4. ADC100 DC-Lichtbogendetektor
RF-Sensortechnik

ADC100 DC-Lichtbogendetektor

Nicht-invasive Hochgeschwindigkeits-DC-Bogenerfassung für die Prozesskontrolle in Echtzeit

ADC100-Arc-Detector

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Unit
mbar
Flange
DN 16 ISO-KF
Display switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Der ADC100 DC-Lichtbogendetektor wird zur Echtzeit-Erkennung von Plasma-Lichtbögen an einen Gleichstromgenerator angeschlossen. Damit besteht die Möglichkeit, die Waferbearbeitung zu unterbrechen und die Ingenieure über potenzielle Hardware- oder Produktschäden zu benachrichtigen.

Merkmale

  • Softwareintegration bis auf Werkzeugebene mithilfe des FabGuard-Sensorintegrations- und Analysesystems
  • Datenerfassung bei 250 kHz pro Kanal
  • Spezialkabel zum Anschluss an die meisten Gleichstromgeneratoren
  • Rasche Erkennung von Lichtbögen mithilfe vordefinierter Analysewerkzeuge
  • Fähigkeit zur Endpunkterkennung
  • Weltweiter Anwendungssupport
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Display-Navi
Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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