RF-Sensortechnik
ADC100 DC-Lichtbogendetektor
Nicht-invasive Hochgeschwindigkeits-DC-Bogenerfassung für die Prozesskontrolle in Echtzeit
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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Der ADC100 DC-Lichtbogendetektor wird zur Echtzeit-Erkennung von Plasma-Lichtbögen an einen Gleichstromgenerator angeschlossen. Damit besteht die Möglichkeit, die Waferbearbeitung zu unterbrechen und die Ingenieure über potenzielle Hardware- oder Produktschäden zu benachrichtigen.
Merkmale
- Softwareintegration bis auf Werkzeugebene mithilfe des FabGuard-Sensorintegrations- und Analysesystems
- Datenerfassung bei 250 kHz pro Kanal
- Spezialkabel zum Anschluss an die meisten Gleichstromgeneratoren
- Rasche Erkennung von Lichtbögen mithilfe vordefinierter Analysewerkzeuge
- Fähigkeit zur Endpunkterkennung
- Weltweiter Anwendungssupport
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