RF-Sensortechnik

ADC100 DC-Lichtbogendetektor

Nicht-invasive Hochgeschwindigkeits-DC-Bogenerfassung für die Prozesskontrolle in Echtzeit

ADC100-Arc-Detector

Der ADC100 DC-Lichtbogendetektor wird zur Echtzeit-Erkennung von Plasma-Lichtbögen an einen Gleichstromgenerator angeschlossen. Damit besteht die Möglichkeit, die Waferbearbeitung zu unterbrechen und die Ingenieure über potenzielle Hardware- oder Produktschäden zu benachrichtigen.

Merkmale

  • Softwareintegration bis auf Werkzeugebene mithilfe des FabGuard-Sensorintegrations- und Analysesystems
  • Datenerfassung bei 250 kHz pro Kanal
  • Spezialkabel zum Anschluss an die meisten Gleichstromgeneratoren
  • Rasche Erkennung von Lichtbögen mithilfe vordefinierter Analysewerkzeuge
  • Fähigkeit zur Endpunkterkennung
  • Weltweiter Anwendungssupport
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