UL1000 Fab
ULTRATEST™ sensor technology.
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El estándar «en seco» para pruebas de estanqueidad al vacío en la fabricación de semiconductores y vacío industrial
El detector de fugas de helio INFICON UL1000 Fab es el estándar más famoso en cuanto a pruebas económicas de estanqueidad al vacío con helio en entornos industriales o de semiconductores.
La posible contaminación de las piezas o equipos analizados por compuestos o partículas de carbono-hidrógeno se elimina con la tecnología de bomba en seco del instrumento. El UL1000 Fab ofrece el mejor equilibro entre alta prestación, robustez incomparable y asequibilidad. Proporciona unos avanzados límites de detección de 10-12 mbar*l/s combinados con un tiempo razonablemente corto de reacción y de bombeo. El diseño económico ofrece una alta maniobrabilidad, lo que permite un acceso sencillo a las zonas de mantenimiento con espacio limitado. La supresión de fondo seleccionable (iZERO) permite la detección continua de fugas dentro de al menos dos décadas menos que los niveles de fondo existentes.
Todas las funciones permiten acortar el tiempo de las pruebas de estanqueidad asegurando que todas las fugas puedan ser identificadas de manera económica.
Ventajas
- minimiza el esfuerzo dedicado a las pruebas de estanqueidad gracias a un tiempo rápido de bombeo y de reacción
- evita la necesidad de realizar múltiples pruebas de estanqueidad al usar la supresión de fondo seleccionable (iZERO)
- permite acceder fácilmente a zonas de mantenimiento con espacio limitado gracias a un diseño adaptable
- bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a una robusta fuente iónica de dos filamentos calientes (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
- fácil de usar con pantalla giratoria, indicación de fuga óptica y acústica y mando a distancia opcional
- bajo mantenimiento gracias a una detección de fugas integrada con método de autocalibración
Aplicaciones Tipicas
- producción de equipos de vacío industrial con exigencias altas de limpieza
- componentes de vacío o subconjuntos antes de instalarlos en herramientas existentes
- tareas de mantenimiento en herramientas de vacío, con o sin el apoyo de su propia bomba
- inspecciones e instalaciones de sistemas de gas de proceso
- fabricación de semiconductores, pantallas planas o células solares
Especificaciones
| Type | mbar•L/s | < 5 • 10-12 |
| Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de vacío) | mbar•L/s | < 5·10-8 |
| Tasa de fuga mínima detectable para helio (modo de muestreo) | mbar | 15 |
| Presión de entrada máx. modo GROSS | mbar | 2 |
| Presión de entrada máx. modo FINE | mbar | 0.4 |
| Presión de entrada máx. modo ULTRA | m³/h | 25 at 50 Hz |
| Velocidad de bombeo durante la evacuación | L/s | 2.5 |
| Velocidad de bombeo de helio modo ULTRA | 2,3,4 amu | |
| Masas detectables | 180° | |
| Campo sector espectrómetro de masa | 2 | |
| Filamentos fuente de iones con recubrimiento de iridio/itrio | mbar•L/s | ∼ 10-7 |
| Fuga calibrada incorporada | DN 25 KF | 1 |
| Orificio de prueba | 2 | |
| Disparadores ajustables | RS 232 | |
| Interfaz | V | 2 x10 |
| Salida del registrador gráfico | PLC compatible | |
| Entradas/salidas | °C | +10 to +40 |
| Temperatura ambiente admisible (en funcionamiento) | kg lb | 110 242 |
| Peso | mm in. | 1050 x 472 x 987 41 x 19 x 39 |
| Dimensiones (L x An x Al) | V (ac) | 230 (± 10 %) 50 Hz |
| Tensión conexión (EU) | V (ac) | 100/115 V (± 10 %) 50/60 Hz |
| Tensión conexión (US) | VA | 1100 |
| Consumo de energía (typ.) | VA | 1100 |
| 550-100A | UL1000 Fab, 230 V AC, EU plug |
| 550-101A | UL1000 Fab, 100/115 V AC, US plug |
| 14022 | Extension cable for remote control RC1000, 8 m length |
| 551-000 | Toolbox, detachable,for UL1000 |
| 551-001 | Helium Bottle Holder for UL1000/5000 |
| 551-002 | ESD Mat for UL1000/5000 |
| 551-005 | TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-020 | Wireless transmitter for RC1000WL |
| RC1000 Remote Control | RC1000 Remote Control |
| TC1000 Test Chamber | TC1000 Test Chamber |
