Detector de fugas de helio
UL3000 Fab Series
ULTRATEST ™ sensor technology
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
Request
Your configuration has been successfully sent!
Diseñada específicamente para las necesidades de comprobación de fugas en aplicaciones de semiconductores.
Se caracteriza por su flexibilidad, movilidad, rápida puesta en marcha, alta sensibilidad, resultados rápidos y precisos de las pruebas y fiabilidad.
- Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo del aire.
- Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- Comience antes la comprobación de fugas ya que el software HYDRO-S elimina el vapor de agua
de fondo, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles. - La UL3000 Fab ULTRA ofrece también una capacidad de sniffer mejorada mediante el uso de la bien probada línea de sniffer SL3000 que tiene hasta 10 m de longitud. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Resultados rápidos
El sistema de vacío mejorado con bombas de vacío de bajo mantenimiento permite la detección de fugas a partir de la presión atmosférica. El robusto sistema del espectrómetro de masas garantiza un largo tiempo de funcionamiento y bajos costes de mantenimiento.
Rotatable display and remote controllable user interface
La nueva pantalla táctil muestra los resultados de las pruebas y la información de estado incluso a larga distancia. Fácil manejo mediante una estructura de menús guiada por el usuario, incluso para operadores sin experiencia. Es posible el control inalámbrico de la UL3000 Fab (ULTRA) a través de un smartphone o una tableta, sin necesidad de software ni aplicaciones especiales. La grabación y el almacenamiento de los resultados de las pruebas mediante pulsador pueden transferirse a otros medios de almacenamiento para su posterior análisis.
Slim design for advanced maneuverability
El bajo centro de gravedad, las grandes ruedas, la empuñadura de diseño ergonómico y la delgada carcasa permiten una buena movilidad de la UL3000 Fab (ULTRA) incluso en espacios reducidos.
Ventajas
- Ahorre tiempo con el algoritmo de software I-CAL para mediciones rápidas en el rango de 10-9 a 10-12 mbar-l/s
- Comprobación de fugas más eficaz mediante I-ZERO 2.0 con función inteligente mejorada para rápida supresión del fondo manteniendo una alta sensibilidad de medición
- Aplicable para la búsqueda de fugas por vacío y sniffer
- Minimiza los esfuerzos de comprobación de fugas gracias a su rápida evacuación y tiempo de respuesta
- Ahorro de tiempo por su fácil maniobrabilidad gracias a su diseño delgado
- Bajo coste total de propiedad (TCO) gracias a la robusta fuente de iones (3 años de garantía) y al sistema de vacío a contracorriente
- HMI fácil de usar y guiada por el operador con pantalla giratoria de alta resolución a todo color
- UL3000 Fab ULTRA: Comience antes la comprobación de fugas, ya que el software HYDRO-S elimina el fondo de vapor de agua, lo que permite alcanzar rápidamente rangos de medición sensibles
- UL3000 Fab ULTRA: Tiempos de bombeo (evacuación) más rápidos gracias a la mayor velocidad de bombeo de aire de la bomba de raíces
- UL3000 Fab ULTRA: Menor coste total de propiedad (TCO) gracias a la bomba de desbaste de raíces de bajo mantenimiento.
- UL3000 Fab ULTRA: El detector de fugas ofrece también una capacidad de olfateo mejorada mediante el uso de la línea de olfateo SL3000, de probada eficacia y con una longitud de hasta 10 m. El SL3000 dispone de un puerto de conexión independiente, por lo que no es necesario conectarlo a la entrada de vacío.
Aplicaciones típicas
- Fábricas de semiconductores
- Fabricación de pantallas planas
- Fabricación de células solares
- Recubrimiento de vidrio y Web (rollo a rollo)
- Recubrimiento al vacío y aplicaciones generales
Especificaciones
UL3000 Fab
UL3000 Fab ULTRA
| Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >30 |
| Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA) | L/s | 4 |
| Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Additional Features | Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder | |
| Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
| Helium pumping speed (high sensitive mode ULTRA) | L/s | 4 |
| Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x472x987 42x21x34 |
| Additional Features | Roots dry pump with highest air pumping speed, HYDRO·S, separate sniffer line port for SL3000, vacuum hose holder | |
Número de parte
Accesorios
Consumibles
| 550-260 | UL3000 Fab ULTRA |
|---|---|
| 550-200 | UL3000 Fab |
| Número de parte | Descripción |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
| 551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
| 525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
| 525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
| 525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
| 551-203 | Bracket for SL3000 |
| 551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
| 551-201 | Helium Bottle Holder |
| 560-310 | I/O 1000 module |
| 560-315 | BM1000 Profibus module |
| 560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
| 560-317 | BM1000 DeviceNet module |
| 560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
| 560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
| 560-332 | Data Cable 2 m |
| 560-335 | Data Cable 5 m |
| 560-340 | Data Cable 10 m |
| 551-005 | TC1000Test Chamber,DN25KF,ESD wrist band |
| 551-205 | extension cable for TC1000/SL200, UL3000 |
| Número de parte | Descripción |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
Descargas
Folletos
UL3000 Fab (ULTRA) Mobile Helium Leak Detector
pdf
•
894,2 KB
•
Inglesa
UL3000 Fab (ULTRA) Détecteur de fuite mobile à l'hélium
pdf
•
880,3 KB
•
Frances
UL3000 Fab（ULTRA）モバイルヘリウムリークディテクター
pdf
•
941,7 KB
•
Japonés
UL3000 Fab (ULTRA) 이동식 헬륨 누설 탐지기
pdf
•
1,0 MB
•
Coreano
UL3000 Fab (ULTRA) Detector de fugas de helio móvil
pdf
•
874,0 KB
•
Español
UL3000 Fab (ULTRA) 可移动式氦气检漏仪
pdf
•
1.018,0 KB
•
Chino
Manuales
UL3000-Fab-ULTRA-사용 설명서
pdf
•
4,7 MB
•
Coreano
UL3000-Fab-ULTRA-操作说明书
pdf
•
4,7 MB
•
Chino
BM1000 Operating manual
pdf
•
824,6 KB
•
Chino
IO1000 操作说明书
pdf
•
1,4 MB
•
Chino
UL3000 Fab 操作说明书 Operating instructions
pdf
•
3,5 MB
•
Chino
BM1000 Operating manual
pdf
•
734,7 KB
•
Inglesa
IO1000 Operating manual
pdf
•
1,3 MB
•
Inglesa
UL3000 Fab ULTRA инструкция по эксплуатации
pdf
•
5,1 MB
•
Ruso
UL3000 Fab 操作説明
pdf
•
3,5 MB
•
Japonés
UL3000 Fab Betriebsanleitung
pdf
•
3,4 MB
•
Alemán
RC1000 Betriebsanleitung
pdf
•
2,1 MB
•
Alemán
BM1000 Operating manual
pdf
•
1.004,7 KB
•
Alemán
IO1000 Betriebsanleitung
pdf
•
1,3 MB
•
Alemán
Halterung SL3000
pdf
•
328,7 KB
•
Alemán
UL3000 Fab Operating instructions
pdf
•
3,3 MB
•
Inglesa
RC1000 Operating instructions
pdf
•
2,1 MB
•
Inglesa
RC1000 Notice d'utilisation
pdf
•
2,1 MB
•
Frances
BM1000 Operating manual
pdf
•
640,6 KB
•
Español
IO1000 Manual de instrucciones
pdf
•
1,3 MB
•
Español
SL3000 bracket
pdf
•
148,3 KB
•
Inglesa
UL3000-Fab-ULTRA-Manual-de-instrucciones
pdf
•
4,6 MB
•
Español
Catálogos
El producto se utiliza en los siguientes mercados
