가스 분석

기술
질량 분석법 광학 분광법 연소 분석 가스 크로마토그래프
공정
PVD CVD ALD Etch Lithography
압력
< E-5 Torr > E-4 Torr ~ 1E-2Torr 1E-2 Torr ~ 1 Torr > 1 Torr
검출 한계
1-10 ppm < 1 ppm < 10 ppb >10 ppm
시장
냉난방 공조 산업 제조 진공 코팅 보안 에너지 반도체 IDM 및 파운드리 반도체 장비 제조업체 디스플레이 제약 및 의료 모빌리티 및 자동차 연구 및 학계 분석 기기 배터리
필터 ()