UL3000 Fab Series
ULTRATEST ™ sensor technology

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Diseñada específicamente para las necesidades de comprobación de fugas en aplicaciones de semiconductores.
Se caracteriza por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha, alta sensibilidad, resultados rápidos y precisos de las pruebas y fiabilidad.
- Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo del aire.
- Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- Comience antes la comprobación de fugas ya que el software HYDRO-S elimina el vapor de agua
de fondo, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles. - La UL3000 Fab ULTRA ofrece también una capacidad de sniffer mejorada mediante el uso de la bien probada línea de sniffer SL3000 que tiene hasta 10 m de longitud. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Resultados rápidos
El sistema de vacío mejorado con bombas de vacío de bajo mantenimiento permite la detección de fugas a partir de la presión atmosférica. El robusto sistema del espectrómetro de masas garantiza un largo tiempo de funcionamiento y bajos costes de mantenimiento.
Rotatable display and remote controllable user interface
La nueva pantalla táctil muestra los resultados de las pruebas y la información de estado incluso a larga distancia. Fácil manejo mediante una estructura de menús guiada por el usuario, incluso para operadores sin experiencia. Es posible el control inalámbrico de la UL3000 Fab (ULTRA) a través de un smartphone o una tableta, sin necesidad de software ni aplicaciones especiales. La grabación y el almacenamiento de los resultados de las pruebas mediante pulsador pueden transferirse a otros medios de almacenamiento para su posterior análisis.
Slim design for advanced maneuverability
El bajo centro de gravedad, las grandes ruedas, la empuñadura de diseño ergonómico y la delgada carcasa permiten una buena movilidad de la UL3000 Fab (ULTRA) incluso en espacios reducidos.
Ventajas
- Ahorre tiempo con el algoritmo de software I-CAL para mediciones rápidas en el rango de 10-9 a 10-12 mbar-l/s
- Comprobación de fugas más eficaz mediante I-ZERO 2.0 con función inteligente mejorada para rápida supresión del fondo manteniendo una alta sensibilidad de medición
- Aplicable para la búsqueda de fugas por vacío y sniffer
- Minimiza los esfuerzos de comprobación de fugas gracias a su rápida evacuación y tiempo de respuesta
- Ahorro de tiempo por su fácil maniobrabilidad gracias a su diseño delgado
- Bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a la robusta fuente de iones (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
- HMI fácil de usar y guiada por el operador con pantalla giratoria de alta resolución a todo color
- UL3000 Fab ULTRA: Comience antes la comprobación de fugas, ya que el software HYDRO-S elimina el fondo de vapor de agua, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles
- UL3000 Fab ULTRA: Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo de aire de la bomba de raíces
- UL3000 Fab ULTRA: Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- UL3000 Fab ULTRA: El detector de fugas ofrece también una capacidad de olfateo mejorada mediante el uso de la línea de olfateo SL3000, de probada eficacia y con una longitud de hasta 10 m. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Aplicaciones típicas
- Fábricas de semiconductores
- Fabricación de pantallas planas
- Fabricación de células solares
- Recubrimiento de vidrio y Web (rollo a rollo)
- Recubrimiento al vacío y aplicaciones generales
Especificaciones
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >30 |
Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA) | L/s | 4 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
Additional Features | Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder |
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA) | L/s | 4 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
Additional Features | Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder |
550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
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550-200 | UL3000 Fab |
Número de parte | Descripción |
551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
551-203 | Bracket for SL3000 |
551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
551-201 | Helium Bottle Holder |
560-310 | I/O 1000 module |
560-315 | BM1000 Profibus module |
560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
560-317 | BM1000 DeviceNet module |
560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
560-332 | Data Cable 2 m |
560-335 | Data Cable 5 m |
560-340 | Data Cable 10 m |
551-005 | TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band |
551-205 | extension cable for TC1000/SL200, UL3000 |
Número de parte | Descripción |
200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |