenendwert 1 ... 1000 Torr / mbar

Edge-CDG025D2-CDG045D2-CDG100D2

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Das Edge™-Kapazitätsmembranmessgerät von INFICON bietet äußerst genaue Vakuummessungen in rauen Fertigungsumgebungen. 

Der bewährte, temperaturgesteuerte, korrosionsbeständige und ultrareine Keramiksensor bietet hervorragende Messbereichsstabilität über viele Jahre sowie modernste Nullpunktstabilität. Das Edge-Messgerät wird mit INFICONs patentierter Sensorabschirmung geliefert, die das Gerät vor unerwünschten Prozessnebenprodukten schützt. Die moderne Elektronik ermöglicht eine über einen breiten Bereich konfigurierbare Signalkonditionierung für alle Anwendungen sowie eine optionale EtherCAT™-Feldbus-Schnittstelle. 

Das innovative Heizkonzept ermöglicht die Berührung der Außenfläche und spart wertvollen Werkzeugbauraum. Das INFICON Edge ist das kleinste Vakuummessgerät seiner Art.

Vorteile

  • Kompakt, spart wertvollen Werkzeugplatz
  • Einfache Integration, EtherCAT, eine Vielzahl von Messbereichen und Flanschen, standardmäßig mit zwei Sollwerten
  • Einfacher Nullbefehl per Tastendruck oder Remotesignal, Nullpunktverschiebung einstellbar
  • Diagnoseanschluss für schnelle Wartungsarbeiten
  • Zwei Jahre Garantie, längere Lebensdauer mit fortschrittlichem Heizkonzept und Messgerätschutz
  • Keine langfristige Neukalibrierung aufgrund von exzellenter Signalstabilität und Wiederholbarkeit, selbst bei anspruchsvollen Plasmaanwendungen
  • Compliance und Standards: CE, EN, UL, SEMI, RoHS

Typische Anwendungen

  • PVD, Etch, CVD und andere Verfahren in der Halbleiterfertigung

Spezifikationen

1000 Torr, 1100 mbar
500 ... 1 Torr / mbar
Genauigkeit (1)% of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts  
(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
Genauigkeit (1)% of reading0.15
Auflösungpercent FS0.003
Ausgangssignal (analog)V (dc)0 … +10
Ansprechzeit (2)ms30
Werkstoffe gegen Vakuum Aluminum oxide ceramic (AI2O3), stainless steel (AISI 316L (3))
(1) Nichtlinearität, Hysterese, Wiederholbarkeit bei 25 °C Umgebungsbetriebstemperatur ohne Temperatureffekte nach 2-stündigem Betrieb
(2) Anstieg 10 ... 90 % des Skalenendwerts  
(3) 18% Cr, 10% Ni, 3% Mo, 69% Fe
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3D Step Files
CDG045D2_9DSUB_8-VCR female
stp 5,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D2_4-VCR female_ECAT_II
stp 10,9 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D2_4-VCR male_ECAT_II
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CDG045D2_9DSUB_16CF
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CDG045D2_9DSUB_tube
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CDG045D2_9DSUB_16KF
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CDG045D2_9DSUB_4-VCR female
stp 5,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D2_9DSUB_4-VCR male
stp 5,5 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D2_4-VCR male
stp 2,8 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
CDG045D2_4-VCR female
stp 2,7 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 16CF
zip 477,0 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 16CF EtherCAT
stp 1,5 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 16KF
zip 471,5 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 16KF EtherCAT
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 8VCR
zip 480,8 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 8VCR EtherCAT
stp 1,5 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 tube
zip 470,5 KB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
Edge CDGxxxD2 tube EtherCAT
stp 1,4 MB Deutsch, Japanisch, Koreanisch, Spanisch, Chinesisch, Englisch
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