Espectrómetros de masas

Transpector® MPH

Rendimiento inigualable para mejorar los resultados y maximizar el tiempo de actividad

Transpector-MPH

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Personal information
Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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El aumento de los precios de las obleas de silicona y la demanda de productos acabados hacen que las obleas deterioradas cuesten más que nunca. Por tanto, comprender los procesos y controlar los defectos se ha convertido en una gran prioridad en los centros de fabricación de semiconductores. El sistema de análisis de Transpector MPH está diseñado para desbloquear los procesos con un rendimiento líder en el sector para todas las aplicaciones de análisis de gases que ayudan a maximizar el rendimiento de los chips y reducir el tiempo de inactividad de la herramienta. Gracias a su reducido coste de propiedad general y su reducido índice de fallos, Transpector MPH mejorará su balance final más que ningún otro analizador de gases residuales (RGA) del mercado.

INFICON ha aplicado su gran experiencia en equipos de control de procesos de análisis de gases para crear un analizador de gases residuales con la mayor velocidad de recopilación de datos del mercado, una mínima presión parcial detectable y la mejor proporción señal-ruido. Todo ello sin sacrificar la gran fiabilidad de los analizadores de gases Transpector de INFICON.

Características

  • Tasa máxima de datos de 1,8 ms por punto para análisis analógicos y picos seleccionados
  • Conectividad Ethernet TCP/IP
  • Filamentos duales
  • Multiplicador de electrones sustituible en campo
  • Kit de filamento reflector, cátodo y ánodo combinado
  • Los sensores más cortos minimizan la huella de la instalación
  • Rango dinámico de nueve décadas
  • MDPP de <2E-15 Torr (100 amu)
  • Mejor relación señal/ruido
  • Sensores y componentes electrónicos intercambiables
  • Los sensores se montan, se prueban y se empaquetan en entornos esterilizados
  • Cumplimiento de la normativa RoHS

Especificaciones

MPH100M
MPH100F
MPH200M
MPH200F
MPH300M
MPH300F
Rango de masa100 amu
Presión parcial detectable mín. 2E-15 Torr
Sensibilidad (FC)6E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)500 A/Torr
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr
Rango de masa100 amu
Presión parcial detectable mín. 3E-13 Torr
Sensibilidad (FC)6E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)NA
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr
Rango de masa200 amu
Presión parcial detectable mín. 3E-15 Torr
Sensibilidad (FC)5E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)500 A/Torr
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr
Rango de masa200 amu
Presión parcial detectable mín. 4E-13 Torr
Sensibilidad (FC)5E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)NA
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr
Rango de masa300 amu
Presión parcial detectable mín. 4E-15 Torr
Sensibilidad (FC)4E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)250 A/Torr
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr
Rango de masa300 amu
Presión parcial detectable mín. 5E-13 Torr
Sensibilidad (FC)4E-4 A/Torr
Sensibilidad (EM)NA
Presión de funcionamiento máx.5E-4 Torr

Accesorios

961-021-G1Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2m) US plug
961-021-G2Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G3Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) US plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
961-021-G4Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug
961-021-G5Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 15 ft (4.5m) Extension Cable
961-021-G6Power Supply Kit 80 - 250 VAC / 4 ft (1.2 m) 230V plug w/ 30 ft (9m) Extension Cable
600-1190-P8Ethernet 7m cable
600-1190-P15Ethernet 15m cable
600-1428-P1Power Supply Extension Cable- 15 ft (4.5m)
600-1429-P1Power Supply Extension Cable - 30 ft (9m)
961-417-G1Ethernet Router 4 port with Push Button Wi-Fi
961-418-G1Ethernet Switch 8 port
961-702-G1Pirani Interlock Kit
914-024-G1Angle Valve Kit, Manual (includes heater)
914-026-G1MPH Angle Valve Kit, Electropneumatic 24 V(DC) (includes heater)
961-029-G1MPH Heater Kit 120 VAC
961-029-G2MPH Heater Kit 230 VAC
Piezas de repuesto universales
Consumibles
961-416-P1Spare MPH Heating Jacket
914-407-P1Spare Valve Heating Jacket (required heater power cable if stand alone)
600-1117-P1Spare Heater Power Cable 120 VAC
600-1117-P2Spare Heater Power Cable 230 VAC
914-410-P1Spare Angle Valve, Manual
914-220-G1Spare Angle Valve, Air Operated
961-206-G2MPH Extension Kit
961-205-G2MPH HPR Extension Kit
961-022-G1Spare O-Ring and Nut Kit
074-5007-G1Gas Analysis Product Manuals CD
961-700-G1Coated Iridium Filament Kit
961-700-G2Tungsten Filament Kit
961-701-G1Coated Iridium Filament Ion Source
961-701-G2Tungsten Filament Ion Source
961-2428-G2Electron Multiplier Replacement Kit

Piezas de repuesto

MPH100F
MPH100M
MPH200F
MPH200M
MPH300F
MPH300M
961-H1FASMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1FBSMPH Sensor, 100 AMU FC (MPH100F) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H1MASMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H1MBSMPH Sensor, 100 AMU EM/FC (MPH100M) w/ Tungsten Filaments
MP-H10SMPH Electronics Box, 100 AMU FC or EM/FC (MPH100F, MPH100M) w/ Ethernet
961-H2FASMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2FBSMPH Sensor, 200 AMU FC (MPH200F) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H2MASMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H2MBSMPH Sensor, 200 AMU EM/FC (MPH200M) w/ Tungsten Filaments
MP-H20SMPH Electronics Box, 200 AMU FC or EM/FC (MPH200F, MPH200M) w/ Ethernet
961-H3FASMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3FBSMPH Sensor, 300 AMU FC (MPH300F) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
961-H3MASMPH Sensor, 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Y2O3/Ir Filaments
961-H3MBSMPH Sensor 300 AMU EM/FC (MPH300M) w/ Tungsten Filaments
MP-H30SMPH Electronics Box, 300 AMU FC or EM/FC (MPH300F, MPH300M) w/ Ethernet
El producto se utiliza en los siguientes mercados
Analytical-Instrumentation-Navi
Instrumentación analítica

El mercado de los instrumentos analíticos apoya con sus herramientas altamente sofisticadas a los usuarios en un amplio abanico de aplicaciones y mercados. INFICON colabora con los fabricantes de las tecnologías más avanzadas que ayudan a analizar e identificar las estructuras más pequeñas o las composiciones de los elementos, ya sean gases, líquidos o sólidos. 

Más información
Battery-Market-Navi
Baterías

Desde la producción de electrodos hasta las pruebas de final de línea

Más información
Display-Navi
Display/ Pantallas

INFICON respalda la tecnología punta y permite fabricar productos de visualización de la máxima calidad

Más información
energy-market-navi
Energía

El Mercado de la Energía comercializa y suministra energía a una amplia variedad de fabricantes, distribuidores y usuarios finales, cada uno con sus propias necesidades. 

Más información
Industrial-Manufacturing-Navi-2
Fabricación industrial

La industria manufacturera se encarga de la fabricación de productos destinados al uso industrial. El vacío se utiliza más a menudo para garantizar un entorno limpio y es necesario para varios procesos, ya que sin vacío no funcionan.

Más información
Mobility_and_Automotive-Navi
Automoción

Pruebas de fugas fiables en un sector en evolución.

Más información
Pharma_and_Medical-Navi
Farmacia y medicina

Aumentar la productividad y ayudar a cumplir las normas de conformidad y los requisitos de calidad en el sector farmacéutico 

Más información
Research-and-Academia-Navi
Investigación y academia

Revelar los misterios más recónditos del universo a través de la investigación fundamental. Proporcionando hoy la innovación que potencia las tecnologías del mañana.

Más información
Semiconductur-IDM-and-Foundry-Navi
IDM y fundición de semiconductores

Sensores adaptados para una amplia gama de aplicaciones, que garantizan la seguridad del producto, un mayor rendimiento y la máxima productividad.

Más información
Vacuum_Coating-Navi
Recubrimientos al vacío

Los mercados de revestimiento al vacío van mucho más allá de la óptica y se están expandiendo rápidamente a ámbitos, industrias y capas de película que eran casi inimaginables hace sólo diez años.

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