Sensores inteligentes y software de fabricación para la optimización de procesos y fábricas de semiconductores
Los fabricantes de semiconductores y sus clientes exigen precisión, eficiencia y control para maximizar el rendimiento y la producción. A medida que la industria se enfrenta a nuevos retos, la necesidad de fábricas de semiconductores autónomas, ayudadas por la IA/ML, será fundamental para su éxito futuro. Las soluciones INFICON Smart son fundamentales para dar forma al futuro de la industria de semiconductores. Proporcionamos un conjunto completo de herramientas probadas y diseñadas exclusivamente para optimizar el ciclo completo de los semiconductores, que abarca desde el front end hasta el back end del ecosistema de fabricación de semiconductores, y cubre los sistemas de subfabricación e instalaciones.
El software de fabricación inteligente potencia la semimanufactura
Nuestro paquete de software de fabricación inteligente ofrece las capacidades de supervisión, control y optimización de fábricas más extendidas y completas en las líneas de producción de semiconductores. Nuestro almacén de datos Digital Twin combina los datos de la fábrica en tiempo real en los informes y aplicaciones críticos necesarios para tomar decisiones rápidas de forma eficaz. Herramientas como FabGuard® y SmartFDC® aprovechan el análisis avanzado de datos, el aprendizaje automático y los algoritmos de modelado predictivo para analizar grandes cantidades de datos de proceso en tiempo real, identificar posibles desviaciones o anomalías y optimizar de forma proactiva los parámetros de proceso para maximizar el rendimiento y la productividad, y predecir la necesidad de mantenimiento. Ampliándose a la subfábrica, los sistemas de fabricación inteligente de INFICON proporcionan supervisión y control en tiempo real para mejorar la detección de excursiones e impulsar a las fábricas hacia un funcionamiento más ecológico mediante el control proactivo de los sistemas de subfábrica e instalaciones para adecuar el uso de consumibles a las necesidades de producción. FabControl proporciona soluciones integradas y completas de control avanzado de procesos necesarias para una fabricación inteligente autónoma. FabRecover proporciona un soporte dinámico y en tiempo real para la toma de decisiones de mantenimiento preventivo y correctivo y planes de acción en caso de fuera de control que apoyan la mejora continua mediante el análisis y la revisión basados en datos.
Nuestra reciente adquisición de FabTime, especialista en gestión del tiempo de ciclo, pone de relieve nuestro compromiso de ofrecer una solución total para la próxima generación de fabricación de chips.
Al permitir el mantenimiento predictivo, la detección de fallos y la optimización de procesos, el software de fabricación inteligente de INFICON capacita a los fabricantes de semiconductores para reducir el tiempo de inactividad, mejorar la calidad del producto y aumentar la eficiencia operativa, impulsando en última instancia el ahorro de costes y obteniendo una ventaja competitiva.
Sensores inteligentes para la supervisión de procesos en tiempo real
En el corazón de nuestras soluciones se encuentran los sensores inteligentes de INFICON, fundamentales para resolver o posibilitar los retos del proceso de semiconductores de próxima generación. La sensorización de INFICON mide con precisión las condiciones del proceso en tiempo real, incluyendo: concentraciones de gases traza, impurezas y subproductos del proceso. INFICON permite a los fabricantes controlar los procesos con mayor precisión, lo que se traduce en un mayor rendimiento, un mejor control de los procesos y una reducción de los defectos. Nuestras tecnologías de detección de procesos incluyen:
Los sistemas de análisis de gases Transpector® cuentan con una recopilación de datos, velocidad y sensibilidad líderes en la industria. El avanzado monitor de procesos Transpector APX proporciona la mayor vida útil en sus procesos ALD, CVD y Etch para la mejor protección del sustrato y optimización del proceso. Los Transpector MPH y XPR3+ son ideales para la monitorización in situ de fugas de aire, pureza del gas, hidrocarburos y contaminación. Para la monitorización de procesos en tiempo real en ALD, Etch, CVD y Degas de 300 mm, explore Transpector CPM 3 con una durabilidad y fiabilidad probadas en estas exigentes aplicaciones.
Para la detección de fugas en tiempo real, la detección de puntos finales y la supervisión de procesos, confíe en el analizador de gases INFICON Quantus® HP100, basado en la espectroscopia de emisión óptica por autoplasma (SPOES). El compacto Quantus HP100 ofrece una excelente sensibilidad, un factor de forma compacto y un amplio rango de presión operativa sin costosas bombas, lo que lo hace ideal para la mayoría de las herramientas de semiconductores.
Para la monitorización de precursores, SemiQCM puede instalarse en algunas de las cámaras CVD o ALD más duras. La monitorización de la cantidad de precursor en la línea de entrada o en el escape de la cámara permite eliminar puntos finales y fallos. El SemiQCM in situ proporciona una supervisión del proceso asequible y una mayor rentabilidad del proceso de semiconductores.
A medida que la arquitectura de los dispositivos sigue creciendo verticalmente con un aumento de las capas de apilamiento tanto en la memoria como en la lógica, la detección precisa del punto final del grabado se está convirtiendo en un reto cada vez mayor. El conjunto de sensores de RF de INFICON proporciona una supervisión del plasma en tiempo real para el control más preciso del grabado, junto con la detección de arco de alta velocidad para una mayor seguridad de la oblea.
Los Sensores Inteligentes de INFICON ayudan a garantizar unas condiciones óptimas para la deposición de semiconductores, el grabado y otros procesos críticos. Estos sensores inteligentes también desempeñan un papel importante en el mantenimiento del entorno estéril necesario para la fabricación de chips. Estas tecnologías detectan incluso las fugas más pequeñas en las cámaras de vacío, evitando la contaminación y garantizando la integridad del producto final. Este enfoque en el control de calidad ayuda a los semielaboradores a mantener una alta fiabilidad y consistencia en sus chips.
INFICON comprende la creciente importancia de la sostenibilidad en la industria de los semiconductores. Nuestro sistema de control de subfabricación e instalaciones ayuda a los fabricantes a optimizar el consumo de energía y el uso de consumibles con el objetivo de reducir las emisiones de gases de efecto invernadero, mejorando así un proceso de fabricación respetuoso con el medio ambiente. Nuestro gemelo digital basado en herramientas inteligentes permite a los ingenieros recopilar datos de una amplia gama de sensores, medidores, instalaciones y otros dispositivos para desarrollar la visión más completa de las herramientas de proceso en la industria. La combinación de esta sólida recopilación de información del proceso con datos de subfábrica e instalaciones proporciona una visión clara de los posibles impactos del proceso y mejores métodos de control.
INFICON es un socio de confianza de los mayores fabricantes de semiconductores del mundo y un líder del sector en instrumentación y software para la optimización de procesos y fábricas. Nuestro variado conjunto de soluciones, desde precisas herramientas de medición hasta avanzadas plataformas de software, desempeñan un papel importante en el avance de la fabricación de semiconductores. Al centrarse en la precisión, la eficiencia, la calidad y la sostenibilidad, INFICON ayuda a garantizar la producción de chips fiables y de alto rendimiento que impulsan nuestro mundo cada vez más interconectado. Con INFICON, obtendrá el apoyo de expertos de todo el mundo para sus necesidades particulares de proceso.
