Transpector® XPR 3+
RGA con rango de presión ampliado: innovación mediante los sensores
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Supervisión y control de los cambios rápidos en los procesos
El nuevo analizador de gases residuales (RGA) Transpector XPR 3+ proporciona velocidades de medidas líder en la industria para supervisar y controlar los cambios rápidos en los procesos necesarios para la fabricación de pantallas y semiconductores modernos. Transpector XPR 3+ es ideal para supervisar la contaminación, el hidrocarbono, la pureza de gases y las fugas de aire in situ. La medida en tiempo real con Transpector XPR 3+ ofrece una gran protección de los productos en comparación con la velocidad periódica de pruebas de aumento.
Más rentabilidad gracias al aumento del tiempo de actividad de la herramienta
El RGA Transpector XPR 3+ es un sensor de origen de doble ionización y cuadripolo probado para aplicaciones del rango de presión de pulverización. No es necesario ningún equipo de conversión de presión, los componentes de larga duración y la capacidad de detectar y diagnosticar rápidamente los problemas se combinan para maximizar la disponibilidad de la herramienta y el rendimiento de los productos. El sensor puede funcionar de forma continua desde un vacío elevado a 20 mTorr sin las bombas. Las cámaras de origen de doble ionización Transpector XPR 3+ están diseñadas para limitar el revestimiento y mantener la sensibilidad de la fuente de ionización, y ampliar el tiempo medio del mantenimiento del sensor.
Ventajas
- Ofrece una protección de paneles y obleas en tiempo real debido a la elevada sensibilidad para detectar contaminación y fugas de aire desde un vacío elevado a presiones de procesos PVD.
- Maximiza la eficiencia de PM y el tiempo de actividad de la herramienta con una cualificación de cámara rápida y fiable.
- Minimiza el coste total de propiedad con una mayor duración, resistencia a la contaminación, diseño de origen de doble ionización y supervisa hasta 20 mTorr sin necesitad de bombas. La variante EM de baja presión ofrece una alternativa rentable.
- Ofrece una integración unificada con la fábrica e interceptación fiable gracias a una potente adquisición y sincronización de datos.
- Mejora las funciones de fabricación únicas con una optimización de fórmula adaptada.
- Protege las necesidades de procesos importantes con una respuesta inmediata e in situ por parte de los expertos.
Aplicaciones típicas
- Módulos de procesos de pulverización y PVD
- Módulos limpios previamente
- Herramientas de PVD sin clúster
- Módulos de degasificación fijados
Especificaciones
| Estabilidad de la posición de la masa | <0.1 amu over 24 hours |
| Sensibilidad (modo FC) | ≥4E-7 amps/Torr (3E-7 amps/mbar) |
| Sensibilidad (nominal) | ≥8E-3 amps/Torr (3E-3 amps/mbar) |
| Presión parcial detectable mínima (modo FC) | ≤1E-9 Torr (1.3E-9 mbar) |
| Presión parcial detectable mínima (modo EM) | ≤6E-12 Torr (8E-12 mbar) |
| Presión máxima de funcionamiento (modo FC o EM) | 20 mTorr (2.6E-2 mbar) |
| Presión máxima de funcionamiento (funcionamiento lineal) | 10 mTorr (1.3E-2 mbar) |
