Massenspektrometer

QMG 700

Überwindung von Nachweisgrenzen durch unerreichte Stabilität und verbesserte Auflösung

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QMG700

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Gemini™ MxG5xx

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Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
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Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
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1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Die rasante Weiterentwicklung der Halbleiterfertigung erfordert schnelle und zuverlässige Gasanalyselösungen. Ob in der Fertigung oder im Labor - das Analytische Massenspektrometer INFICON QMG 700 überwindet Nachweisgrenzen und treibt Ihren Prozess auf die nächste Entwicklungsstufe voran. Das QMG 700 bietet unerreichte Leistungsstärke und Anpassungsfähigkeit in einem modularen Design. Erhöhen Sie Ihren Wettbewerbsvorteil mit dem QMG 700 und erzielen Sie ein Höchstmaß an Messfähigkeit.

Wählen Sie aus einer breiten Palette an Ionenquellen, Massenfiltern und HF-Generatoren, um das QMG 700 Ihren spezifischen Anwendungen anzupassen. Das QMG 700 umfasst einen dynamischen Bereich über mehr als neun Messdekaden und Nachweisgrenzen im ppb-Bereich, was es zum idealen Gerät für Messungen im Ultrahochvakuum macht. Das QMG 700 bietet Einheitsauflösung über den gesamten Massenbereich und sogar noch höhere Auflösung bei niedrigen Massen. Das Gerät ist eine hervorragende Lösung für anspruchsvollste Messaufgaben, einschließlich Isotopenanalysen, z. B. bei der Trennung von Helium und Deuterium. Steuern Sie Ihren Prozess mit dem QMG 700 und vertrauen Sie auf seine langfristige Stabilität zum Schutz kritischer Messungen.

INFICONs mehr als 40-jährige Erfahrung und Kompetenz auf dem Gebiet der analytischen Massenspektrometrie garantiert, dass das QMG 700 die richtige Wahl für Ihre nächste Investition im Bereich der Gasanalyse ist. Für gleichbleibende Genauigkeit und präzise Ergebnisse können Sie sich auf das INFICON QMG 700 und unsere weltweite Anwendungserfahrung verlassen.

Merkmale

  • Optionen für den Massenbereich von 1-512 amu
  • Mehr als neun Dekaden dynamischer Bereich
  • E xtrem schnelle Messgeschwindigkeiten: 0,125 ms/amu
  • MDPP < 10E-16 mbar
  • Hohe Auflösung über den gesamten Massenbereich: Die Massen 1, 2 und 3 sind im ppb-Bereich klar trennbar
  • Mehrere verschiedene Ionenquellenoptionen
  • Diskrete oder kontinuierliche Dynoden-Elektronenvervielfacher-Optionen
  • IO-Option: 8 analoge Eingänge/Ausgänge und 32 digitale Eingänge/Ausgänge
  • Leistungsstarke Software mit flexibler und benutzerfreundlicher Schnittstelle

Typische Anwendungen

  • Gasentladungs-Massenspektrometrie
  • Endpunktbestimmung
  • Überwachung des Abscheidungsmaterials
  • Sekundärionenmassenspektrometrie

Spezifikationen

QMA 400
QMA 410
QMA 430
Massenbereich1-512 amu (1)
Sensorlänge441.5 mm
Stabdurchmesser8 mm
StabmaterialMolybdenum
FlanschDN 63 CF-F
DetektortypFaraday/SEV 217
Max. Betriebsdruck (FC)1 E-4 mbar
Max. Betriebsdruck (EM)1 E-5 mbar
Empfindlichkeit5 E-4 A/mbar
Kleinster nachweisbarer Partialdruck1 E-15 mbar
Auflösung (einstellbar)0.3 - 7 amu
Partialdruckverhältnis< 0.5 ppb
Max. Ausheiztemp. Sensor150 °C
Max. Ausheiztemp.400 °C
Max. Ausheiztemp. Elektronik40 °C
Messgeschwindigkeit0.125 ms - 60 s/amu
Stromversorgung100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU.
QMA 400-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 512 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.                     

(2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU.
Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.
Massenbereich1-340 amu (2)
Sensorlänge548 mm
Stabdurchmesser16 mm
StabmaterialMolybdenum
FlanschDN 100 CF-F
DetektortypFaraday/SEV 217
Max. Betriebsdruck (FC)1 E-4 mbar
Max. Betriebsdruck (EM)1 E-5 mbar
Empfindlichkeit1 E -3 A/mbar
Kleinster nachweisbarer Partialdruck5 E-16 mbar
Auflösung (einstellbar)0.2 - 2.2 amu
Partialdruckverhältnis< 0.5 ppb
Max. Ausheiztemp. Sensor150 °C
Max. Ausheiztemp.400 °C
Max. Ausheiztemp. Elektronik40 °C
Messgeschwindigkeit0.125 ms - 60 s/amu
Stromversorgung100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU.
QMA 400-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 512 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.                     

(2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU.
Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.
Massenbereich1-300 amu
Sensorlänge441.5 mm
Stabdurchmesser8 mm
StabmaterialStainless Steel
FlanschDN 63 CF-F
DetektortypFaraday/SEV 217
Max. Betriebsdruck (FC)1 E-4 mbar
Max. Betriebsdruck (EM)1 E-5 mbar
Empfindlichkeit2 E-4 A/mbar
Kleinster nachweisbarer Partialdruck1 E-15 mbar
Auflösung (einstellbar)0.3 - 7 amu
Partialdruckverhältnis< 0.5 ppb
Max. Ausheiztemp. Sensor150 °C
Max. Ausheiztemp.400 °C
Max. Ausheiztemp. Elektronik40 °C
Messgeschwindigkeit0.125 ms - 60 s/amu
Stromversorgung100 - 240 VAC

 

(1) QMA 400 ist erhältlich für Massenbereiche: 1-512 AMU.
QMA 400-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 512 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.                     

(2) QMA 410 ist erhältlich für die Massenbereiche: 1-128 AMU.
Die QMA 410-Spezifikationen basieren auf einem Massenbereich von 128 AMU, konfiguriert mit Cross-Beam-Ionenquelle.

Artikelnummern

QMA 400
QMA 410
QMA 430
490-715QMA 400 with Grid Ion Source
450-119Deckplatte kpl. DMM spez.
490-601QMA 400 for PPM 422 standard
490-700QMA 400 with Axial Ion Source
490-701QMA 400 with Crossbeam
490-702QMA 400, SEM 217, Crossbeam, Yt
490-810QMA 410 with Axial Ion Source
490-812QMA 410,16mm Mo,217, W, CB-GT
490-817QMA 410, SEM 217, crossbeam, Yt
490-821QMA 410 Quadrup.-Analysator
490-830QMA 410 mit CB-IQ mit Magn.,SEV218
490-901QMA 430 mit CB-IQ, Faraday
490-910QMA 430 with Axial-IQ, 90° SEV217
490-913QMA 430 with Grid Ion Source
490-914QMA 430 grid Ion Source, vac.-annealed
490-916QMA 430, CB-IQ without SEV217
490-917QMA 430 with CB Ion source, Gas Tight
490-918QMA 430, CB Ion Source without SEV217
490-943QMA 430, SEM 217, Crossbeam, YT
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