コントローラ

IC6

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IC6薄膜蒸着コントローラーは、INFICONの薄膜コントローラーの証明された性能と、蒸着プロセスから最大限の成果を得るためにデザインされたユニークな機能を組み合わせることで、非常に優れた価値を提供します。IC6は当社のModeLock周波数計測システムを使って、業界をリードする1/10秒ごとに0.00433Å/sの速度分解能で、安定した高分解能の速度と膜厚計測を提供します。IC6の性能、品質、機能を備えた他の水晶振動子コントローラはなく、卓越した再現性を実現することができます。

特徴

INFICONのModeLock技術は、非常に低いレートでも、最も安定した、最も高い解像度のレートと厚みの計測を可能にします
自動Zは、材料が蒸着されるときに自動的にZ比率を決定することによって、厚みの正確さを向上させる
最大6つのソースを同時にコード化することが可能
カラーTFT LCDディスプレイにより、プロセスの状況を容易に確認可能
100msのサンプルで+/-0.0035 Hzを実現
スクリーンショット、レシピ保存、データロギング用のUSBデータストレージ
強力なI/Oにより、シンプルなシステムにも複雑なシステムにも柔軟に対応（拡張可能な入力（28）と出力（24リレー、14TTL出力）、および論理関数（100論理文）の使用）。
6つのDAC出力を標準装備、ソースコントロール、レート、膜厚モニター用に6つの出力をオプションで追加可能
200層×50プロセス、最大10,000層までプロセス連結可能
最大8個のセンサーを使用した複数センサーのアベレージングが可能
4mのXIUオプションにより、大型システム用の長い真空内センサケーブルを使用可能
オプションのEthernet通信
オプションのIC6 Configuration Editor Software (パーツ番号 781-620-G1) - LabVIEW® ベースのWindows® ソフトウェア。
IC5設定ファイルをIC6フォーマットに変換します。
RoHS対応