Optimierung des Fertigungsbetriebs

Metrology Sampling Optimizer

Unterstützung der Null-Fehler-Herausforderung beim autonomen Fahren - weltweit erstes intelligentes integriertes Probenahme-Management-System

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Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Messungen, wenn es darauf ankommt

In einer typischen Produktionsstätte ohne umfassende messtechnische Stichproben ist es unmöglich zu wissen, ob die Fabrik zu viele oder zu wenige Stichproben nimmt. Zu viele Stichproben vergeuden produktive Zeit und zu wenig Stichproben erhöhen das Ausschussrisiko.

Der Metrology Sampling Optimizer (MSO) verwendet Echtzeitdaten und Fabrikbedingungen, um zu bestimmen, was gemessen werden soll, um das Ausschussrisiko zu minimieren und die Messkapazität zu optimieren. MSO hat eine 30%ige Reduzierung der gefährdeten Lose gezeigt.

Mithilfe von benutzerdefinierten Regeln, die praktische Einschränkungen und Echtzeitinformationen nutzen, entscheidet MSO, wann und was gemessen werden soll. Die Probenahmepläne werden in Echtzeit aktualisiert, um die Probenahme für die gesamte Anlage zu verwalten und so kontinuierlich relevante Ergebnisse unter den dynamischen Bedingungen der Anlage zu gewährleisten.

Metrology Sampling Optimizer_Measurements When it Matters
Metrology Sampling Optimizer_Measurements When it Matters

Anpassen der Probenahme für eine bessere Abdeckung

Herkömmliche Probenahmesysteme sind begrenzt; sie wenden Regeln isoliert an und können sich nicht an wichtige Werkzeugereignisse und veränderte Fabrikbedingungen anpassen. Dies führt dazu, dass bei einigen Produkten zu viele Proben entnommen werden und bei anderen zu wenige, was die Zykluszeit und das Produktrisiko erhöht.

MSO minimiert die Stichprobenbildung, indem alle damit verbundenen Regeln ausgewertet werden, sobald eine Regel eine Stichprobenbildung auslöst. Alle zusammenhängenden Regeln, die durch die Probenahme desselben Materials ausgelöst würden, werden zurückgesetzt, obwohl sie noch nicht fällig waren.

Beispiel: 
Wenn zwei Stichprobenregeln, eine für Foto und eine für Ätzen, auf dieselbe Produktmessung angewendet werden und die Ätzregel fällig wird, betrachtet der Metrology Sampling Optimizer auch die Fotoregel als erfüllt für den bestimmten Scanner, auf dem dieselbe Charge gelaufen ist, vorausgesetzt, sie erfüllt alle entsprechenden Regelkriterien, und umgekehrt. Der Stichprobenplan ist erfüllt und die Metriken werden in Echtzeit aktualisiert, sobald eine neue Messung aufgezeichnet wird.

Metrology Sampling Optimizer_Customize Sampling for Better Coverage
Metrology Sampling Optimizer_Customize Sampling for Better Coverage

Intelligente Fertigung ermöglichen

Der Metrology Sampling Optimizer bietet eine Integration zur Optimierung der Arbeitsvorbereitung und für ein besseres Abweichungsmanagement. Durch die Integration mit dem Terminierungssystem kann MSO die Probenahme von Material mit hoher Priorität oder von blockiertem Material so schnell wie möglich durchführen.

Die Integration mit Fehlererkennungssystemen wie FabGuard oder Abweichungsmanagementsystemen ermöglicht eine schnelle Probenahme von gefährdetem Material, um die Auswirkungen von Abweichungen zu minimieren.

  • Planung und Disposition. Maximieren Sie den Einsatz und die Abdeckung der Messtechnik durch Koordination mit dem WiP-Management.
  • Manufacturing Execution Systems. Identifizieren Sie, für welche Teile es Messrezepte und Messschritte gibt.
  • Erkennung von Fehlern. Validieren Sie von FDC erkannte Abweichungen und nehmen Sie Proben von gefährdeten Losen.
  • Erweiterte Prozesskontrolle. Richten Sie den Probenahmeplan an den APC-Anforderungen aus, um die Ertragsvorteile von APC zu maximieren.
  • Korrigierende und vorbeugende Wartung. Passen Sie die Probenahmepläne auf der Grundlage von korrigierenden und vorbeugenden Wartungsaufgaben an.

Entscheidungen verstehen

Das Metrology Sampling Optimizer Dashboard zeigt den Echtzeitstatus der Messabdeckung an.

Die einfach zu interpretierenden Dashboards helfen den Ingenieuren, die Abdeckung der Metrologie und des Defekt-Scans, die mittlere Zeit bis zur Erkennung einer Abweichung und die Anzahl der gefährdeten Lose oder Substrate zu bestimmen. Das MSO Dashboard hilft den Ingenieuren dabei, ihre Bemühungen bei der Probenahme im Werk zu fokussieren, indem es den Abdeckungsgrad, den aktuellen Stand der Probenahme und die Echtzeitüberwachung sichtbar macht. Das MSO Dashboard ermöglicht sofortige Maßnahmen zur Steuerung der Probenahme und des Abweichungsmanagements.

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