Detector de fugas de helio

UL3000 Fab Series

ULTRATEST ™ sensor technology

UL3000-Fab-ULTRA

Product configurator

Gemini™ MxG5xx

Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Your configuration
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Flange
DN 16 ISO-KF
Switching functions
None
Electrical Connection
FCC, 8-pin
Digital Interface
None
Measurement range
1.2 - 8.68 V
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Product
inficon-gauge
Gemini™ MxG5xx
Gemini™ MAG500
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Diseñada específicamente para las necesidades de comprobación de fugas en aplicaciones de semiconductores.

Se caracteriza por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha, alta sensibilidad, resultados rápidos y precisos de las pruebas y fiabilidad.

  • Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo del aire.
  • Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
  • Comience antes la comprobación de fugas ya que el software HYDRO-S elimina el vapor de agua 
    de fondo, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles.
  • La UL3000 Fab ULTRA ofrece también una capacidad de sniffer mejorada mediante el uso de la bien probada línea de sniffer SL3000 que tiene hasta 10 m de longitud. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.


Resultados rápidos

El sistema de vacío mejorado con bombas de vacío de bajo mantenimiento permite la detección de fugas a partir de la presión atmosférica. El robusto sistema del espectrómetro de masas garantiza un largo tiempo de funcionamiento y bajos costes de mantenimiento.

 

Rotatable display and remote controllable user interface

La nueva pantalla táctil muestra los resultados de las pruebas y la información de estado incluso a larga distancia. Fácil manejo mediante una estructura de menús guiada por el usuario, incluso para operadores sin experiencia. Es posible el control inalámbrico de la UL3000 Fab (ULTRA) a través de un smartphone o una tableta, sin necesidad de software ni aplicaciones especiales. La grabación y el almacenamiento de los resultados de las pruebas mediante pulsador pueden transferirse a otros medios de almacenamiento para su posterior análisis.

 

Slim design for advanced maneuverability

El bajo centro de gravedad, las grandes ruedas, la empuñadura de diseño ergonómico y la delgada carcasa permiten una buena movilidad de la UL3000 Fab (ULTRA) incluso en espacios reducidos.
 

Ventajas

  • Ahorre tiempo con el algoritmo de software I-CAL para mediciones rápidas en el rango de 10-9 a 10-12 mbar-l/s
  • Comprobación de fugas más eficaz mediante I-ZERO 2.0 con función inteligente mejorada para rápida supresión del fondo manteniendo una alta sensibilidad de medición
  • Aplicable para la búsqueda de fugas por vacío y sniffer
  • Minimiza los esfuerzos de comprobación de fugas gracias a su rápida evacuación y tiempo de respuesta
  • Ahorro de tiempo por su fácil maniobrabilidad gracias a su diseño delgado
  • Bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a la robusta fuente de iones (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
  • HMI fácil de usar y guiada por el operador con pantalla giratoria de alta resolución a todo color
  • UL3000 Fab ULTRA: Comience antes la comprobación de fugas, ya que el software HYDRO-S elimina el fondo de vapor de agua, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles
  • UL3000 Fab ULTRA: Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo de aire de la bomba de raíces
  • UL3000 Fab ULTRA: Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
  • UL3000 Fab ULTRA: El detector de fugas ofrece también una capacidad de olfateo mejorada mediante el uso de la línea de olfateo SL3000, de probada eficacia y con una longitud de hasta 10 m. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.

Aplicaciones típicas

  • Fábricas de semiconductores
  • Fabricación de pantallas planas
  • Fabricación de células solares
  • Recubrimiento de vidrio y Web (rollo a rollo)
  • Recubrimiento al vacío y aplicaciones generales

Especificaciones

UL3000 Fab
UL3000 Fab ULTRA
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>30
Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA)L/s4
Dimensions (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Additional FeaturesRoots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder
Max. pumping speed of roughing pumpm³/h>36
Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA)L/s4
Dimensions (LxWxH)mm
in.
1050x472x987
42x21x34
Additional FeaturesRoots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder
Número de parte
Accesorios
Consumibles
550-260UL3000 Fab ULTRA
550-200UL3000 Fab
Número de parteDescripción
551-010Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203Bracket for SL3000
551-210SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201Helium Bottle Holder
560-310I/O 1000 module
560-315BM1000 PROFIBUS module
560-316BM1000 PROFINET IO module
560-317BM1000 DeviceNet module
560-318BM1000 Ethernet/IP module
560-334Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332Data Cable 2 m
560-335Data Cable 5 m
560-340Data Cable 10 m
551-005TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band
551-205extension cable for TC1000/SL200, UL3000
Número de parteDescripción
200007656Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

Descargas

Manuales
UL3000 Fab ULTRA-操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 4,8 MB Chino Manual de instrucciones
UL3000 Fab 操作手冊 Operating Instructions (zh-tw)
pdf 3,6 MB Chino Manual de instrucciones
UL3000 Fab 操作说明书 Operating instructions
pdf 3,7 MB Chino Manual de instrucciones
IO1000 操作说明书
pdf 1,4 MB Chino Manual de instrucciones
UL3000 Fab Betriebsanleitung
pdf 3,5 MB Alemán Manual de instrucciones
UL3000 Fab ULTRA Betriebsanleitung
pdf 4,7 MB Alemán Manual de instrucciones
RC1000 Betriebsanleitung
pdf 2,1 MB Alemán Manual de instrucciones
BM1000 Operating manual
pdf 1.004,7 KB Alemán Manual de instrucciones
IO1000 Betriebsanleitung
pdf 1,3 MB Alemán Manual de instrucciones
Halterung SL3000
pdf 328,7 KB Alemán Manual de instrucciones
TC1000 Betriebsanleitung
pdf 340,5 KB Alemán Manual de instrucciones
UL3000 Fab Operating instructions
pdf 3,5 MB Inglesa Manual de instrucciones
UL3000 Fab ULTRA Operating instructions
pdf 4,7 MB Inglesa Manual de instrucciones
RC1000 Operating instructions
pdf 2,1 MB Inglesa Manual de instrucciones
RC1000 Notice d'utilisation
pdf 2,1 MB Frances Manual de instrucciones
BM1000 Operating manual
pdf 734,7 KB Inglesa Manual de instrucciones
IO1000 Operating manual
pdf 1,3 MB Inglesa Manual de instrucciones
UL3000 Fab ULTRA инструкция по эксплуатации
pdf 5,2 MB Ruso Manual de instrucciones
TC1000 Operating Manual
pdf 353,8 KB Inglesa Manual de instrucciones
UL3000 Fab 操作説明
pdf 3,7 MB Japonés Manual de instrucciones
UL3000-Fab-ULTRA-사용 설명서
pdf 4,7 MB Coreano Manual de instrucciones
UL3000-Fab-ULTRA-操作说明书
pdf 4,9 MB Chino Manual de instrucciones
BM1000 Operating manual
pdf 824,6 KB Chino Manual de instrucciones
BM1000 Operating manual
pdf 640,6 KB Español Manual de instrucciones
IO1000 Manual de instrucciones
pdf 1,3 MB Español Manual de instrucciones
SL3000 bracket
pdf 148,3 KB Inglesa Manual de instrucciones
UL3000-Fab-ULTRA-Manual-de-instrucciones
pdf 4,7 MB Español Manual de instrucciones