센서 및 피드스루
결과를 얻으려면 필터를 재설정하세요.
Easy Rate 싱글 센서는 비용을 최소화하면서 생산을 극대화할 수 있습니다
- Minimum investment with lowest upfront cost
- Lowest total cost of ownership from extended sensor life
- Maximum throughput with less maintenance
- Easy installation
INFICON 전면 장착 싱글 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 2.54cm(1인치) 볼트 피드스루/CF40 피드스루와 함께 사용
- 압축 피팅과 함께 주문한 경우 조정 가능한 길이
INFICON 전면 장착 듀얼 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 듀얼 크리스털
- 크리스탈 셔터
- 전면 장착 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
Cool Drawer 싱글 센서를 사용하면 측면 센서에 크리스탈을 설치할 수 있어 전면 크리스탈 설치 공간이 부족한 시스템에 편리합니다
- 내부 케이블 없음
- Cool Drawer 크리스탈 홀더
- 쉬운 설치
- 용접된 CF40 플랜지와 함께 주문할 경우 베이크 가능
Cool Drawer 듀얼 센서는 진공 챔버에 두 번째 크리스탈이 있는 것이 바람직한 중요한 공정에 사용하도록 설계되어 있습니다
- Dual crystals
- Cool Drawer crystal holder
- No internal cables
- Crystal shutter
Easy Rate 듀얼 센서는 한 개의 크리스탈로 충분하지 않을 수 있는 QCM 적용개소에 간단하고 경제적인 솔루션을 제공합니다
- 듀얼 크리스털
- 가격
- 로우 프로파일 설계
- 크리스털 셔터 포함
INFICON UHV 베이커블 크리스탈 센서는 입증된 안정성과 내구성을 제공하며 시장의 모든 센서 헤드 중 최고의 열 안정성을 보유하고 있습니다
- 고온 납땜 및 용접 구조
- 최고 450°C 베이크아웃 온도
- 크리스탈 셔터(옵션)
- 전면 장착 크리스탈 홀더
INFICON ALD 센서는 QCM(Quartz Crystal Microbalance) 측정의 반복성, 정밀도 및 내구성을 원자층 증착(ALD)까지 가능하게 합니다
- 대부분의 ALD 공정 온도에 사용 가능
- 유지보수를 크게 줄입니다.
- 시스템 가동시간이 극대화됩니다.
- 측정 정확도가 극대화합니다.
INFICON 스퍼터링 센서는 스퍼터링 공정에 사용하기 위해 특별히 설계되었습니다
- 냉각 효율성을 극대화하는 금 도금된 베릴륨 구리 센서 본체 및 냉각 튜브
- 자유 전자를 모니터 크리스탈로부터 편향시키는 자석
- 센서 배치의 유연성을 제공하는 구부러지는 워터 튜브로 쉽게 설치할 수 있음
- 후면 장착 크리스탈 삽입으로 크리스탈을 쉽게 교체할 수 있음
INFICON CrystalSix 센서는 지속적인 속도 제어가 요구되는 긴 공정에서 중요합니다
- Holds 6 crystals with robust, automatic switching to maximize process uptime
- Stable crystal temperature, because crystal switching is pneumatically-driven (competitive units use heat-generating motors)
- 1/8" tubes maintain thermal stability and allow flexibility in sensor placement
- Optional crystal shutter available
INFICON Crystal 12 센서는 INFICON IC6 박막 증착 컨트롤러와 함께 사용할 경우 공정을 중단하지 않고도 크리스탈을 자동으로 교체합니다
- 안정적인 자동 전환 기능으로 12개의 크리스탈을 사용하여 공정 가동 시간을 극대화함
- 제거하기 쉬운 캐러셀로 12개의 크리스탈 모두를 빠르게 교체할 수 있음
- 공압 방식으로 크리스탈을 전환하므로 크리스탈 온도가 안정적임(경쟁 제품은 발열 모터 사용)
- 제거하기 쉬운 전면 증착 실드는 재료 축적으로부터 크리스탈과 캐러셀을 보호하여 유지보수를 위해 전체 센서를 제거할 필요성을 줄여줌
RSH-600 회전 센서 헤드는 매우 두꺼운 막과 몇 가지 다른 재료를 사용하는 까다로운 공정을 위해 설계되었습니다
- 6개의 크리스탈
- 위치 피드백(컨트롤러에 따라 다름)
- 조절 가능한 길이(플랜지 옵션 포함)
- 견고한 디자인
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 많은 QCM 센서와 챔버 구성을 수용합니다
- 2.54cm(1인치) 볼트 또는 CF40(2.75인치 ConFlat®) 스타일 사용 가능
- 사용 가능한 Ultra-Torr O-링 압축 피팅
- 사용자 지정 피드스루 구성 사용 가능
- 요청 시 기타 피드스루 스타일 사용 가능
INFICON은 다양한 QCM(Quartz Crystal Monitor) 센서 피드스루를 제공하여 Easy Rate 센서를 수용합니다
- 2.54 cm (1 in.) bolt or CF40 (2.75 in. ConFlat®) styles available
- Available with bored-through tube fittings