Quantus® LP100+
Análisis de gases en tiempo real y detección de extremos
La supervisión de procesos durante la fabricación de semiconductores se ha vuelto cada vez más crítica a medida que los avances tecnológicos llevan los procesos a sus límites. Incluso pequeñas cantidades de contaminación pueden afectar significativamente a los resultados, por lo que la detección de fugas y puntos finales en tiempo real es esencial en entornos de procesos críticos. El analizador de gases INFICON Quantus® LP100+ está diseñado para identificar instantáneamente y reaccionar ante pequeños cambios, minimizando el rechazo de obleas y mejorando los rendimientos.
Basado en la tecnología de espectroscopia de emisión óptica de autoplasma (SPOES), el Quantus LP100+ proporciona un límite de detección excepcional hasta el rango de ppm bajo y es flexible en cuanto a ubicaciones de instalación, ya sea en la cámara o en la línea de bombeo.
Fabricado con un diseño de sensor único, Quantus LP100+ ofrece ventajas inigualables en comparación con los productos OES tradicionales. El sensor genera un plasma localizado en su célula de plasma, lo que amplía las capacidades de los analizadores de gases basados en OES más allá de las instalaciones de cámaras de plasma a cámaras que no son de plasma y otras ubicaciones de herramientas como la línea de avance o la línea de escape. Con un rango operativo de 10 mTorr a 1 Torr sin necesidad de costosos sistemas de bombeo, el Quantus LP100+ es compatible con muchos procesos, al tiempo que requiere un mantenimiento mínimo y ofrece un bajo coste de propiedad.
El Quantus LP100+ se conecta fácilmente al sistema mediante un puerto KF25 estándar. Su reducido tamaño garantiza que no interfiera con las operaciones cotidianas que tienen lugar dentro y alrededor de una herramienta de proceso.
Características
- Rango operativo de 10 mTorr a 1 Torr
- Excelentes límites de detección hasta un bajo nivel de ppm
- Fácil instalación mediante una conexión KF25 estándar
- Rápida frecuencia de muestreo de 10 Hz
- Bajo mantenimiento, fiabilidad a largo plazo
- Bajo coste de propiedad, sin necesidad de bombas ni consumibles
- Cómoda célula de plasma sustituible in situ
- Tamaño reducido: (Al x An x L) 87 x 150 x 241 mm (3,4 x 5,9 x 9,5 pulg.)
- Asistencia por parte de ingenieros de INFICON experimentados y formados sobre el terreno
Especificaciones
| Presión de funcionamiento | 10 mTorr a 1 Torr (en función de la aplicación) |
| Rendimiento del espectrómetro | Longitudes de onda de 200-850 nanómetros (UV-VIS) Resolución a escala completa de 16 bits, 3648 píxeles |
| Límite de detección | Hasta niveles bajos de ppm (dependiendo de la aplicación) |
| Tiempo de exposición | Mínimo de 1 ms |
| Accesorio de vacío | KF25 |
