Vacuómetro de ionización en caliente
BCG450
ATM to Ultra High Vacuum TripleGauge®
Opciones Drop-in
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Product configurator
Gemini™ MxG5xx
Type
Sensor version
Ionization chamber
Emmision current
Flange connection to vacuum chamber
Switching function
Electrical connection
Digital interface
Analog output signal
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El medidor de diafragma de capacitancia (Triple-Gauge™) Bayard-Alpert Pirani de INFICON, BCG450, combina las ventajas de tres tecnologías diferentes en un único paquete compacto y económico para medir la presión de proceso y de base de 5×10-10 a 1500 mbar (3,75×10-10 a 1125 Torr).
El BCG450 está diseñado para ocupar el lugar de tres sensores (ion caliente, Pirani mejorado por convección y vacuostato), reduciendo así el coste y el valioso espacio de la herramienta.
También disponible con interfaz digital PROFINET.
Ventajas
- El BCG450 ahorra costes y espacio de herramientas y reduce la complejidad de la instalación y configuración de la medición de vacío
- La medición de presión independiente del tipo de gas por encima de 10 Torr proporciona un control de bloqueo de carga más fiable para cualquier mezcla de gases
- El enclavamiento Pirani protege el filamento caliente de un quemado prematuro
- El ajuste automático Pirani de alto vacío reduce las intervenciones del operario
- La medición de la presión diferencial en la atmósfera elimina la incertidumbre relacionada con los cambios de presión atmosférica
- Elemento sensor fácil de intercambiar con datos de calibración integrados que garantizan la reproducibilidad.
- Pantalla gráfica opcional e interfaces de bus de campo disponibles
- Conformidad con RoHS
Aplicaciones típicas
- Medición de la presión en cámaras de proceso, transferencia y esclusa de carga de semiconductores
- Recubrimiento industrial
- Medición y control del vacío general en sistemas de vacío bajo a ultraalto
Especificaciones
| Measurement range (air, O2, CO, N2) | mbar Torr | 5×10-10 … 1500 3.75×10-10 … 1125 |
| Accuracy | ||
| 10-8 … 50 mbar | % of reading | ±15 |
| 50 … 950 mbar | % of reading | ±5 |
| 950 … 1050 mbar | % of reading | ±2.5 |
| Repeatability | ||
| 10-8 … 10-2 mbar | % of reading | 5 |
| Temperature | ||
| Operation (ambient) | °C | 0 … +50 |
| Storage | °C | -20 … +70 |
| Bakeout at flange | °C | 80 |
| Bakeout electronics removed | °C | 150 |
| Supply voltage | V (dc) A (dc) | 20 … 28 0.8 |
| Materials exposed to vacuum | Yt2O3, Ir, Mo, Cu, W, NiFe, NiCr, AI2O3, SnAg, stainless steel, glass |
Número de parte
Accesorios
Piezas de repuesto
| Número de parte | Descripción |
| 353-550 | BCG450 DN 25 ISO-KF |
| 353-551 | BCG450 DN 40 CF-R |
| 353-552 | BCG450 LCD, DN 25 ISO-KF |
| 353-553 | BCG450 LCD, DN 40 CF-R |
| 353-554 | BCG450-SP PBus, DN 25 ISO-KF |
| 353-556 | BCG450-SP PBus, DN 40 CF-R |
| 353-557 | BCG450-SD DNet, DN 25 ISO-KF |
| 353-558 | BCG450-SD DNet, DN 40 CF-R |
| 353-592 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-593 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-598 | BCG450-SE ECAT, DN 25 ISO-KF |
| 353-599 | BCG450-SE ECAT, DN 40 CF-R |
| 353-517 | BCG450-PN PROFINET, DN 25 ISO-KF |
| 353-518 | BCG450-PN PROFINET, DN 40 CF-R |
| Número de parte | Descripción |
| 353-511 | Power supply BPG400 24VDC |
| 353-512 | Baffle for BPG400 |
| 211-113 | Centering ring with baffle DN 25 KF |
| Número de parte | Descripción |
| 354-492 | Spare sensor head BCG450, DN 25 ISO-KF |
| 354-493 | Spare sensor head BCG450, DN 40 CF-R |
Descargas
Folletos
Manuales
TINA40D1 Triple Gauge BCG450 Gebrauchsanleitung_lang
pdf
•
2,0 MB
•
Alemán
•
Manual de instrucciones
BCG450 Communication Protocol EtherCAT_New Generation
pdf
•
773,5 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol EtherCAT
pdf
•
350,6 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol DeviceNet
pdf
•
289,8 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFIBUS
pdf
•
360,8 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TripleGauge BCG450 Communication Protocol PROFINET
pdf
•
824,0 KB
•
Inglesa
•
Manual de instrucciones
TINA40E1 Triple Gauge BCG450 Operating manual_long
pdf
•
1,8 MB
•
Inglesa
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Manual de instrucciones
3D Step Files
353-517 BCG450 PROFINET DN 25 ISO-KF
stp
•
3,5 MB
•
Archivos 3D
353-518 BCG450 PROFINET DN 40 CF-R
stp
•
5,4 MB
•
Archivos 3D
353-550 BCG450 DN 25 ISO-KF
zip
•
451,7 KB
•
Archivos 3D
353-551 BCG450 DN 40-CF-R
zip
•
455,6 KB
•
Archivos 3D
353-552 BCG450 LCD DN 25 ISO-KF
zip
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453,5 KB
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Archivos 3D
353-553 BCG450 LCD DN 40 CF-R
zip
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459,6 KB
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Archivos 3D
353-554 BCG450 PROFIBUS DN 25 ISO-KF
zip
•
459,8 KB
•
Archivos 3D
353-556 BCG450 PROFIBUS DN 40-CF-R
zip
•
467,2 KB
•
Archivos 3D
353-557 BCG450 DNET DN 25 ISO-KF
zip
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457,3 KB
•
Archivos 3D
353-558 BCG450 DNET DN 40-CF-R
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462,3 KB
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Archivos 3D
353-592 BCG450-SE EtherCAT 25 ISO-KF
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197,6 KB
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Archivos 3D
353-593 BCG450-SE EtherCAT 40 CF-R
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196,8 KB
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Archivos 3D
Otros
BCG450-int.eds
eds
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53,7 KB
•
Inglesa
BCG450-float.eds
eds
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53,7 KB
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Inglesa
BCG450_08E6.GSD
GSD
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2,5 KB
•
Inglesa
Inficon_450_SP_STEP7
zip
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857,1 KB
•
Inglesa
EtherCAT new generation ESI file BCG450 V2_0_0_0.xml
xml
•
218,7 KB
•
Inglesa
ESI File_BCG450 V1_3_0_0
xml
•
1,4 MB
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Inglesa
PROFINET GSDML File for BCG450
zip
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3,2 KB
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Inglesa
El producto se utiliza en los siguientes mercados
