Sion™
RF-Detektor zur Plasmalichtbogenerkennung und Endpunktsteuerung
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Weniger Waferverluste, höhere Ausbeute und längere Betriebszeit
Lichtbögen bei der Plasmabearbeitung können zu Schäden am Target und in der Kammer führen, die wiederum das Substrat beschädigen und Partikel erzeugen. Mit abnehmender Strukturgröße werden mikroelektronische Bauteile zunehmend anfällig für lichtbogenbedingte Schäden. Lichtbögen können bei jedem plasmagestützten Prozess auftreten, z. B. bei der ionisierten physikalischen Gasphasenabscheidung (iPVD), der plasmaunterstützten chemischen Gasphasenabscheidung (PECVD) und beim Ätzen. Der INFICON Sion Lichtbogendetektor bietet eine wichtige erste Verteidigungslinie. Sion ermöglicht es, Mikrolichtbögen schnell zu erkennen und auf sie zu reagieren, bevor es zu erheblichen Schäden oder Ausschuss kommt. Das System ermöglicht die Erkennung und Analyse von Mikrolichtbögen im Plasma in Echtzeit.
Der Sion™ RF-Detektor ermöglicht auch eine bessere Kontrolle und höhere Erträge bei der chemischen Gasphasenabscheidung (CVD) und bei Ätzprozessen, indem er den Endpunkt der Kammerreinigung zuverlässig und genau bestimmt. Eine genauere Endpunktbestimmung bedeutet geringere Partikelmengen auf dem Wafer und mehr Zeit zwischen den vorbeugenden Wartungszyklen.
Sion bietet eine Reihe von Vorteilen gegenüber Steuerungen auf der Basis von optischen Emissionsspektrometern (OES) und arbeitet mit dem FabGuard® Integrations- und Analysesystem zusammen, um die Ausbeute zu erhöhen und die Zeit- und Materialverschwendung zu reduzieren, die durch eine Unter- oder Überätzung der Kammerreinigung entsteht."
Merkmale
- Einfache Nachrüstung vorhandener Werkzeuge
- Nichtinvasive Sensorinstallation
- Hochgeschwindigkeits-Datenerfassung (250 kHz)
- Integrierte Datenverwaltung mit FabGuard
