Moderne Vakuumtechnologie für industrielle Anwendungen

Der Gemini® MxG5xx von INFICON liefert präzise Vakuummessungen bei geringem Wartungsaufwand und ist damit weltweit die erste Wahl für Industrie- und Forschungsanwendungen.

Gemini-MxG5xx

Die INFICON Gemini® Inverted Magnetron Vacuum Gauge ist eine zuverlässige, langlebige und vielseitige Vakuummessröhre für industrielle und wissenschaftliche Anwendungen. Das Gemini MPG50x kombiniert Kaltkathoden- und Pirani-Sensoren und misst von Atmosphärendruck bis 1x10⁻⁹ mbar, während das Gemini MAG50x ausschließlich auf Kaltkathodenmessungen von 1x10⁻² mbar bis 1x10⁻⁹ mbar ausgerichtet ist. Mit seinem patentierten Design mit geringem magnetischen Streufeld und einem austauschbaren Doppelkammersensor reduziert das Gemini den Wartungsaufwand und gewährleistet eine zuverlässige Langzeitleistung.

Jetzt mit PROFINET- und EtherCAT-Kompatibilität bietet der Gemini eine nahtlose Systemintegration und umfasst eine keramikbeschichtete Option für verbesserte Korrosionsbeständigkeit in rauen Umgebungen. Seine kompakte Größe und sein robustes Design machen ihn ideal für Anwendungen in der Halbleiterfertigung, Beschichtungstechnik, Hochenergiephysik und industriellen Forschung.

Beschichtete Gemini: Ein Vakuummessgerät für hohe Anforderungen

Mit der erfolgreichen Evaluierung eines Ionenimplantsystem wurde ein bedeutender Meilenstein erreicht, der einen wichtigen Schritt bei der Einführung der Gemini MAG504-Messtechnik darstellt. Das Gemini MAG504 wurde erfolgreich in Hochstrom- und Hochenergie-Implantationsplattformen integriert und etabliert sich damit weiter als führende Lösung für Hochleistungs-Halbleiteranwendungen.

Gemini_MAG504_3D_Render
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Weltweites Interesse an Gemini

Die starke Leistung des Gemini in Europa hat auch in anderen Regionen, darunter Nordamerika, Interesse geweckt. Derzeit laufen Gespräche über eine mögliche Integration in OEM-Implanter-Lösungen, was eine breitere weltweite Einführung und ein weiteres Marktwachstum begünstigen würde. Diese Entwicklungen spiegeln das wachsende Vertrauen in den Gemini MAG504 als Schlüsseltechnologie für die moderne Halbleiterfertigung wider. Die kontinuierlichen Qualifizierungsbemühungen und die steigenden Auftragseingänge belegen seine entscheidende Rolle bei der Erfüllung der sich wandelnden Anforderungen der globalen Halbleiterindustrie.

Gemini
Gemini

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