Análisis de gases

Tecnología
Espectrometría de masas Espectroscopia óptica Análisis de combustión Cromatógrafos de gases
Proceso
PVD CVD ALD Grabado Litografía
Presión
< E-5 Torr > E-4 Torr a 1E-2 Torr 1E-2 Torr a 1 Torr > 1 Torr
Límites de detección
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb >10 ppm
Mercado
HVAC/R Fabricación industrial Recubrimientos al vacío Seguridad Energía IDM y fundición de semiconductores Fabricante de herramientas para semiconductores Display/Pantallas Farmacia y medicina Mobiliario y automotriz Investigación y academia Instrumentación analítica Baterías
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