Detector de fugas de helio

UL6000 Fab Series

Establece estándares de rapidez y precisión en las pruebas de estanqueidad

El detector de fugas de helio UL6000 de INFICONse ha diseñado para las aplicaciones de detección de fugas más críticas y exigentes. El dispositivo UL6000, que incluye los algoritmos de software I-CAL y Hydro-S de INFICON en un diseño de vacío comprobado, proporciona una gran flexibilidad en las pruebas, una elevada sensibilidad y resultados precisos y rápidos para una detección de fugas rápida y sencilla.

Los tiempos de respuesta del dispositivo UL6000 son rápidos en todos los rangos de medición y el plazo para alcanzar las condiciones de prueba y obtener los resultados finales es extremadamente corto. La específica arquitectura de vacío proporciona los elevados valores de velocidad constante de bombeo de helio y tiempo de respuesta que necesita.

Ventajas

HYDRO-S (Supresión de HIDRÓgeno) para alcanzar rápidamente las condiciones de prueba.

UL6000 Fab PLUS - Additional Advantages

Featuring I·RISE, our intelligent rate-of-rise: Provides in-device pressure increase testing combined with helium spraying method
Rate-of-rise measurements in under 10 seconds
Helps minimize general time for leak testing and fab equipment maintenance
More speed, more precision
I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates, algoritmo de cálculo inteligente para tasas de fuga) para garantizar una respuesta rápida a las fugas en todos los rangos de medición.
Una bomba turbomolecular de varias entradas que proporciona velocidades de bombeo de helio optimizadas con un elevado nivel de compresión de helio a cualquier presión. El resultado es una limpieza de gran sensibilidad, respuesta y rapidez.
Una bomba propulsora turbomolecular ofrece una respuesta extremadamente rápida en cualquier objeto de prueba, incluidos los volúmenes y cámaras más grandes.
El dispositivo de espectrometría de masas de sector magnético de INFICON, probado durante años con resultados precisos y repetibles, cuenta con un diseño que no requiere mantenimiento y libre de problemas.
Características de protección automática para el UL6000 contra la contaminación por helio y partículas, así como un ciclo de purga automática para garantizar que el UL6000 está listo cuando se necesite.
Una interfaz de control/pantalla giratoria y un controlador remoto opcional para una mayor flexibilidad durante la operación.
El control de acceso al software del sistema y la unidad se puede habilitar a través del software para impedir el uso no autorizado o las modificaciones accidentales en las configuraciones de prueba.
Actualizaciones de software por correo electrónico para disfrutar de un rendimiento óptimo del dispositivo UL6000.
Un nuevo diseño de estación de trabajo con una superficie de trabajo a una altura ideal que incluye una alfombrilla ESD y una caja de herramientas para una prueba más cómoda.

Aplicaciones típicas

Cámaras de gran tamaño, subconjuntos y componentes para pruebas de fugas utilizados en herramientas de pantallas planas y semiconductores
Herramientas de pantallas planas y semiconductores para pruebas de fugas
Sistemas, subconjuntos y componentes aeroespaciales para pruebas de fugas
Tanques de almacenamiento/recipientes de almacenamiento para pruebas de fugas

Especificaciones

UL 6000 Fab

UL 6000 Fab PLUS

Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)	mbar∙L/s	<5∙10^-12

Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)	mbar∙L/s	<5∙10^-8

Max. inlet pressure (MASSIVE mode)		atm (~1013 mbar)

Type of roughing pump		roots

Max. pumping speed of roughing pump	m³/h	>36

Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar)	m³/h	23

Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)	m³/h	26

Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)	L/s	>36

Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40	L/s	~ 30

Evacuation Time to 1 mbar 50 L	s	52

Response time for 50 L	s	1.4

Evacuation time to 1 mbar 50 L	s	52

Evacuation time to 1 mbar 100 L*	s	104

Evacuation time to 1 mbar 500 L*	s	527

Evacuation time to 1 mbar 1000 L*	s	1054

Venting 50 L to atm. 16 s	s	16

Run up time for operation	min	<2

Time for calibration	s	<30 s

Inlet flange		DN63 ISO-K

Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)		2,3,4 (H₂, ³He, He)

Supply voltage	V	100 to 230, 50/60 Hz

Max. Power Consumption	VA	1500

Typ. Power Consumption	VA	700

Weight	kg	143

Dimensions (LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41

*extrapolated

Min. detectable leak rate for helium (vacuum method)	mbar∙L/s	<5∙10^-12

Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode)	mbar∙L/s	<5∙10^-8

Max. inlet pressure (MASSIVE mode)		atm (~1013 mbar)

Type of roughing pump		roots

Max. pumping speed of roughing pump	m³/h	>36

Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar)	m³/h	23

Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar)	m³/h	26

Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode)	L/s	>36

Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40	L/s	~ 30

Response time for 50 L	s	1.4

Evacuation time to 1 mbar 50 L	s	52

Evacuation time to 1 mbar 100 L*	s	104

Evacuation time to 1 mbar 500 L*	s	527

Evacuation time to 1 mbar 1000 L*	s	1054

Venting 50 L to atm. 16 s	s	16

Run up time for operation	min	<2

Time for calibration	s	<30 s

Time for rate-of-rise measurement (I·RISE)	s	<10

Inlet flange		DN63 ISO-K

Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology)		2,3,4 (H₂, ³He, He)

Supply voltage	V	100 to 230, 50/60 Hz

Max. Power Consumption	VA	1500

Typ. Power Consumption	VA	700

Weight	kg	143

Dimensions (LxWxH)	mm in.	1050x427x1040 42x21x41

*extrapolated

Número de parte

Accesorios

Consumibles

UL6000 Fab
550-520	UL6000 Fab
UL6000 Fab PLUS
550-530	UL6000 Fab PLUS

Número de parte	Descripción

551-226	Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF
551-227	Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF
551-015	Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter
551-010	Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable
551-202	Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version)
525-001	SL3000-3, sniffer line 3 m length
525-002	SL3000-5, sniffer line 5 m length
525-003	SL3000-10, sniffer line 10 m length
551-203	Bracket for SL3000
551-210	SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000
551-201	Helium Bottle Holder
560-310	I/O 1000 module
560-315	BM1000 Profibus module
560-316	BM1000 PROFINET IO module
560-317	BM1000 DeviceNet module
560-318	BM1000 Ethernet/IP module
560-334	Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m
560-332	Data Cable 2 m
560-335	Data Cable 5 m
560-340	Data Cable 10 m

Número de parte	Descripción

200007656	Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation

Descargas

Anleitungen

UL6000 Fab-Serie

pdf • 2,0 MB • Alemán

Brochure UL6000 Fab Product Series

pdf • 2,0 MB • Inglesa

Manuales

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作説明 Operating instructions

pdf • 4,9 MB • Chino

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作说明书 Operating instructions

pdf • 4,9 MB • Chino

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 操作手冊 Operating instructions

pdf • 5,0 MB • Chino

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung

pdf • 5,0 MB • Alemán

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Instrukcja obsługi

pdf • 4,9 MB • Polaco

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Istruzioni per l'uso

pdf • 4,8 MB • Italiano

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Manual de instrucciones

pdf • 4,9 MB • Español

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Notice d'utilisation

pdf • 4,9 MB • Frances

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS инструкция по эксплуатации

pdf • 5,3 MB • Ruso

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS 사용 설명서 Operating instructions

pdf • 5,0 MB • Coreano

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Betriebsanleitung

pdf • 5,0 MB • Alemán

RC1000 Betriebsanleitung

pdf • 2,1 MB • Alemán

SL3000(XL) Operating Manual

pdf • 1,8 MB • Alemán

Halterung SL3000

pdf • 328,7 KB • Alemán

RC1000 Operating instructions

pdf • 2,1 MB • Inglesa

RC1000 Notice d'utilisation

pdf • 2,1 MB • Frances

SL3000 bracket

pdf • 148,3 KB • Inglesa

SL3000(XL) Operating Manual

pdf • 1,8 MB • Inglesa

UL6000 Fab, UL6000 Fab PLUS Operating instructions

pdf • 4,8 MB • Inglesa

Catálogos

LD-产品目录-2022-23-ZH

pdf • 7,2 MB • Chino

LD-Katalog-2022-23-DE

pdf • 6,9 MB • Alemán

LD-カタログ-2022-23.JP

pdf • 7,2 MB • Japonés

LD-목록-2022-23-KO

pdf • 7,0 MB • Coreano

Other

Declaration of contamination

pdf • 46,5 KB • Inglesa

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