Guardian™ EIES Controller
Gleichzeitige Abscheidung von bis zu 8 Materialien
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Ideal für CIGS-Dünnschichten
Guardian kann Abscheidungsraten von 0,1 bis 10,000 Å/s steuern. Das Gerät unterstützt einen oder zwei Sensoren und bis zu 8 optische Eingänge und steuert bis zu 8 Abscheidungsquellen. So können bis zu 8 Materialien gleichzeitig abgeschieden werden.
Der INFICON Guardian eignet sich ideal für Anwendungen wie die Fertigung photovoltaischer Module, OLED, supraleitender Dünnschichten sowie für die Molekularstrahlepitaxie (MBE).
Das Guardian Koabscheidungssystem basiert auf der Elektronenstoß-Emissionsspektroskopie (Electron Impact Emission Spectroscopy, EIES). Mithilfe von EIES wird das abgeschiedene Material durch einen thermionischen Emitter angeregt, wodurch Photonen entstehen. Das erzeugte Licht wird durch einen optischen Filter an einen Photovervielfacherröhren-Detektor (Photomultiplier Tube, PMT) geleitet, der die Emissionsintensität für die durchgelassene Wellenlänge misst. Der INFICON Guardian Controller erzeugt anschließend ein Signal, um die Quelle für dieses Material zu steuern. Bei mehreren Materialien werden zusätzliche Detektoren mit entsprechenden optischen Filtern verwendet.
Ein vollständiges Guardian-System besteht aus mindestens einem Sensor, einem PMT-Detektor, einem optischen Filter, einer Guardian-Controllereinheit und einem vom Benutzer bereitgestellten PC mit der Guardian-Software. EIES wird in der Regel zum Steuern der Abscheidung von mehreren Materialien eingesetzt. Die meisten EIES-Systeme beinhalten daher zusätzliche Sensoren, Detektoren, optische Komponenten wie Strahlteiler sowie QCMs zur Kalibrierung oder Steuerung der Abscheidungsrate einiger Materialien. Weitere Informationen über typische Systeme sind im Guardian Configuration Guide enthalten, der weiter unten über das Register Downloads abrufbar ist.
Bei der Konfiguration eines Guardian-Koabscheidungssystems ist folgendes zu bedenken:
- Was sind die primären und sekundären Emissionswellenlängen Ihrer Abscheidungsmaterialien?
Wenn die Peaks unterschiedlicher Materialien zu nahe beieinander liegen, muss möglicherweise eine zweite Wellenlänge mit einer niedrigeren Signalstärke überwacht werden.
- Welche Hintergrundgase sind während des Abscheidungsprozesses in der Vakuumkammer vorhanden, und welche Emissionswellenlängen besitzen diese Gase?
Bei Beeinträchtigung der Abscheidungsmaterialien durch Emissionen von Hintergrundgasen wird ein Sensor empfohlen, der diese Gase kompensiert.
EIES zeigt die beste Effektivität bei den eindeutig definierten Spektren atomarer Spezies. Molekulare Spezies, die instabile oder breite Emissionsspektren generieren, können nicht präzise gemessen werden. Bei organischen Stoffen wird EIES nicht empfohlen. Diese und weitere Faktoren bestimmen die optimale EIES-Systemkonfiguration für jede spezielle Anwendung.
Merkmale
- Gleichzeitige Überwachung und Steuerung der Abscheidung von bis zu 8 Materialien
- Abscheidungsraten zwischen 0,1 und 10.000 Å/s
- Integrierte EIES- und QCM-Dünnschichtprozesssteuerung
- 12 Relaisausgänge und 12 digitale Eingänge
- Windows-basierte Software für Einrichtung und Betrieb
- Kompatibel mit INFICON Sentinel®-Sensoren
Spezifikationen
| Betriebsdruck | <5x10-4 Torr |
| Temperatur | 450° C maximum during operation and/or bakeout |
| Steuerausgänge | Eight source control outputs, 0 to ±10 VDC programmable |
| Vom Computerbenutzer bereitgestellt: | Any PC with Windows® Vista/XP/2000/7/8/10 operating system, and Ethernet or RS-232 interface |
Artikelnummern
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 782-900-031 | Guardian Controller, 1 Sensor |
| 782-900-050 | Guardian Controller, 2 Sensors |
Zubehör & Ersatzteile
| Artikelnummer | Beschreibung |
| EIES Sensors | |
| 016-600-G22 | Standard EIES Sensor, 22 in. |
| 016-601-G22 | Gas Compensating EIES Sensor, 22 in. |
| Beam Splitters | Faseroptische Strahlteiler teilen den Lichtstrahl des Sensors auf, um mehrere Materialien pro EIES-Sensor zu vermessen. |
| 782-900-034 | Fiber Optic Beam Splitter, 3 way, 400 mm |
| 782-900-034-x-yyy | Guardian Faseroptischer Strahlenteiler (1:x) - yyy mm Länge |
| Filament Kabel | Zum Anschluss des EIES-Sensors an den Guardian-Controller |
| 600-1406-P10 | Single Filament Cable, 10 ft., Guardian |
| 600-1406-P40 | Single Filament Cable, 40 ft., Guardian |
| 600-1407-P10 | Dual Filament Cable, 10 ft., Guardian |
| 600-1407-P40 | Dual Filament Cable, 40 ft., Guardian |
| PMT Detector | |
| 782-900-030 | Photomultiplier Tube Detector, Guardian |
| PMT Detector Kabel | Zum Anschluss des PMT-Detektors an den Guardian-Controller |
| 782-505-065 | PMT Detector Cable, 3m (10ft.), Guardian |
| 782-505-065-40 | PMT Detector Cable, 12m(40ft.), Guardian |
| Optical Filters | Wählen Sie die für Ihr Material geeignete Wellenlänge |
| 782-900-035-202 | Optical Filter, 202 nm, Guardian |
| 782-900-035-241 | Optical Filter, 241 nm, Guardian |
| 782-900-035-252 | Optical Filter, 252 nm, Guardian |
| 782-900-035-265 | Optical Filter, 265 nm, Guardian |
| 782-900-035-267 | Optical Filter, 267 nm, Guardian |
| 782-900-035-294 | Optical Filter, 294 nm, Guardian |
| 782-900-035-304 | Optical Filter, 304 nm, Guardian |
| 782-900-035-325 | Optical Filter, 325 nm, Guardian |
| 782-900-035-358 | Optical Filter, 358 nm, Guardian |
| 782-900-035-364 | Optical Filter, 364 nm, Guardian |
| 782-900-035-396 | Optical Filter, 396 nm, Guardian |
| 782-900-035-417 | Optical Filter, 417 nm, Guardian |
| 782-900-035-451 | Optical Filter, 451 nm, Guardian |
| Artikelnummer | Beschreibung |
| 016-201-G1 | EIES Sensor Emitter Einheit |
| 782-900-038 | Photomultiplier Tube, Guardian |
| 016-509-G22 | In-Vacuum Flux Cable, 22 In, EIES Sensor |
| 782-530-015 | Sensor Filament, EIES Sensor |
