UL6000 Fab Series
Detectores de fugas UL6000 Fab / UL6000 Fab PLUS
ULTRATEST™ sensor technology
Establece estándares de rapidez y precisión en las pruebas de estanqueidad
Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Serie de detectores de fugas de helio para aplicaciones de semiconductores
El detector de fugas de helio UL6000 de INFICONse ha diseñado para las aplicaciones de detección de fugas más críticas y exigentes. El dispositivo UL6000, que incluye los algoritmos de software I-CAL y Hydro-S de INFICON en un diseño de vacío comprobado, proporciona una gran flexibilidad en las pruebas, una elevada sensibilidad y resultados precisos y rápidos para una detección de fugas rápida y sencilla.
Los tiempos de respuesta del dispositivo UL6000 son rápidos en todos los rangos de medición y el plazo para alcanzar las condiciones de prueba y obtener los resultados finales es extremadamente corto. La específica arquitectura de vacío proporciona los elevados valores de velocidad constante de bombeo de helio y tiempo de respuesta que necesita.
Pruebas de fugas eficaces
La detección de fugas requiere mucho tiempo y es compleja. Mediante la medición de la velocidad de subida, los equipos semiconductores y de vacío se supervisan continuamente durante su funcionamiento. Cuando se detecta una fuga mediante esta prueba integral de fugas, se localizan los puntos de fuga mediante el método de pulverización de helio, lo que permite realizar la reparación necesaria. A continuación, se realiza otra prueba de fugas mediante el aumento de presión o la medición de la caída de vacío, un proceso complejo que debe repetirse hasta que se detecten todas las fugas. Además, para ser lo más preciso posible, los tiempos de medición de este procedimiento suelen ser especialmente largos en el caso de equipos de gran volumen. Gracias a I-RISE, nuestra función Intelligent Rate-of-rise, el UL6000 Fab PLUS realiza por sí solo la medición del aumento de presión y la combina con el método de pulverización de helio. Nuestro sistema patentado permite reducir drásticamente los tiempos de medición y, por tanto, ayuda a minimizar tanto el tiempo general de comprobación de fugas como el mantenimiento del equipo de fabricación. Experimente resultados de medición aún más rápidos y precisos: en menos de 10 segundos, independientemente del volumen de la cámara.
Pruebas de estanqueidad optimizadas con SMART-Spray. I-BOOST y SPRAY-Check
SMART-Spray mejora la comprobación de fugas al eliminar la necesidad de grandes bombonas de helio y engorrosas mangueras. Agiliza el proceso, reduciendo los ajustes manuales del flujo de helio y minimizando los errores. Esta herramienta hace que la detección de fugas sea más rápida, sencilla y fiable, a la vez que mantiene bajos niveles de consumo de helio y de fondo.
Ideal para pruebas de fugas eficaces y precisas, I-BOOST ofrece hasta un 50% de ahorro de tiempo en la detección de fugas. Con tiempos de respuesta más cortos, proporciona mediciones rápidas y precisas en varios volúmenes de cámara, mejorando la eficiencia y la precisión. Además, SPRAY-Check, una prueba de fugas por pulverización, garantiza la funcionalidad y preparación de su detector de fugas. Ideal para el rango de 10-⁹ a 10-⁸ mbar∙l/s, proporciona comprobaciones fiables durante los procesos de prueba.
Ventajas
- HYDRO-S (Supresión de HIDRÓgeno) para alcanzar rápidamente las condiciones de prueba.
UL6000 Fab PLUS - Additional Advantages
- Featuring I·RISE, our intelligent rate-of-rise: Provides in-device pressure increase testing combined with helium spraying method
- Rate-of-rise measurements in under 10 seconds
- Helps minimize general time for leak testing and fab equipment maintenance
- More speed, more precision
- I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates, algoritmo de cálculo inteligente para tasas de fuga) para garantizar una respuesta rápida a las fugas en todos los rangos de medición.
- Una bomba turbomolecular de varias entradas que proporciona velocidades de bombeo de helio optimizadas con un elevado nivel de compresión de helio a cualquier presión. El resultado es una limpieza de gran sensibilidad, respuesta y rapidez.
- Una bomba propulsora turbomolecular ofrece una respuesta extremadamente rápida en cualquier objeto de prueba, incluidos los volúmenes y cámaras más grandes.
- El dispositivo de espectrometría de masas de sector magnético de INFICON, probado durante años con resultados precisos y repetibles, cuenta con un diseño que no requiere mantenimiento y libre de problemas.
- Características de protección automática para el UL6000 contra la contaminación por helio y partículas, así como un ciclo de purga automática para garantizar que el UL6000 está listo cuando se necesite.
- Una interfaz de control/pantalla giratoria y un controlador remoto opcional para una mayor flexibilidad durante la operación.
- El control de acceso al software del sistema y la unidad se puede habilitar a través del software para impedir el uso no autorizado o las modificaciones accidentales en las configuraciones de prueba.
- Actualizaciones de software por correo electrónico para disfrutar de un rendimiento óptimo del dispositivo UL6000.
- Un nuevo diseño de estación de trabajo con una superficie de trabajo a una altura ideal que incluye una alfombrilla ESD y una caja de herramientas para una prueba más cómoda.
Aplicaciones típicas
- Cámaras de gran tamaño, subconjuntos y componentes para pruebas de fugas utilizados en herramientas de pantallas planas y semiconductores
- Herramientas de pantallas planas y semiconductores para pruebas de fugas
- Sistemas, subconjuntos y componentes aeroespaciales para pruebas de fugas
- Tanques de almacenamiento/recipientes de almacenamiento para pruebas de fugas
Especificaciones
| Tasa de fuga mín. detectable para helio (método de vacío) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Tasa de fuga mín. detectable para helio (modo sniffer) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Presión máx. de entrada (modo MASIVO) | atm (~1013 mbar) | |
| Tipo de bomba de desbaste | roots | |
| Velocidad máx. de bombeo de la bomba de desbaste | m³/h | >36 |
| Velocidad de bombeo a la entrada (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Velocidad de bombeo a la entrada (10-100 mbar y 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Máx. Velocidad de bombeo de helio (modo ULTRA) | L/s | >36 |
| Velocidad máxima de bombeo de helio DN63 reducida a DN40 | L/s | ~ 30 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Tiempo de respuesta para 50 L | s | 1.4 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 100 L* | s | 104 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 500 L* | s | 527 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
| Venteo 50 L a atm. 16 s | s | 16 |
| Tiempo de funcionamiento | min | <2 |
| Tiempo de calibración | s | <30 s |
| Brida de entrada | DN63 ISO-K | |
| Masas detectables (tecnología de sensores ULTRATEST) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Tensión de alimentación | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Máx. Consumo de energía | VA | 1500 |
| Tipo Consumo de energía | VA | 700 |
| Peso | kg | 143 |
| Dimensiones (LxAxA) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolado |
| Tasa de fuga mín. detectable para helio (método de vacío) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
| Tasa de fuga mín. detectable para helio (modo sniffer) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
| Presión máx. de entrada (modo MASIVO) | atm (~1013 mbar) | |
| Tipo de bomba de desbaste | roots | |
| Velocidad máx. de bombeo de la bomba de desbaste | m³/h | >36 |
| Velocidad de bombeo a la entrada (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
| Velocidad de bombeo a la entrada (10-100 mbar y 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
| Máx. Velocidad de bombeo de helio (modo ULTRA) | L/s | >36 |
| Velocidad máxima de bombeo de helio DN63 reducida a DN40 | L/s | ~ 30 |
| Tiempo de respuesta para 50 L | s | 1.4 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 50 L | s | 52 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 100 L* | s | 104 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 500 L* | s | 527 |
| Tiempo de evacuación a 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
| Venteo 50 L a atm. 16 s | s | 16 |
| Tiempo de funcionamiento | min | <2 |
| Tiempo de calibración | s | <30 s |
| Tiempo de medición de la velocidad de subida (I-RISE) | s | <10 |
| Brida de entrada | DN63 ISO-K | |
| Masas detectables (tecnología de sensores ULTRATEST) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
| Tensión de alimentación | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
| Máx. Consumo de energía | VA | 1500 |
| Tipo Consumo de energía | VA | 700 |
| Peso | kg | 143 |
| Dimensiones (LxAxA) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
| *extrapolado |
Información para pedidos
| 550-520 | UL6000 Fab |
| 550-530 | UL6000 Fab PLUS |
| 551-050 | SMART-Spray ***NEW |
| 551-600 | I·BOOST software license***NEW |
| 551-031 | SPRAY-Check TL8***NEW |
| 551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
| 551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
| 551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
| 551-010 | Remote Control RC1000C, con cable, con cable en espiral de 4 m |
| 551-202 | Soporte de manguera de vacío para UL3000 Fab (incl. para versión ULTRA) |
| 525-001 | SL3000-3, línea sniffer de 3 m de longitud |
| 525-002 | SL3000-5, línea sniffer de 5 m de longitud |
| 525-003 | SL3000-10, línea sniffer de 10 m de longitud |
| 551-203 | Abrazadera para SL3000 |
| 551-210 | SL200, línea sniffer + extensión el. para UL3000 |
| 551-201 | Soporte para botellas de helio |
| 560-310 | Módulo I/O 1000 |
| 560-315 | Módulo BM1000 PROFIBUS |
| 560-316 | Módulo BM1000 PROFINET IO |
| 560-317 | Módulo BM1000 DeviceNet |
| 560-318 | Módulo BM1000 Ethernet/IP |
| 560-334 | Cable de datos para IO1000, BM1000, 0,5 m |
| 560-332 | Cable de datos de 2 m |
| 560-335 | Cable de datos de 5 m |
| 560-340 | Cable de datos de 10 m |
| 200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |
