Vakuumdurchführungen & Mehr

Lineardurchführungen CF

Linear-Motion-Feedthroughs-CF

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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INFICONs umfassende Auswahl mechanischer Durchführungen bietet das richtige Gerät für jede anspruchsvolle Anwendung, egal ob es sich um Beschichtungskammern oder um Ihr angewandtes Forschungsprojekt unter Laborbedingungen handelt.

Die verfügbaren Flanschausführungen ISO-KF / ISO-K und CF entspricht unserer Produktlinie an Anschlüssen. Alle Durchführungen sind zur Verwendung in Vakuumanlagen mit Leckraten bis zu 1 x 10-9 mbarl/s geeignet. Für UHV ist auch eine ganz in Metall ausgeführte Durchführung erhältlich.

Vorteile

  • Balggedichtet für anspruchsvollere Vakuumanforderungen
  • Direkte Zug-/ Druckbewegung
  • Hochgenaue Einstellung mittels Mikrometerschraube
  • 2011/65/EU RoHS-konform

Spezifikationen

FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
Vakuumanschluss DN 16 CF-R
Durchführung/Dichtung bellow
Wellenanschluss M4x16mm
Antrieb manual
Hubmm25
Hub pro Drehungmm­
Skaleneinteilungmm5
Wellenlast
Radialkraft bei max.N20
Axialkraft vakuumseitigN85
Axialkraft gegen atmN100
DrehmomentN•m0.2
Festigkeitmbar•L/s5 x 10-11
Druck (absolut) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Ausheiztemperatur
Durchführung°C300
Mirometerschraube°C­
Werkstoff gegen Vakuum stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
Gewichtkg0.15
Vakuumanschluss DN 40 CF-R
Durchführung/Dichtung bellow
Wellenanschluss M6x10mm, Ø10mm
Antrieb manual
Hubmm50
Hub pro Drehungmm­
Skaleneinteilungmm10
Wellenlast 
Radialkraft bei max.N100
Axialkraft vakuumseitigN140
Axialkraft gegen atmN200
DrehmomentN•m0.5
Festigkeitmbar•L/s5 x 10-11
Druck (absolut) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Ausheiztemperatur 
Durchführung°C300
Mirometerschraube°C­
Werkstoff gegen Vakuum stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
Gewichtkg0.75
Vakuumanschluss DN 16 CF-R
Durchführung/Dichtung bellow
Wellenanschluss M4x16mm
Antrieb micrometer screw
Hubmm20
Hub pro Drehungmm0.5
Skaleneinteilungmm0.01
Wellenlast 
Radialkraft bei max.N20
Axialkraft vakuumseitigN185
Axialkraft gegen atmN200
DrehmomentN•m0.2
Festigkeitmbar•L/s5 x 10-11
Druck (absolut) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Ausheiztemperatur 
Durchführung°C300
Mirometerschraube°C100
Werkstoff gegen Vakuum stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
Gewichtkg0.25
Vakuumanschluss DN 40 CF-R
Durchführung/Dichtung bellow
Wellenanschluss M6x10mm, Ø10mm
Antrieb micrometer screw
Hubmm50
Hub pro Drehungmm1
Skaleneinteilungmm0.005
Wellenlast 
Radialkraft bei max.N100
Axialkraft vakuumseitigN440
Axialkraft gegen atmN500
DrehmomentN•m0.5
Festigkeitmbar•L/s5 x 10-11
Druck (absolut) 1 x 10-10 mbar ... 2 bar
Ausheiztemperatur 
Durchführung°C300
Mirometerschraube°C100
Werkstoff gegen Vakuum stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571
Gewichtkg1
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Artikelnummer

 FPU016-H
 214-330FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R
 
 FPU016-Z
 214-334FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R
 
 FPU040-H
 214-332FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R
 
 FPU040-Z
 214-336FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R
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