Prozessüberprüfung
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Prozesskontrolle
FabGuard® Integrierter-Prozess-Monitor (IPM)
Zu Prozessüberprüfung und -steuerung für die Prozessoptimierung, einschließlich Durchlauf-zu-Durchlauf-Steuerung wichtiger Prozessparameter.
FabGuard® Integrierter-Prozess-Monitor (IPM)
- Durchlauf-zu-Durchlauf- und Echtzeit-Analyse für Prozesssteuerung und Fehlersuche reduziert den Ausschuss und verbessert die Prozesssteuerung.
- Die automatisierte Datenerfassung und -speicherung für historische Dateien dient der Erweiterung von statistischen Prozesssteuerungsdaten, die von verschiedenen Sensoren stammen. Dies verringert Hardwareredundanzen, während sämtliche Daten von Prozess- oder Fertigungsgeräten für einfachen Zugriff und problemlose Analysen integriert werden können.
- Eine einzige Benutzeroberfläche für sämtliche Gerätedaten reduziert die Lernkurve.
Prozesskontrolle
FABGUARD® Explorer
Mit Ein-Klick-Zugriff auf die beiden am häufigsten verwendeten RGA-Funktionen - Überwachungsmodus und Leckprüfung - liefert FabGuard Explorer leicht zu interpretierende Daten mit Anzeige der am häufigsten überwachten Gase.
FabGuard® Explorer
- FabGuard Explorer unterstützt mehrere Sensoren: Transpector MPH RGA, Transpector 2 RGA, RFS100 HF-Sensoren und das Quantus-Gasanalysegerät
- Werkzeug zur Vakuumdiagnose kann Gasspezies im Vakuumsystem schnell identifizieren
- Run Summary, eine Zusammenfassung der Prozessläufe, fügt jedem Lauf komplette Sensor- und Datenerfassungsinformationen hinzu, die helfen können zu entscheiden, ob ungewöhnliche Daten durch Änderungen der Sensorparameter verursacht wurden.