1. Transpector® CPM 3
Massenspektrometer

Transpector® CPM 3

 Schnelles, betriebsbereites System zur Prozessüberwachung

Transpector-CPM

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Leistungsstärke, Zuverlässigkeit und Vielseitigkeit

Der Transpector CPM von INFICON ist seit mehr als 10 Jahren der marktführende Restgasanalysator (RGA) zur Prozessüberwachung in der Halbleiterindustrie. Der Transpector CPM 3 bietet jetzt branchenführende Messgeschwindigkeit und Messempfindlichkeit durch sein praxiserprobtes Pump- und Einlasssystem in Verbindung mit einem neuen Sensor und neuer Elektronik. Der Transpector CPM 3 ist der ideale RGA-Prozessmonitor für neue und etablierte Halbleiterprozesse wie ALD, CVD, PVD und Ätzen.

Der Transpector CPM 3 liefert unseren Partnern eine nachweislich höhere Investitionsrendite durch:

  • Branchenführende Messtechnik
  • Robuste und adaptive Architektur
  • Wartungsfreundlichkeit
  • Hervorragenden Produktsupport

Merkmale

  • Restgasanalysegerät für ALD, Ätzen, CVD und 300 mm Degas zur Prozessüberwachung und -analyse in Echtzeit
  • Betriebsbereit für ALD mit einer Messgeschwindigkeit von 1,8 ms pro Punkt (555 Punkte pro Sekunde)
  • Praxiserprobte Langlebigkeit und Zuverlässigkeit in anspruchsvollsten CVD- und Ätzanwendungen
  • Anwendungsintegration – In Verbindung mit der FabGuard-Software und den kompetenten Anwendungsexperten von INFICON wird der Transpector CPM zu einem leistungsstarken Werkzeug zur Prozessüberwachung und Diagnose
  • Seine kompakte Größe ermöglicht die einfache Integration in Anlagen zur Halbleiterfertigung
  • Hexblock™ mit bis zu drei Druckeingängen und reduzierter Oberfläche zur Minimierung von Oberflächenreaktionen und Ansprechzeiten
  • Kapazitätsmembran-Messgerät (CDG) – CDG ermöglicht die bedienerseitige Überwachung des Prozessdrucks und schützt das System automatisch vor Druckabweichungen
  • Automatische Kalibrierung – garantiert langfristige Datenstabilität und Genauigkeit zum Kammerabgleich individueller Sensoren und Geräte

Spezifikationen

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
Totaldruckbereich5E-7 - 1E-3 Torr
Nachweisgrenze< 1 ppm
Systembetriebsdruck1E-8 Torr - 1.2 atm
Empfindlichkeit (Niedrige Emission)> 4E-6 Amps/Torr
Empfindlichkeit (Hohe Emission)> 2E-5 Amps/Torr
Totaldruckbereich5E-7 - 1E-3 Torr
Nachweisgrenze< 2 ppm
Systembetriebsdruck1E-8 Torr - 1.2 atm
Empfindlichkeit (Niedrige Emission)> 2E-6 Amps/Torr
Empfindlichkeit (Hohe Emission)> 1E-5 Amps/Torr
Totaldruckbereich5E-7 - 1E-3 Torr
Nachweisgrenze< 4 ppm
Systembetriebsdruck1E-8 Torr - 1.2 atm
Empfindlichkeit (Niedrige Emission)> 1E-6 Amps/Torr
Empfindlichkeit (Hohe Emission)> 5E-6 Amps/Torr
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Verbrauchsmaterial

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
ArtikelnummerBeschreibung
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
ArtikelnummerBeschreibung
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner
300 AMU CPM
ArtikelnummerBeschreibung
059-0196NI-4-VCR-2, 1/4" VCR GASKET NI
059-0400Replacement c-ring
070-1042O-Ring, 0.739 ID, 0.070 W, Viton, 75Duro (V4 only)
923-418-G1CPM Replacement Diaphragm Kit 2 Stage
923-706-G1030 Torr HexBlock orifice (10.5 micron)
923-706-G310 Torr HexBlock orifice (20 micron)
923-706-G41 Torr HexBlock orifice (62 micron)
923-706-G610 mtorr HexBlock orifice (750 micron)
923-706-G7360 mtorr HexBlock orifice (120 micron)
923-706-G815 mtorr HexBlock orifice (350 micron)
923-706-G93 Torr HexBlock orifice (35 micron)
923-707-G110 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G2100 Torr HexBlock sniffer (5 cm length)
923-707-G37 Torr HexBlock sniffer
961-707-G1Electron Multiplier Kit, Spare
964-710-G1Filament Kit CPM Tungsten
964-710-G2Filament Kit CPM Coated
964-711-G1Ion Source Kit CPM Tungsten
964-711-G2Ion Source Kit CPM Tungsten w/Liner
964-712-G1Ion Source Kit CPM Coated
964-712-G2Ion Source Kit CPM Coated w/Liner

Ersatzteile

100 AMU CPM
200 AMU CPM
300 AMU CPM
ArtikelnummerBeschreibung
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
ArtikelnummerBeschreibung
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
ArtikelnummerBeschreibung
032-0079Turbo Molecular Pump (w/CF40 flange)
059-0400Replacement c-ring
915-724-G1Package of three spare liners (used only with liner configured ion source)
922-204-G1Capillary assembly - 1.5 m
922-204-G3Capillary assembly - 3 m
923-403-P2CPM Valve Controller Manifold Assembly
923-417-G1Foreline Protection Kit, CPM
923-710-G1HexBlock orifice replacement tools
923-711-G1HexBlock valve replacement kit
923-712-G1Spare HexBlock orifice gasket (pack of five)
923-723-G22 Stage Diaphragm Foreline Pump
964-208-G11CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr)
964-208-G12CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr)
964-208-G13CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr)
964-208-G14CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr)
964-230-G1CPM Cable Box Assembly
964-403-P1CPM Manifold Heater
964-603-G2CPM Controller Box
964-720-G1CPM CDG Pressure Gauge Kit (1000 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G2CPM CDG Pressure Gauge Kit (100 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G3CPM CDG Pressure Gauge Kit (10 Torr) w/ Gauge Interface Cable
964-720-G4CPM CDG Pressure Gauge Kit (1 Torr) w/ Gauge Interface Cable
Das Produkt wird in folgenden Märkten verwendet
Analytical-Instrumentation-Navi
Analytische Instrumente

Der Markt für analytische Instrumente unterstützt mit seinen hochentwickelten Werkzeugen Anwender in einem breiten Feld von Anwendungen und Märkten.

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Battery-Market-Navi
Batterie

Von der Elektrodenproduktion bis zur End-of-Line-Prüfung

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Display-Navi
Display

INFICONs Sensoren für den Display-Markt nutzen eine Reihe von Prozesssensortechnologien, darunter Dünnschichtregler, Restgasanalyse, optische Emissionsspektrometrie, Quarzkristall-Mikrowaagen, Leckdetektoren, Druckmesser und RF-Messungen.

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energy-market-navi
Energie

Die herkömmliche Öl- und Gasförderung hat in den letzten Jahrzehnten eine steigende Nachfrage verzeichnet, die durch das Bevölkerungswachstum, die Verstädterung und die konsumierende Mittelschicht in den Entwicklungsländern angetrieben wird. 

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Industrial-Manufacturing-Navi-2
Industrielle Fertigung

Vakuum wird immer häufiger eingesetzt, um eine saubere Umgebung zu gewährleisten und wird für verschiedene Prozesse benötigt, die ohne Vakuum nicht funktionieren. 

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Mobility_and_Automotive-Navi
Mobilität & Automotive

Zuverlässige Lecktests in einer sich entwickelnden Industrie. Der Wandel in der Automobilindustrie macht Dichtheitsprüfung noch bedeutsamer.

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Pharma_and_Medical-Navi
Pharma & Medizin

Produktivitätssteigerung und Unterstützung bei der Einhaltung von Compliance-Standards und Qualitätsanforderungen in der Pharmaindustrie 

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Research-and-Academia-Navi
Forschung & Ausbildung

Durch Grundlagenforschung die innersten Geheimnisse des Universums lüften. Wir liefern heute die Innovationen, die die Technologien von morgen ermöglichen.

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Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
Halbleiterhersteller

Sensoren, die auf eine breite Palette von Anwendungen zugeschnitten sind und Produktsicherheit, höhere Erträge und maximale Produktivität gewährleisten.

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Vacuum_Coating-Navi
Vakuumbeschichtung

Die Märkte für die Vakuumbeschichtung gehen weit über die Optik hinaus und dehnen sich rasch auf Bereiche, Branchen und Folienschichten aus, die noch vor zehn Jahren fast unvorstellbar waren.

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