Analizadores ópticos de gases
Augent® OPG550
Vacuómetro óptico de plasma
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
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El medidor óptico de plasma Augent® de INFICON es una solución compacta e inteligente para el monitoreo del vacío. Augent combina dos tecnologías de sensores en un dispositivo compacto para el monitoreo del tipo de gas de 1 x 10-7 a 5 mbar y para medir de presión total de 1 x 10-7 mbar a la atmosférica al mismo tiempo.
Augent está protegido por un sensor Pirani integrado para desconectar el plasma por encima de 20 mbar. El rápido principio óptico de medición permite detectar en principio cualquier tipo de gas.
Ventajas
- La detección de fugas a alta velocidad permite realizar pruebas de fugas en cámara
- Aumento de la productividad y el rendimiento
- Larga vida útil, sin que el filamento se queme, protección contra entrada de aire
- Soporta la química del proceso
- Algoritmo inteligente para facilitar la integración
- Diseño compacto y tamaño reducido P
- Arranque rapido y confiable
Aplicaciones típicas
- Comprobación de fugas en la cámara, prueba RoR (tasa de aumento) más rápida
- Comprobación de fugas para encontrar fugas internas en las líneas de suministro del gas de control
- Tiempo real en punto final de control
- Control del tipo de gas y de las concentraciones
Especificaciones
| Measurement range N2 | mbar Torr | 1×10-7 … 5
|
| Accuracy total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 30 |
| 100 ... 1000 mbar | % of reading | 50 |
| Repeatability total pressure reading N2 | ||
| 1 x 10-7 ... 100 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | +5 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange with electronic unit | °C | <80 |
| Bakeout at flange w/o electronic unit | °C | <120 |
| Supply voltage | ||
| At gauge | V (dc) | +14.5 … +30 |
| Ripple | V (p-p) | <1 |
| Power consumption | W | <5 |
| Fuse to be connected | AT | 1 |
| Materials exposed to vacuum | ||
| General | General | Al2O3, Stainless seel 1.4435 |
| Anode | Anode | Molybdenum |
| Ionization chamber | Ionization chamber | Titanium, stainless steel 1.4016 |
| Ignition aid | Ignition aid | Stainless steel 1.4310 |
Descargas
Fichas técnicas
Manuales
Download GUI-Software
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 3OF0-011-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16KF |
| 3OF0-013-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,16CF-R |
| 3OF0-01E-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,8-VCR f |
| 3OF1-016-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,25KF |
| 3OF1-017-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40KF |
| 3OF1-01Q-010P | OPG550 TI,LC,9DSub,40CF-F |
| Número de parte | Descripción |
| 303-333 | Diagnostic cable for Diagnostic Port (RS232), 2 m |
| 351-051 | 24 V (dc) power supply with analog out and RS232 line |
| 351-052 | Optical window cleaning kit (for gauges with PN 3OF1-xxx-xxxx) |
| Número de parte | Descripción |
| 351-594 | Replacement sensor DN ISO 16 KF |
| 351- 595 | Replacement sensor DN 16 CF-R |
| 351-597 | Replacement sensor DN ISO 25 KF |
| 351-598 | Replacement sensor DN ISO 40 KF |
| 351-599 | Replacement sensor DN ISO 40 CF-F |
| 351-596 | Replacement sensor 8 VCR female |
| 351-055 | Spare ion chamber TI - OPG550 |
| 351-995 | MxG40x/50x, OPG550 Spare parts ignition aid (10) |
El producto se utiliza en los siguientes mercados
