UL6000 Fab Series
Establece estándares de rapidez y precisión en las pruebas de estanqueidad

Product configurator
Gemini™ MxG5xx
El detector de fugas de helio UL6000 de INFICONse ha diseñado para las aplicaciones de detección de fugas más críticas y exigentes. El dispositivo UL6000, que incluye los algoritmos de software I-CAL y Hydro-S de INFICON en un diseño de vacío comprobado, proporciona una gran flexibilidad en las pruebas, una elevada sensibilidad y resultados precisos y rápidos para una detección de fugas rápida y sencilla.
Los tiempos de respuesta del dispositivo UL6000 son rápidos en todos los rangos de medición y el plazo para alcanzar las condiciones de prueba y obtener los resultados finales es extremadamente corto. La específica arquitectura de vacío proporciona los elevados valores de velocidad constante de bombeo de helio y tiempo de respuesta que necesita.
Ventajas
- HYDRO-S (Supresión de HIDRÓgeno) para alcanzar rápidamente las condiciones de prueba.
UL6000 Fab PLUS - Additional Advantages
- Featuring I·RISE, our intelligent rate-of-rise: Provides in-device pressure increase testing combined with helium spraying method
- Rate-of-rise measurements in under 10 seconds
- Helps minimize general time for leak testing and fab equipment maintenance
- More speed, more precision
- I-CAL (Intelligent - Calculation Algorithm for Leak Rates, algoritmo de cálculo inteligente para tasas de fuga) para garantizar una respuesta rápida a las fugas en todos los rangos de medición.
- Una bomba turbomolecular de varias entradas que proporciona velocidades de bombeo de helio optimizadas con un elevado nivel de compresión de helio a cualquier presión. El resultado es una limpieza de gran sensibilidad, respuesta y rapidez.
- Una bomba propulsora turbomolecular ofrece una respuesta extremadamente rápida en cualquier objeto de prueba, incluidos los volúmenes y cámaras más grandes.
- El dispositivo de espectrometría de masas de sector magnético de INFICON, probado durante años con resultados precisos y repetibles, cuenta con un diseño que no requiere mantenimiento y libre de problemas.
- Características de protección automática para el UL6000 contra la contaminación por helio y partículas, así como un ciclo de purga automática para garantizar que el UL6000 está listo cuando se necesite.
- Una interfaz de control/pantalla giratoria y un controlador remoto opcional para una mayor flexibilidad durante la operación.
- El control de acceso al software del sistema y la unidad se puede habilitar a través del software para impedir el uso no autorizado o las modificaciones accidentales en las configuraciones de prueba.
- Actualizaciones de software por correo electrónico para disfrutar de un rendimiento óptimo del dispositivo UL6000.
- Un nuevo diseño de estación de trabajo con una superficie de trabajo a una altura ideal que incluye una alfombrilla ESD y una caja de herramientas para una prueba más cómoda.
Aplicaciones típicas
- Cámaras de gran tamaño, subconjuntos y componentes para pruebas de fugas utilizados en herramientas de pantallas planas y semiconductores
- Herramientas de pantallas planas y semiconductores para pruebas de fugas
- Sistemas, subconjuntos y componentes aeroespaciales para pruebas de fugas
- Tanques de almacenamiento/recipientes de almacenamiento para pruebas de fugas
Especificaciones
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
Type of roughing pump | roots | |
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
Evacuation Time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Response time for 50 L | s | 1.4 |
Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
Run up time for operation | min | <2 |
Time for calibration | s | <30 s |
Inlet flange | DN63 ISO-K | |
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
Max. Power Consumption | VA | 1500 |
Typ. Power Consumption | VA | 700 |
Weight | kg | 143 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
*extrapolated |
Min. detectable leak rate for helium (vacuum method) | mbar∙L/s | <5∙10-12 |
Min. detectable leak rate for helium (sniffer mode) | mbar∙L/s | <5∙10-8 |
Max. inlet pressure (MASSIVE mode) | atm (~1013 mbar) | |
Type of roughing pump | roots | |
Max. pumping speed of roughing pump | m³/h | >36 |
Pumping speed @ inlet (100-1000 mbar) | m³/h | 23 |
Pumping speed @ inlet (10-100 mbar and 1-10 mbar) | m³/h | 26 |
Max. Helium pumping speed (ULTRA Mode) | L/s | >36 |
Max. helium pumping speed DN63 reduced to DN40 | L/s | ~ 30 |
Response time for 50 L | s | 1.4 |
Evacuation time to 1 mbar 50 L | s | 52 |
Evacuation time to 1 mbar 100 L* | s | 104 |
Evacuation time to 1 mbar 500 L* | s | 527 |
Evacuation time to 1 mbar 1000 L* | s | 1054 |
Venting 50 L to atm. 16 s | s | 16 |
Run up time for operation | min | <2 |
Time for calibration | s | <30 s |
Time for rate-of-rise measurement (I·RISE) | s | <10 |
Inlet flange | DN63 ISO-K | |
Detectable masses (ULTRATEST Sensor Technology) | 2,3,4 (H2, 3He, He) | |
Supply voltage | V | 100 to 230, 50/60 Hz |
Max. Power Consumption | VA | 1500 |
Typ. Power Consumption | VA | 700 |
Weight | kg | 143 |
Dimensions (LxWxH) | mm in. | 1050x427x1040 42x21x41 |
*extrapolated |
UL6000 Fab | |
550-520 | UL6000 Fab |
UL6000 Fab PLUS | |
550-530 | UL6000 Fab PLUS |
Número de parte | Descripción |
551-226 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN50 ISO-KF |
551-227 | Metal hose, DN63 ISO-K/DN40 ISO-KF |
551-015 | Remote Control RC1000WL, wireless, incl. wireless transmitter |
551-010 | Remote Control RC1000C, wired, with 4m coiled cable |
551-202 | Vaccuum Hose Holder for UL3000 Fab (incl. for ULTRA version) |
525-001 | SL3000-3, sniffer line 3 m length |
525-002 | SL3000-5, sniffer line 5 m length |
525-003 | SL3000-10, sniffer line 10 m length |
551-203 | Bracket for SL3000 |
551-210 | SL200, Sniffer line + el. extension for UL3000 |
551-201 | Helium Bottle Holder |
560-310 | I/O 1000 module |
560-315 | BM1000 Profibus module |
560-316 | BM1000 PROFINET IO module |
560-317 | BM1000 DeviceNet module |
560-318 | BM1000 Ethernet/IP module |
560-334 | Data Cable for IO1000,BM1000, 0.5m |
560-332 | Data Cable 2 m |
560-335 | Data Cable 5 m |
560-340 | Data Cable 10 m |
Número de parte | Descripción |
200007656 | Airfilter Kit UL3 Housing Ventilation |