Garantizar la calidad en la fabricación de semiconductores con soluciones avanzadas de detección de fugas

Semiconductor manufacturing environment
Semiconductor chip with hands
Semiconductor chip with hands

Los semiconductores desempeñan un papel fundamental en la industria electrónica actual. Se utilizan en ordenadores, teléfonos inteligentes, automóviles, electrodomésticos, sistemas de juego y equipos médicos, y la creciente demanda de chips exige procesos de fabricación precisos. La detección precisa de fugas desempeña un papel vital para mantener unas condiciones óptimas y hacer frente a los retos de la industria de los semiconductores. He aquí cómo las soluciones de detección de fugas de INFICON contribuyen a garantizar la calidad en la fabricación de semiconductores:

  • Mantenimiento del vacío: la detección precisa de fugas garantiza la integridad de las condiciones de vacío que son cruciales para los procesos de semiconductores. Identificar y reparar incluso las fugas más pequeñas es esencial para garantizar las propiedades únicas de los semiconductores.
  • Preservación de las condiciones de las salas limpias: la detección de fugas con gas trazador es un método no contaminante y se ajusta a los procedimientos de las salas limpias. Esto evita la introducción de partículas y contaminantes, manteniendo las estrictas normas de limpieza de las salas blancas de semiconductores.
  • Localización de fugas complejas: las tecnologías avanzadas de detección de fugas, incluido el uso de gases trazadores, localizan eficazmente las fugas en diseños complejos de herramientas de semiconductores. Esta capacidad es vital para identificar y tratar fugas en diversas configuraciones de equipos de semiconductores.
  • Garantizar la sensibilidad y la precisión: la detección de fugas precisa y altamente sensible garantiza la identificación incluso de las fugas más pequeñas. Este nivel de precisión es crítico para mantener la pureza requerida en los procesos de fabricación de semiconductores, prevenir defectos y garantizar la calidad del producto.
  • Compatibilidad de materiales: las soluciones de detección de fugas de INFICON están diseñadas para ser compatibles con los materiales semiconductores. Esto es crucial para evitar interacciones adversas que podrían dañar o alterar los materiales utilizados en la fabricación de semiconductores.
  • Detección rápida de fugas para un alto rendimiento: los fiables sistemas de detección de fugas que ofrece INFICON permiten obtener resultados rápidos y fiables, lo que contribuye a un alto rendimiento en la fabricación de semiconductores. La rápida identificación y resolución de fugas minimiza el tiempo de inactividad, garantizando una eficiencia óptima de la producción.
  • Integración con sistemas automatizados: las soluciones de detección de fugas de INFICON se integran perfectamente con los sistemas automatizados, proporcionando información en tiempo real. Esta integración permite una supervisión continua, una respuesta inmediata a las fugas y contribuye a la eficiencia global de los equipos (OEE) de los procesos automatizados de fabricación de semiconductores.
  • Soluciones rentables: INFICON se compromete a desarrollar soluciones rentables de detección de fugas que equilibren la precisión con las consideraciones de coste. De este modo, se pueden reducir los costes en la fabricación de semiconductores sin comprometer la fiabilidad.
operator holds wafer semiconductor manufacturing
operator holds wafer semiconductor manufacturing

La oferta de INFICON

INFICON ofrece detectores de fugas tanto para olfateo como para pruebas de fugas en vacío, para su uso en la fabricación de chips semiconductores, en líneas de producción de células solares, pantallas planas, recubrimiento de láminas de vidrio y plástico, y sistemas de vacío en general.

La serie UL6000 Fab es la serie insignia de nuestra cartera de detectores de fugas de helio móviles UL. Está diseñada para los mayores volúmenes de herramientas de las últimas fábricas de semiconductores y las grandes herramientas de revestimiento utilizadas en la fabricación de células solares, pantallas planas y revestimiento de hoja a hoja o de rollo a rollo (web). La unidad proporciona los tiempos de respuesta más rápidos en todos los rangos de medición y ofrece tiempos de prueba extremadamente cortos, lo que hace que la detección de fugas sea precisa, rápida y sencilla. Su reducido tamaño garantiza la mejor maniobrabilidad y un espacio de trabajo adecuado en los requisitos de espacio para herramientas más ajustados de las últimas fábricas de semiconductores, en un esfuerzo por utilizar el costoso espacio de la sala blanca de la forma más eficiente.

UL6000-Fab-PLUS
UL6000-Fab-PLUS

La serie UL3000 Fab de detectores móviles de fugas de helio se ha diseñado específicamente para las necesidades de comprobación de fugas de la mayoría de las herramientas de las últimas fábricas de semiconductores. Se caracteriza por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha, alta sensibilidad, resultados rápidos y precisos de las pruebas y fiabilidad. Su pequeño tamaño, como el UL6000 Fab, garantiza la mejor maniobrabilidad y un espacio de trabajo óptimo en los requisitos de espacio para herramientas más reducidos de las fábricas modernas.

UL3000-Fab-ULTRA
UL3000-Fab-ULTRA

La serie UL1000 Fab de detectores móviles de fugas de helio es el estándar de renombre cuando se trata de pruebas económicas de fugas de helio al vacío en entornos industriales o de semiconductores, en particular para volúmenes de cámara más pequeños. La unidad ofrece el mejor compromiso entre alto rendimiento, robustez sin igual y asequibilidad.

UL1000
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