Vakuumdurchführungen & Mehr
Lineardurchführungen CF
Lineardurchführungen CF
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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INFICONs umfassende Auswahl mechanischer Durchführungen bietet das richtige Gerät für jede anspruchsvolle Anwendung, egal ob es sich um Beschichtungskammern oder um Ihr angewandtes Forschungsprojekt unter Laborbedingungen handelt.
Die verfügbaren Flanschausführungen ISO-KF / ISO-K und CF entspricht unserer Produktlinie an Anschlüssen. Alle Durchführungen sind zur Verwendung in Vakuumanlagen mit Leckraten bis zu 1 x 10-9 mbarl/s geeignet. Für UHV ist auch eine ganz in Metall ausgeführte Durchführung erhältlich.
Vorteile
- Balggedichtet für anspruchsvollere Vakuumanforderungen
- Direkte Zug-/ Druckbewegung
- Hochgenaue Einstellung mittels Mikrometerschraube
- 2011/65/EU RoHS-konform
Spezifikationen
FPU016-H
FPU040-H
FPU016-Z
FPU040-Z
| Vakuumanschluss | DN 16 CF-R | |
| Durchführung/Dichtung | bellow | |
| Wellenanschluss | M4x16mm | |
| Antrieb | manual | |
| Hub | mm | 25 |
| Hub pro Drehung | mm | |
| Skaleneinteilung | mm | 5 |
| Wellenlast | ||
| Radialkraft bei max. | N | 20 |
| Axialkraft vakuumseitig | N | 85 |
| Axialkraft gegen atm | N | 100 |
| Drehmoment | N•m | 0.2 |
| Festigkeit | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| Druck (absolut) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Ausheiztemperatur | ||
| Durchführung | °C | 300 |
| Mirometerschraube | °C | |
| Werkstoff gegen Vakuum | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| Gewicht | kg | 0.15 |
| Vakuumanschluss | DN 40 CF-R | |
| Durchführung/Dichtung | bellow | |
| Wellenanschluss | M6x10mm, Ø10mm | |
| Antrieb | manual | |
| Hub | mm | 50 |
| Hub pro Drehung | mm | |
| Skaleneinteilung | mm | 10 |
| Wellenlast | ||
| Radialkraft bei max. | N | 100 |
| Axialkraft vakuumseitig | N | 140 |
| Axialkraft gegen atm | N | 200 |
| Drehmoment | N•m | 0.5 |
| Festigkeit | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| Druck (absolut) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Ausheiztemperatur | ||
| Durchführung | °C | 300 |
| Mirometerschraube | °C | |
| Werkstoff gegen Vakuum | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| Gewicht | kg | 0.75 |
| Vakuumanschluss | DN 16 CF-R | |
| Durchführung/Dichtung | bellow | |
| Wellenanschluss | M4x16mm | |
| Antrieb | micrometer screw | |
| Hub | mm | 20 |
| Hub pro Drehung | mm | 0.5 |
| Skaleneinteilung | mm | 0.01 |
| Wellenlast | ||
| Radialkraft bei max. | N | 20 |
| Axialkraft vakuumseitig | N | 185 |
| Axialkraft gegen atm | N | 200 |
| Drehmoment | N•m | 0.2 |
| Festigkeit | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| Druck (absolut) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Ausheiztemperatur | ||
| Durchführung | °C | 300 |
| Mirometerschraube | °C | 100 |
| Werkstoff gegen Vakuum | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| Gewicht | kg | 0.25 |
| Vakuumanschluss | DN 40 CF-R | |
| Durchführung/Dichtung | bellow | |
| Wellenanschluss | M6x10mm, Ø10mm | |
| Antrieb | micrometer screw | |
| Hub | mm | 50 |
| Hub pro Drehung | mm | 1 |
| Skaleneinteilung | mm | 0.005 |
| Wellenlast | ||
| Radialkraft bei max. | N | 100 |
| Axialkraft vakuumseitig | N | 440 |
| Axialkraft gegen atm | N | 500 |
| Drehmoment | N•m | 0.5 |
| Festigkeit | mbar•L/s | 5 x 10-11 |
| Druck (absolut) | 1 x 10-10 mbar ... 2 bar | |
| Ausheiztemperatur | ||
| Durchführung | °C | 300 |
| Mirometerschraube | °C | 100 |
| Werkstoff gegen Vakuum | stainless steel 304L/1.4306, stainless steel 316Ti/1.4571 | |
| Gewicht | kg | 1 |
Artikelnummer
| FPU016-H | ||
| 214-330 | FPU016-H Linear feedthrough DN 16 CF-R | |
| FPU016-Z | ||
| 214-334 | FPU016-Z Linear feedthrough DN 16 CF-R | |
| FPU040-H | ||
| 214-332 | FPU040-H Linear feedthrough DN 40 CF-R | |
| FPU040-Z | ||
| 214-336 | FPU040-Z Linear feedthrough DN 40 CF-R | |
